一种石墨托盘检测工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨托盘检测工装，包括数显百分表，所述数显百分表通过支撑座进行支撑，数显百分表的轴套上固定有与石墨托盘顶部接触配合的定位座，定位座的底部为平面结构，所述数显百分表通过数据采集器将测量数据传输给电脑进行记录；在测量过程中只需要移动石墨托盘，操作更加简单、方便，通过定位座对石墨托盘进行测量定位，确保测量数据的准确性；通过数据采集器，将测量数据直接记录到电脑中，省去操作者手动填写测量记录的繁琐，节省了时间，避免了人工读数误差，大大提高了测量精度与效率。精度与效率。精度与效率。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨托盘检测工装


[0001]本技术涉及石墨托盘检测
，具体为一种石墨托盘检测工装。

技术介绍

[0002]硅片镀膜用的PECVD载板为石墨托盘，将多片硅片放置在一个石墨托盘上，需要在石墨托盘上加工出多个长方形或正方形上承载区。使用时，每个承载区放置一片硅片，然后放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅表面。
[0003]石墨托盘通常设置多个用于承载待镀膜件的承载区，承载区内开设两层凹槽，将凹槽加工成台阶，通过台阶实现对待镀膜件(硅片)的限位，第一层凹槽放置硅片，第二层镂空，凹槽的深度尺寸会影响硅片放置，因此，石墨托盘在生产时需要对深度进行精确检测。
[0004]目前对石墨托盘的测量工具为游标卡尺，使用游标卡尺测量石墨托盘内的孔穴深度时，需要记录测量数据，一个石墨托盘的测量数据大约在500个左右，测量数值时需要将数据手写记录到表单中，每次测量时，尺子测量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨托盘检测工装，其特征在于：包括数显百分表，所述数显百分表通过支撑座进行支撑，数显百分表的轴套上固定有与石墨托盘顶部接触配合的定位座，定位座的底部为平面结构，所述数显百分表通过数据采集器将测量数据传输给电脑进行记录。2.如权利要求1所述的一种石墨托盘检测工装，其特征在于：所述支撑座的上端连接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的上端铰接有第二支撑杆，第一支撑杆和第二支撑杆的铰接处通过螺栓固定，所述数显百分表的上端与第二支撑杆连接。3.如权利要求2所述的一种石墨托盘检测工装，其特征在于：所述支撑座内设有螺杆，所述螺杆上螺纹配合有滑块，...

【专利技术属性】
技术研发人员：白红芳，吴作栋，邹海宁，
申请(专利权)人：山东伟基炭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：