绿激光显微精密修调机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种绿激光显微精密修调机，由机架、二维工作台、精密旋转台、探针、高倍显微镜、外光路护套、４５度全反镜、扩束镜、激光器部件组成，机架的上面安装激光器，在激光器的出光孔处装有扩束镜，４５度全反镜安装在扩束镜与外光路护套之间，机架的中间安装高倍显微镜，高倍显微镜的上方与外光路护套相连，且其下方的物镜聚焦的绿激光直达精密旋转台，机架的下方安装二维数控工作台，二维工作台的上面装有精密旋转台和探针。本实用新型专利技术利用精细聚焦的高峰值功率脉冲绿激光光斑，作为精密修切的光刀，配以实时自动检测和精密移位工作台，可实现对电阻、电路和传感器等器件作高精度自动修切调整，使电阻调节、断点刻蚀和图案标刻一气呵成。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
绿激光显微精密修调机，由机架（１）、二维工作台（２）、精密旋转台（３）、探针（４）、高倍显微镜（６）、外光路护套（７）、４５度全反镜（８）、扩束镜（９）、激光器（１０）部件组成，其特征在于：机架（１）的上面安装激光器（１０），在激光器（１０）的出光孔处装有扩束镜（９），４５度全反镜（８）安装在扩束镜（９）与外光路护套（７）之间，机架（１）的中间安装高倍显微镜（６），高倍显微镜（６）的上方与外光路护套（７）相连，机架（１）的下方安装二维数控工作台（２），二维工作台（２）的上面装有精密旋转台（３）和探针（４），高倍显微镜（６）下方的物镜聚焦的绿激光直达精密旋转台（３）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢飞星，陈泽民，邱忠明，汪宏志，游立德，
申请(专利权)人：武汉华工激光工程有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：83[中国|武汉]