【技术实现步骤摘要】
化学过滤器的均压静压箱
[0001]本技术属于静压箱
,特别是涉及一种化学过滤器的均压静压箱。
技术介绍
[0002]风机过滤机组(Fan Filter Unit,简称FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置,是风机箱和过滤器的组合。FFU上面部分为风机模块,下方为过滤器,可以为不同的洁净等级要求配置高效(HEPA)和超高效(ULPA)过滤器,过滤效率能到达99.9999%,为洁净室提供干净的空气。因此FFU被应用于很多行业的多种级别洁净厂房内,例如TFT
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LCD行业、芯片行业、半导体、微电子、制药厂、生物实验室、纳米实验室、光学元件厂房等,以及一些局部净化要求较高的民用领域。
[0003]常规FFU已经无法满足特定行业的需求,在使用过程中暴露出大量问题,比如半导体行业在生产制造过程中会受到气态分子污染物(Airborne Molecular Contaminant,英文简称AMC)的干扰,由于普通FFU是无法过滤AMC,导致良率降低,出现重大损失。因此发展出一种加装化学过 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学过滤器的均压静压箱,其特征在于:包括静压箱(1)以及位于所述静压箱的内部的均流板(2),所述静压箱的上端为进风口(11),所述静压箱的底面中部设有出风口(12),所述进风口与出风口连通,所述进风口和所述出风口之间设有所述均流板,所述均流板的表面开设有均流孔(21),所述均流板的中部的均流孔的孔径小于周边的均流孔的孔径;所述均流板的侧边安装有L型固定件(3),所述L型固定件安装于所述静压箱的内壁,所述L型固定件包括卡接臂(31)和连接臂(32),所述卡接臂设有卡槽(311),所述均流板的侧边卡于所述卡槽,所述静压箱的侧壁设有与所述连接臂相匹配的滑槽(13),所述静压箱的侧壁安装有用于定位L型固定件的定位结构。2.根据权利要求1所述的化学过滤器的均压静压箱,其特征在于:所述定位结构包括定位柱(4)、连接板(5)和拉头(6),所述连接臂设有定位孔(321),...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘晓彤,江鱼,罗世梅,
申请(专利权)人:苏州悠远环境科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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