化学过滤器的均压静压箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学过滤器的均压静压箱，包括静压箱以及位于所述静压箱的内部的均流板，所述静压箱的上端为进风口，所述静压箱的底面中部设有出风口，所述进风口与出风口连通，所述进风口和所述出风口之间设有所述均流板，所述均流板的表面开设有均流孔，所述均流板的中部的均流孔的孔径小于周边的均流孔的孔径。本实用新型专利技术的均流板中部区域均流孔偏小，增大阻力，四周的均流孔偏大，阻力比中部区域小，使中部和四周的送风持续处于均匀的理想状态，均流板也起到了平衡中部区域和四周区域压差的作用，有效延长化学过滤器的使用寿命。命。命。

【技术实现步骤摘要】
化学过滤器的均压静压箱


[0001]本技术属于静压箱
，特别是涉及一种化学过滤器的均压静压箱。

技术介绍

[0002]风机过滤机组(Fan Filter Unit,简称FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置，是风机箱和过滤器的组合。FFU上面部分为风机模块，下方为过滤器，可以为不同的洁净等级要求配置高效(HEPA)和超高效(ULPA)过滤器，过滤效率能到达99.9999％，为洁净室提供干净的空气。因此FFU被应用于很多行业的多种级别洁净厂房内，例如TFT
‑
LCD行业、芯片行业、半导体、微电子、制药厂、生物实验室、纳米实验室、光学元件厂房等，以及一些局部净化要求较高的民用领域。
[0003]常规FFU已经无法满足特定行业的需求，在使用过程中暴露出大量问题，比如半导体行业在生产制造过程中会受到气态分子污染物(Airborne Molecular Contaminant，英文简称AMC)的干扰，由于普通FFU是无法过滤AMC，导致良率降低，出现重大损失。因此发展出一种加装化学过滤器的FFU设备来祛除AMC，满足行业需求。其主要结构是将化学过滤器安装在静压箱上方，再将静压箱安装在FFU上方，实现有效的过滤效果。
[0004]静压箱作为中间设备，主要有稳定气流、降噪、降振和固定化学过滤器等功能，目前FFU配套的化学过滤器静压箱由于安装空间有限等问题，静压箱的高度一般在150mm左右。但是此类静压箱有以下几点缺陷：1、送风的风速不均匀，中间风速比四周风速高10％/>‑
20％；2、静压箱内部压力不均衡。这样的缺陷导致静压箱上方的化学过滤器的送风区域集中在中部，化学过滤器中部的使用寿命下降的比四周快，使得化学过滤器整体的使用寿命不均衡，从而大大降低化学过滤器的效率和寿命。

技术实现思路

[0005]本技术主要解决的技术问题是提供一种化学过滤器的均压静压箱，均流板中部区域均流孔偏小，增大阻力，四周的均流孔偏大，阻力比中部区域小，使中部和四周的送风持续处于均匀的理想状态，均流板也起到了平衡中部区域和四周区域压差的作用，有效延长化学过滤器的使用寿命。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种化学过滤器的均压静压箱，包括静压箱以及位于所述静压箱的内部的均流板，所述静压箱的上端为进风口，所述静压箱的底面中部设有出风口，所述进风口与出风口连通，所述进风口和所述出风口之间设有所述均流板，所述均流板的表面开设有均流孔，所述均流板的中部的均流孔的孔径小于周边的均流孔的孔径，均流板中部区域均流孔偏小，增大阻力，四周的均流孔偏大，阻力比中部区域小，使中部和四周的送风持续处于均匀的理想状态；
[0007]所述均流板的侧边安装有L型固定件，所述L型固定件安装于所述静压箱的内壁，所述L型固定件包括卡接臂和连接臂，所述卡接臂设有卡槽，所述均流板的侧边卡于所述卡槽，所述静压箱的侧壁设有与所述连接臂相匹配的滑槽，所述静压箱的侧壁安装有用于定
位L型固定件的定位结构。
[0008]进一步地说，所述定位结构包括定位柱、连接板和拉头，所述连接臂设有定位孔，所述定位柱的一端设有定位头，所述定位头穿过静压箱插于定位孔以对连接臂进行固定，所述定位柱的另一端穿过连接板与拉头连接，所述连接板固定于所述静压箱的外壁，所述定位柱套有弹簧，所述弹簧位于所述定位头和连接板之间，将L型固定件装入静压箱的侧壁的滑槽，定位头在弹簧的作用下插入L型固定件的定位孔，从而实现快速的安装，当需要对均流板进行更换时，只需拉动拉头，定位头与定位孔脱离，便可取下均流板和L型固定件，从而便于均流板的拆卸，方便清洗、更换。
[0009]进一步地说，所述进风口的侧壁向外延伸形成用于安装化学过滤器的凹槽。
[0010]进一步地说，所述连接板为U型连接板。
[0011]进一步地说，所述L型固定件设有4个，且4个所述L型固定件分别位于所述均流板的四个侧边。
[0012]进一步地说，所述卡接臂和所述连接臂相互垂直设置。
[0013]进一步地说，所述均流孔贯穿所述静压箱的上、下表面。
[0014]本技术的有益效果至少具有以下几点：
[0015]本技术的均流板的表面开设有均流孔，均流板的中部的均流孔的孔径小于均流板的周边的均流孔的孔径，均流板中部区域均流孔偏小，增大阻力，四周的均流孔偏大，阻力比中部区域小，使中部和四周的送风持续处于均匀的理想状态，均流板也起到了平衡中部区域和四周区域压差的作用，达到同压差，有效保证化学过滤器的使用寿命；
[0016]本技术的静压箱的侧壁安装有用于定位L型固定件的定位结构，均流板的侧边卡于L型固定件的卡槽，然后将L型固定件装入静压箱的侧壁的滑槽，定位头在弹簧的作用下插入L型固定件的定位孔，从而实现快速的安装，当需要对均流板进行更换时，只需拉动拉头，定位头与定位孔脱离，便可取下均流板和L型固定件，从而便于均流板的拆卸，方便清洗、更换。
附图说明
[0017]图1是本技术的剖视图；
[0018]图2是本技术的结构示意图；
[0019]图3是本技术的均流板的结构示意图；
[0020]图4是本技术的图1的A处的放大图；
[0021]图5是本技术的L型固定件的结构示意图；
[0022]附图中各部分标记如下：
[0023]1、静压箱；11、进风口；12、出风口；13、滑槽；14、凹槽；2、均流板；21、均流孔；3、L型固定件；31、卡接臂；311、卡槽；32、连接臂；321、定位孔；4、定位柱；41、定位头；5、连接板；6、拉头；7、弹簧；8、化学过滤器。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确
的界定。
[0025]实施例：一种化学过滤器的均压静压箱，如图1所示，包括静压箱1以及位于所述静压箱1的内部的均流板2，所述静压箱1的上端为进风口11，如图2所示，所述静压箱1的底面中部设有出风口12，所述进风口11与出风口12连通，所述进风口11和所述出风口12之间设有所述均流板2，所述均流板2的表面开设有均流孔21，如图3所示，所述均流孔21贯穿所述静压箱1的上、下表面，所述均流板2的中部的均流孔21的孔径小于周边的均流孔21的孔径；
[0026]所述均流板2的侧边安装有L型固定件3，所述L型固定件3安装于所述静压箱1的内壁，所述L型固定件3包括卡接臂31和连接臂32，所述卡接臂31和所述连接臂32相互垂直设置，如图5所示，所述卡接臂31设有卡槽311，所述均流板2的侧边卡于所述卡槽311，所述静压箱1的侧壁设有与所述连接臂32相匹配的滑槽13，所述静压箱1的侧壁安装有用于定位L型固定件3的定位结构。
[0027]如图4所示，所述定位结构包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学过滤器的均压静压箱，其特征在于：包括静压箱(1)以及位于所述静压箱的内部的均流板(2)，所述静压箱的上端为进风口(11)，所述静压箱的底面中部设有出风口(12)，所述进风口与出风口连通，所述进风口和所述出风口之间设有所述均流板，所述均流板的表面开设有均流孔(21)，所述均流板的中部的均流孔的孔径小于周边的均流孔的孔径；所述均流板的侧边安装有L型固定件(3)，所述L型固定件安装于所述静压箱的内壁，所述L型固定件包括卡接臂(31)和连接臂(32)，所述卡接臂设有卡槽(311)，所述均流板的侧边卡于所述卡槽，所述静压箱的侧壁设有与所述连接臂相匹配的滑槽(13)，所述静压箱的侧壁安装有用于定位L型固定件的定位结构。2.根据权利要求1所述的化学过滤器的均压静压箱，其特征在于：所述定位结构包括定位柱(4)、连接板(5)和拉头(6)，所述连接臂设有定位孔(321)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓彤，江鱼，罗世梅，
申请(专利权)人：苏州悠远环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：