一种基于线阵CCD的光栅尺测量系统技术方案

本发明专利技术提供的是一种基于线阵CCD的光栅尺测量系统。其特征是：它由可调节光强的发光二极管、透镜、反射镜、标尺光栅、指示光栅、线阵CCD读数头、信号前处理模块、FPGA信号控制模块、上位机组成。本发明专利技术通过线阵CCD采集光强信号，能够获得较为稳定准确的信号，从信号上截取4段进行处理，得到位移。本发明专利技术可以于微米级精度的位移测量，属于光栅尺测量技术领域。属于光栅尺测量技术领域。属于光栅尺测量技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种基于线阵CCD的光栅尺测量系统
(一)

[0001]本专利技术涉及的是一种基于线阵CCD的光栅尺测量系统，可以于微米级精度的位移测量，属于光栅尺测量

(二)
技术介绍

[0002]光栅尺是一种高精度线位移传感器，它以高精度长光栅作为测量基准，使用光电传感器将光学信号转化为电学信号，通过对电学信号进行处理，最终得到位置信息，常用于数控机床的闭环伺服系统中。其为精密测量位移和角度的工具，在测量精度、分辨力、可靠性、环境要求、价格等方面综合优势较好，所以光栅尺广泛应用在数控机床、机器人、雷达、地质形变测量等诸多领域。
[0003]当前国内增量式光栅尺采用的摩尔条纹光电系统，采用标尺光栅、4个LED、指示光栅、4个光电池组成。由于不同LED发光强度不一样，对光电池接收信号精度有影响；另外光栅尺上若存在污染，则会影响其中一个或者几个相位信号幅值，影响光栅尺的精度；而光电池接收到信号后将信号调制成方波信号，导致此种方法精度达到5um，已经很难满足对精度要求日益增高的现代数控加工要求。
[0004]本专利技术公开了一种基于线阵CCD本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于线阵CCD的光栅尺测量系统。其特征是：它由发光二极管1、透镜2、反射镜3、标尺光栅4、指示光栅5、线阵CCD读数头6、信号前处理模块7、FPGA信号控制模块8、上位机9组成。所述系统中发光二极管1发出的白光经过透镜2和反射镜3后形成平行光通过标尺光栅4，再通过指示光栅5，形成明暗相间的条纹，被线阵CCD读数头6上的线阵CCD接收，经信号前处理模块7的AD单元处理后由FPGA信号控制模块8进行滤波以及算法实现，最后由上位机9显示移动距离。2.根据权利要求1所述的一种基于线阵CCD的光栅尺测量系统采...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊显名，玉光等，杜浩，张文涛，徐宋通，曾创，韩雪，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：