本发明专利技术提供一种缺陷检测装置及缺陷检测方法，无需用户针对每一频率进行设定操作的时间精力便可执行测定。缺陷检测装置(1)包括：激振部(11、12)，通过依次对被检查物体(S)赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体(S)激发弹性波；照明部(13、14)，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部(15)，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。行统一测定。行统一测定。
【技术实现步骤摘要】
缺陷检测装置及缺陷检测方法
[0001]本专利技术涉及一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。
技术介绍
[0002]对混凝土或钢铁结构等被检测物体的表面或内部存在的缺陷进行检测的方法之一有使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法的方法。此处，散斑干涉法是使来自激光光源的激光分支为照明光与参照光，使用照明光对被检查物体的表面进行频闪照明，获得由照明光在所述表面的各点反射的光与参照光所形成的干涉图案。散斑剪切干涉法使用来自激光光源的激光(不使用参照光)对被检查物体的表面进行频闪照明，获得由从所述表面上邻近的两点反射来的光所形成的干涉图案。
[0003]在专利文献1所记载的缺陷检测装置中，通过对被检查物体赋予振动而输入弹性波，利用电荷耦合器件(Charge
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Coupled Device，CCD)照相机等对在输入所述弹性波之前及之后分别利用散斑干涉法或散斑剪切干涉法获得的干涉图案的图像进行拍摄，并根据这两张图像算出被检查物体的表面的前后方向(面外方向)的位移或相对位移的分布。由于在被检查物体的表面或内部存在缺陷的部位，位移或相对位移变得不连续，因此可检测出所述缺陷。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2017
‑
219318号公报
[0007][专利文献2]国际公开WO2021/145034号
技术实现思路
[0008][专利技术所要解决的问题][0009]对于对被检查物体赋予的振动，为了增大振幅以提高信噪(Signal/Noise，S/N)比，优选频率低(波长长)，与此相对，在检测小的缺陷这一点上，优选频率高(波长短)。因此，适当的振动的频率根据缺陷的大小而不同，但由于在测定前缺陷的大小不明，因此无法在测定前决定此种适当的频率。因此，在以往的缺陷检测装置中，以多个频率分别获取干涉图案的图像，用户从这些图像中选择最佳的图像。此时，每次变更频率时用户必须进行频率的设定操作，需要时间精力。
[0010]本专利技术要解决问题在于提供一种无需用户针对每一频率进行设定操作的时间精力便可执行测定的缺陷检测装置及方法。
[0011][解决问题的技术手段][0012]为了解决所述问题而成的本专利技术的缺陷检测装置包括：
[0013]激振部，通过依次对被检查物体赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体激发弹性波；
[0014]照明部，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及
[0015]位移测定部，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。
[0016]本专利技术的缺陷检测方法包括：
[0017]频率设定工序，设定相互不同的多个频率；
[0018]激振工序，通过对被检查物体赋予具有所述多个频率中的一个频率的振动而对所述被检查物体激发弹性波；
[0019]照明工序，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及
[0020]位移测定工序，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定，
[0021]在执行所述频率设定工序之后，针对所述多个频率各者依次执行所述激振工序、所述照明工序及所述位移测定工序。
[0022][专利技术的效果][0023]在本专利技术的缺陷检测装置及方法中，预先设定了相互不同的多个频率，通过依次对被检查物体赋予具有这些相互不同的频率的多种振动，针对每一频率获取被检查物体的表面的测定区域各点的面外方向的位移。因此，用户无需针对每一频率进行设定操作，从而可减少用户的时间精力。此外，所述多个频率可通过在测定开始前由用户统一输入来设定，也可不由用户输入而是预先设定。
附图说明
[0024]图1是表示本专利技术的缺陷检测装置的一实施方式的概略结构图。
[0025]图2是表示本实施方式的缺陷检测装置的动作的整体的流程图。
[0026]图3是表示本实施方式的缺陷检测装置的动作中的各个频率下的测定动作的流程图。
[0027]图4是用于对在本实施方式的缺陷检测装置中求出被检查物体的表面的位移的方法进行说明的图。
[0028]图5A是表示在本实施方式的缺陷检测装置中获得的图像的例子的图。
[0029]图5B是表示在本实施方式的缺陷检测装置中获得的图像的另一例子的图。
[0030]图6是表示本专利技术的缺陷检测装置的变形例的概略结构图。
[0031][符号的说明][0032]10、30：缺陷检测装置
[0033]11：信号发生器
[0034]12：振动器
[0035]13：脉冲激光光源
[0036]14：照明光透镜
[0037]15：散斑剪切干涉仪
[0038]151：分束器
[0039]1521：第一反射镜
[0040]1522：第二反射镜
[0041]153：移相器
[0042]154：聚光透镜
[0043]155：影像传感器
[0044]16：控制部
[0045]161：图像制作部
[0046]162：频率选择部
[0047]17：存储部
[0048]171：频率存储部
[0049]18：输入部
[0050]19：显示部
[0051]21、22、23：缺陷
具体实施方式
[0052]使用图1～图6对本专利技术的缺陷检测装置及方法的实施方式进行说明。
[0053](1)本实施方式的缺陷检测装置的结构
[0054]图1是本实施方式的缺陷检测装置10的概略结构图。所述缺陷检测装置10包括：信号发生器11、振动器12、脉冲激光光源13、照明光透镜14、散斑剪切干涉仪15、控制部16、存储部17、输入部18及显示部19。
[0055]信号发生器11通过电缆而连接于振动器12，产生交流电信号并将其发送至所述振动器12。所述交流电信号的频率可变，如后述那样在每次测定时由控制部16设定。振动器12与被检查物体S接触而使用，接收来自信号发生器11的交流电信号并将其变换为具有所述频率的机械振动，对被检查物体S赋予所述机械振动。由此，对被检查物体S激发具有所述频率、即由控制部16设定的频率的弹性波。这些信号发生器11及振动器12相当于所述激振部。
[0056]信号发生器11还通过与和振动器12连接的电缆不同的电缆而连接于脉冲激光光源13，在所述交流电信号成为规定的相位的时机向所述脉冲激光光源13发送脉冲状的电信号(脉冲信号)。所述规定的相位及由此决定的所述时机在进行缺陷检查的期间如后述那样变更。脉冲激光光源13是在从信号发生器11接收到脉冲信号时，输本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：激振部，通过依次对被检查物体赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体激发弹性波；照明部，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其中，所述多种振动各自的频率是由单一的等比数列中的多个项规定的值。3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其中，所述激振部在对所述被检查物体赋予所述多种振动之前，依次对所述被检查物体赋予种类比所述多种振动多的、频率相互不同的预备测定振动，所述缺陷检测装置还包括频率选择部，所述频率选择部基于多种预备测定振动各者下的所述被检查物体的振动状态，从所述多种预备测定振动的频率中选择所述多种振动的频率。4.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷检测装置，其中，还包括：图像制作部，基于在所述多个频率各者...
【专利技术属性】
技术研发人员：北邨益飞，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：
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