一种氟制高纯六氟化钨产生的尾气的处理方法技术

本发明专利技术提供了一种氟制高纯六氟化钨产生的尾气的处理方法，该方法为：将电解氟化氢过程中产生的阴极气体氢气和氟制高纯六氟化钨过程中产生的尾气通入至反应器中，在温度为350℃～600℃的条件下进行还原反应，得到气体物质氟化氢粗品，并且沉积得到固体物质钨；将气体物质氟化氢粗品在真空排轻后，得到氟化氢和未发生还原反应的六氟化钨固体；将未发生还原反应的六氟化钨固体循环进入反应器继续进行还原反应，氟化氢进行回收，循环用于氟化氢电解制氟。本发明专利技术通过将含有六氟化钨的尾气还原得到氟化氢和钨，实现含有六氟化钨的尾气的循环利用，避免二次污染，带来了社会经济效益。带来了社会经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种氟制高纯六氟化钨产生的尾气的处理方法


[0001]本专利技术属于氟制高纯六氟化钨产生的尾气回收
，具体涉及一种氟制高纯六氟化钨产生的尾气的处理方法。

技术介绍

[0002]钨是熔点最高的难熔性金属，主要应用于航天航空、冶金和国防军工等行业，目前主要是用氢还原钨氧化物或钨氟化物的方式制备金属钨。六氟化钨WF6，是唯一稳定并可被工业化的钨的氟化物，是可用于难熔性金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原料，几乎可与所有金属反应。
[0003]制备高纯六氟化钨以及将其应用于电子工业的过程中会产生大量含六氟化钨的尾气，含有六氟化钨的尾气具有强烈的刺激性，遇水分解生成氟化氢，对环境及生命造成极大危害，故需对含有六氟化钨的尾气进行处理。目前对WF6尾气处理主要依靠碱洗方式，但是碱洗产生的氟化钠和钨酸钠废弃物，不易分离回收利用，造成二次污染，经济效益差。
[0004]碱洗处理反应式：WF6+8NaOH＝Na2WO4+6NaF+4H2O。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟制高纯六氟化钨产生的尾气的处理方法，其特征在于，该方法为：S1、将电解氟化氢过程中产生的阴极气体氢气和氟制高纯六氟化钨产生的尾气通入至反应器中，在温度为350℃～600℃的条件下进行还原反应，得到气体物质氟化氢粗品，并且沉积得到固体物质钨；S2、将S1中得到的气体物质氟化氢粗品在通过对系统进行抽真空排轻处理后，得到氟化氢和未发生还原反应的六氟化钨固体；S3、将S2中未发生还原反应的六氟化钨固体循环进入...

【专利技术属性】
技术研发人员：李茹霞，彭立培，赵鹏举，王亚峰，朱姜涛，倪珊珊，贾炜冬，钱昆，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：