一种流体调速装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种流体调速装置，包括基座、基板转轴、固定环、流体回收盘、流体回收盘连接环、基板转轴驱动件及流体回收盘驱动件。基板转轴穿设于基座中部、下端与基板转轴驱动件连接，固定环安装于基板转轴外周的基座上，流体回收盘驱动件安装于固定环外周的基座上，流体回收盘驱动件通过流体回收盘连接环直接带动流体回收盘转动。本发明专利技术相对现有的技术，通过采用直驱电机的流体回收盘驱动件，在做到提高化学药品回收率的同时，做到了驱动端模块化，便于安装维护，可有效避免间接驱动例如齿轮传动或压缩空气推动叶轮等驱动方式带来的颗粒物污染问题，保证半导体湿制程的工艺效果。证半导体湿制程的工艺效果。证半导体湿制程的工艺效果。

【技术实现步骤摘要】
一种流体调速装置


[0001]本专利技术涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种流体调速装置。

技术介绍

[0002]在半导体湿制程领域，随着工艺的更新与发展，对于化学药品的回收与再利用的需求越来越多。现有技术中一般通过电机+齿轮传动或压缩空气+叶轮等方式，实现驱动流体回收盘的动作，结构复杂维护不便，且严格意义来讲皆为间接驱动，存在很多需要维护的相关零部件。且某些间接传动结构例如齿轮传动需要涂抹相关润滑油或润滑脂；压缩空气推动叶轮旋转，会发生磨损现象。因此上述结构容易给洁净环境带来很多颗粒物污染问题，影响半导体湿制程的工艺效果。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种流体调速装置。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种流体调速装置，包括基座、基板转轴、固定环、流体回收盘、流体回收盘连接环、基板转轴驱动件及流体回收盘驱动件；
[0006]所述基板转轴穿设于所述基座中部、下端与所述基板转轴驱动件连接，所述基板转轴驱动件安装于所述基座下部，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流体调速装置，其特征在于：包括基座(1)、基板转轴(2)、固定环(3)、流体回收盘(4)、流体回收盘连接环(5)、基板转轴驱动件(6)及流体回收盘驱动件(7)；所述基板转轴(2)穿设于所述基座(1)中部、下端与所述基板转轴驱动件(6)连接，所述基板转轴驱动件(6)安装于所述基座(1)下部，所述固定环(3)安装于所述基板转轴(2)外周的基座(1)上，所述流体回收盘驱动件(7)安装于所述固定环(3)外周的基座(1)上，所述流体回收盘驱动件(7)的驱动端与所述流体回收盘连接环(5)连接，所述流体回收盘连接环(5)与所述流体回收盘(4)连接。2.根据权利要求1所述的一种流体调速装置，其特征在于：所述基板转轴(2)的轴向中心线、固定环(3)的轴向中心线、流体回收盘(4)的轴向中心线、流体回收盘连接环(5)的轴向中心线、基板转轴驱动件(6)的轴向中心线及流体回收盘驱动件(7)的轴向中心线均共线。3.根据权利要求1所述的一种流体调速装置，其特征在于：所述基板转轴(2)的顶部为支撑盘部，所述基板转轴(2)的中部开设有抽真空孔道，所述基板转轴(2)的支撑盘部的顶面上开设有与所述抽真空孔道相连通的抽真空沟槽。4.根据权利要求3所述的一种流体调速装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王本义，王一，刘迟，关贺聲，孙俊主，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：