掩膜版智能存储设备制造技术

本实用新型专利技术公开了掩膜版智能存储设备，包括存储箱与人体静电释放器，人体静电释放器靠近存储箱设置，存储箱内设有存储室，存储室内均匀设有多个存放板，多个存放板的顶部与存储室内底壁均连接设有多个存放槽，多个存放板的底部与存储室内顶部均连接设有固定防护机构，存储箱一侧靠近存放板均与存储室连通设有除尘口，存储箱远离除尘口一侧与存储室连通设有多个进气口，存储室内顶部一侧连接设有温湿度传感器，存储箱顶部一侧连接设有蜂鸣警报器，存储箱顶部连接设有吸尘器。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点在于：提供一种具有除静电防尘功能的掩膜版智能存储设备。功能的掩膜版智能存储设备。功能的掩膜版智能存储设备。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版智能存储设备


[0001]本技术涉及掩膜版存储
，具体是指掩膜版智能存储设备。

技术介绍

[0002]掩膜版又称光掩膜版、光罩(Photo mask简称Mask)，由石英玻璃作为基板衬底。首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光阻(又称光刻胶，一种感光材料，在特定波长光的照射下其化学性质会发生改变)。把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光阻曝光，被曝光的区域通过制程(光阻显影、铬层蚀刻)后形成与设计图一样的电路图形，从而成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是半导体、平板显示等行业生产制造过程中重要的关键材料。作为光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键，掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的优品率，在掩膜版存放时由于人体与存储箱之间摩擦产生静电吸附灰尘，容易影响产品的精度，从而影响产品的使用。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是，克服以上技术缺陷，提供一种具有除静电防尘功能的掩膜版智能存储设备。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供的技术方案为：掩膜版智能存储设备，包括存储箱与人体静电释放器，所述人体静电释放器靠近存储箱设置，所述存储箱内设有存储室，所述存储室内均匀设有多个存放板，多个所述存放板的顶部与存储室内底壁均连接设有多个存放槽，多个所述存放板的底部与存储室内顶部均连接设有固定防护机构，所述存储箱一侧靠近存放板均与存储室连通设有除尘口，所述存储箱远离除尘口一侧与存储室连通设有多个进气口，所述存储室内顶部一侧连接设有温湿度传感器，所述存储箱顶部一侧连接设有蜂鸣警报器，所述存储箱顶部连接设有吸尘器，所述吸尘器的进气端与多个除尘口之间连接设有气管，所述存储箱侧壁匹配存储室设有侧门。
[0005]作为改进，所述存储箱靠近进气口一侧设有进气框，所述进气框内两侧壁之间均连接设有负离子发生器。
[0006]作为改进，所述进气口内连接设有防尘网。
[0007]作为改进，所述固定防护机构包括电推杆、上盖板，所述电推杆的伸缩端与上盖板的顶壁固定连接，所述上盖板的底部匹配存放槽设有上盖槽。
[0008]本技术与现有技术相比的优点在于：通过人体静电释放器的设置可以对人体静电进行释放，防止存放掩膜版时静电的影响，减少灰尘的吸附，通过除尘口与进气口的配合设置可以对内部灰尘进行清理，配合负离子发生器可以去除内部的静电，减少静电影响，温湿度传感器与蜂鸣器的配合设置可以对存放环境进行监控警示，方便存放使用。
附图说明
[0009]图1是掩膜版智能存储设备的结构示意图。
[0010]图2是掩膜版智能存储设备主视图的结构示意图。
[0011]如图所示：1、存储箱；2、人体静电释放器；3、存储室；4、存放板；5、存放槽；6、固定防护机构；7、除尘口；8、进气口；9、温湿度传感器；10、蜂鸣警报器；11、吸尘器；12、气管；13、侧门；14、进气框；15、负离子发生器；16、防尘网；17、电推杆；18、上盖板；19、上盖槽。
具体实施方式
[0012]下面结合附图来进一步说明本技术的具体实施方式。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
[0013]需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0014]为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0015]结合附图1
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2所示，掩膜版智能存储设备，包括存储箱1与人体静电释放器2，所述人体静电释放器2靠近存储箱1设置，所述存储箱1内设有存储室3，所述存储室3内均匀设有多个存放板4，多个所述存放板4的顶部与存储室3内底壁均连接设有多个存放槽5，多个所述存放板4的底部与存储室3内顶部均连接设有固定防护机构6，所述存储箱1一侧靠近存放板4均与存储室3连通设有除尘口7，所述存储箱1远离除尘口7一侧与存储室3连通设有多个进气口8，所述存储室3内顶部一侧连接设有温湿度传感器9，所述存储箱1顶部一侧连接设有蜂鸣警报器10，所述存储箱1顶部连接设有吸尘器11，所述吸尘器11的进气端与多个除尘口7之间连接设有气管12，所述存储箱1侧壁匹配存储室3设有侧门13。
[0016]所述存储箱1靠近进气口8一侧设有进气框14，所述进气框14内两侧壁之间均连接设有负离子发生器15，通过负离子发生器15可以消除存储室3内静电。
[0017]所述进气口8内连接设有防尘网16，防尘网16的设置防止外界的灰尘进入存储室3内。
[0018]所述固定防护机构6包括电推杆17、上盖板18，所述电推杆17的伸缩端与上盖板18的顶壁固定连接，所述上盖板18的底部匹配存放槽5设有上盖槽19，通过上盖槽19的设置方便压至存放槽5上部，对掩膜版存放进行防护。
[0019]本技术在具体实施时，操作员首先通过人体静电释放器2释放人体静电，打开侧门13，将掩膜版放入存放槽5内，摆放完成后，启动电推杆17，使得上盖板18下移，上盖槽19与存放槽5接触，从而增加存放防护效果，关闭侧门13，启动吸尘器11，对内部灰尘空气抽动，外界空气经过进气框14与进气口8进入存储室3内，通过负离子发生器15使得外界空气携带负离子进入存储室3从而消除内部静电，同时内部灰尘通过除尘口7进入吸尘器11收集，通过温湿度传感器9对环境温湿度监控，配合蜂鸣警报器10进行异常警示。本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
[0020]本技术使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有
技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
[0021]以上对本技术及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本技术的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本技术创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.掩膜版智能存储设备，包括存储箱(1)与人体静电释放器(2)，其特征在于：所述人体静电释放器(2)靠近存储箱(1)设置，所述存储箱(1)内设有存储室(3)，所述存储室(3)内均匀设有多个存放板(4)，多个所述存放板(4)的顶部与存储室(3)内底壁均连接设有多个存放槽(5)，多个所述存放板(4)的底部与存储室(3)内顶部均连接设有固定防护机构(6)，所述存储箱(1)一侧靠近存放板(4)均与存储室(3)连通设有除尘口(7)，所述存储箱(1)远离除尘口(7)一侧与存储室(3)连通设有多个进气口(8)，所述存储室(3)内顶部一侧连接设有温湿度传感器(9)，所述存储箱(1)顶部一侧连接设有蜂鸣警报器(10)，所述存储箱(1)顶部连接设有吸尘器(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚文虎，
申请(专利权)人：重庆博硕自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：