【技术实现步骤摘要】
本技术涉及固定技术，尤其涉及一种固定机构。技术背景半导体制造中所使用的诸多机台(例如刻蚀机台或气相沉积机台等)均设 置有一供晶圆进出的开口，为避免机台中的生成物污染环境，同时也避免外界 的污染物进入机台，机台针对该开口设置有伸缩门，当晶圆进出机台时，该伸 缩门从堵塞开口的位置降下以露出开口供晶圓进出，当无晶圆进出该机台时， 该伸缩门升到可堵塞该开口的位置。该伸缩门与一升降轴连接，并在升降轴的 驱动下做升降运动。参见图1，显示了升降轴和伸缩门间的连接结构示意图，如图所示，升降轴1和伸缩门2通过固定机构3连接固定，该固定才几构3包括螺钉30和两连接固 定件31、 32,该连接固定件31、 32为相同的柱体，该升降轴1和伸缩门2均设 置有与该螺钉30相匹配的第一螺紋孔10和20,该第一螺紋孔20还为埋头螺紋 孔，其包括相连通且分别设置在伸缩门2正面的埋头孔200和设置在伸缩门2 背面的螺紋孔201，该升降轴1还设置有恰容许两连接固定件31、 32穿过的通 孔ll、 12,该伸缩门2对应该连接固定件31、 32设置有盲孔21、 22,该两固 定件31、 32和盲孔2...
【技术保护点】
一种固定机构，用于将一伸缩门固定在一升降轴上，该伸缩门和该升降轴上均设置有贯通的第一螺纹孔，该伸缩门背面上还在第一螺纹孔两侧对称设置有两结合部，该固定机构包括一与该第一螺纹孔相匹配的螺钉以及两连接固定件，其特征在于，该结合部为第二螺纹孔，该连接固定件一端具有与该第二螺纹孔相匹配的螺纹。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨军成，唐京，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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