用于检查材料的方法和装置制造方法及图纸

检查材料的方法包括移动所述材料和识别缺陷的缺陷位置。方法包括使相机沿第二行进路径在第二行进方向上移动，使得所述相机的视野(FOV)沿所述第二行进路径相对于所述材料移动以匹配所述缺陷位置。方法包括：随着所述材料移动，使所述缺陷穿过所述视野(FOV)，以及随着所述材料移动并且所述缺陷移动穿过所述FOV，利用所述相机捕获所述缺陷的图像。所述图像包括第一主表面的第一图像、第二主表面的第二图像和所述材料的在所述第一主表面与所述第二主表面之间的中间部分的第三图像。方法包括审查多个图像以表征所述缺陷。查多个图像以表征所述缺陷。查多个图像以表征所述缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于检查材料的方法和装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请根据35U.S.C.
§
119要求2020年8月8日提交的美国临时申请号63/060,896的优先权权益，该申请的内容是本文的基础并全文以引用方式并入本文。


[0003]本公开内容大体上涉及用于检查材料的方法，并且更具体地涉及用于利用包括相机的检查装置来检查材料的方法。

技术介绍

[0004]玻璃带常常用于例如显示应用(诸如液晶显示器(liquid crystal display，LCD)、电泳显示器(electrophoretic display，EPD)、有机发光二极管显示器(organic light emitting diode display，OLED)、等离子体显示面板(plasma display panel，PDP)、触控式传感器、光伏装置等)中。此类显示器可例如结合到移动电话、平板计算机、膝上型计算机、手表、可穿戴装置和/或具备触控能力的监视器或显示器中。可利用相机检查玻璃带，相机捕获玻璃带的图像，然后检查图像以发现玻璃带内的缺陷。检查过程可能耗时且成本高昂，因为可能频繁打断玻璃带的运动以便进行检查。此外，检查玻璃带的在主表面之间的体积或内部部分可能很难且不准确。因而，需要检查材料(例如，玻璃带)的方法可更有效且快速地检查材料。

技术实现思路

[0005]以下呈现本公开内容的简要概述以提供对详细描述中所描述的一些实施例的基本理解。
[0006]在一些实施例中，检查装置可包括第一检查装置和第二检查装置。随着材料不断移动，第一检查装置可识别材料中的缺陷的缺陷位置。第二检查装置可通过捕获缺陷的多个图像来再访缺陷位置。例如，第二检查装置可包括一个或多个相机。在一些实施例中，一个相机可捕获第一主表面的图像，第二相机可捕获第二主表面的图像，并且第三相机可捕获材料的在第一主表面与第二主表面之间的中间部分的图像。在一些实施例中，基于中间部分的所捕获图像，可确定位于中间部分内的缺陷的定位。另外，在一些实施例中，一个或多个相机可沿垂直于材料的移动方向且平行于第一主表面的轴线(例如，Y轴)移动。随着材料不断移动，通过使一个或多个相机沿Y轴移动，一个或多个相机可在沿Y轴的多个位置处捕获多个缺陷的图像。
[0007]在一些实施例中，检查材料的方法可包括使材料沿第一行进路径在第一行进方向上移动。方法可包括识别材料中的缺陷的缺陷位置。方法可包括使相机沿第二行进路径在实质上垂直于第一行进方向的第二行进方向上移动，使得相机的视野(FOV)沿第二行进路径相对于材料移动以匹配缺陷位置，第二行进路径平行于材料的第一主表面。方法可包括：随着材料沿第一行进路径移动，使缺陷穿过视野(FOV)。方法可包括：随着材料在第一行进
方向上移动且缺陷移动穿过FOV，利用相机捕获缺陷的多个图像。多个图像可包括在缺陷位置处的材料的第一主表面的第一图像、在缺陷位置处的材料的第二主表面的第二图像和在缺陷位置处的材料的在第一主表面与第二主表面之间的中间部分的第三图像。方法可包括审查多个图像以表征缺陷。
[0008]在一些实施例中，使材料移动包括：在捕获多个图像的同时，使材料沿第一行进路径不断移动。
[0009]在一些实施例中，捕获多个图像可包括：在缺陷穿过视野(FOV)之前捕获材料的第四图像和在缺陷离开视野(FOV)之后捕获材料的第五图像。
[0010]在一些实施例中，捕获多个图像可包括将缺陷位置曝露于来自照明源的光，照明源包括暗视野照明源、同轴照明源、梯度照明源、漫射照明源、阴天照明源、亮视野照明源、结构光照明源或激光照明源中的一者或多者。
[0011]在一些实施例中，识别缺陷位置可发生在使相机移动和捕获多个图像之前。
[0012]在一些实施例中，材料可包括玻璃带。
[0013]在一些实施例中，检查材料的方法可包括使材料沿第一行进路径在第一行进方向上移动。方法可包括识别材料中的缺陷的缺陷位置。方法可包括使相机沿第二行进路径在实质上垂直于第一行进方向的第二行进方向上移动，使得相机的视野(FOV)沿第二行进路径相对于材料移动以匹配缺陷位置。第二行进路径可平行于材料的第一主表面。在相机与第一主表面之间的相机轴线可相对于第一主表面形成在约3度至约85度的范围内的角度。方法可包括：随着材料沿第一行进路径移动，使缺陷穿过视野(FOV)。方法可包括利用相机捕获在缺陷位置处的材料的在第一主表面与第二主表面之间的中间部分的多个图像。方法可包括审查多个图像以确定缺陷距离第一主表面的深度。
[0014]在一些实施例中，捕获多个图像可包括：当缺陷在中间部分内时捕获缺陷的第一图像，在捕获第一图像之后的第一时间段捕获在中间部分内的缺陷的第二图像，和在捕获第二图像之后的第二时间段捕获在中间部分内的缺陷的第三图像。
[0015]在一些实施例中，审查多个图像可包括比较第一图像、第二图像和第三图像的清晰度以确定深度。
[0016]在一些实施例中，第一图像可在缺陷进入相机的视野深度之前捕获，第二图像可在缺陷位于视野深度内的情况下捕获，并且第三图像可在缺陷离开视野深度之后捕获。
[0017]在一些实施例中，检查材料的方法可包括使材料沿第一行进路径在第一行进方向上移动。方法可包括识别材料中的第一缺陷的第一缺陷位置和第二缺陷的第二缺陷位置。方法可包括使第一相机沿第二行进路径在实质上垂直于第一行进方向的第二行进方向上移动，使得第一相机的第一视野(FOV)沿第二行进路径相对于材料移动以匹配第一缺陷位置，第二行进路径平行于材料的第一主表面。方法可包括使第二相机沿第三行进路径在实质上平行于第二行进路径的第二行进方向上移动，使得第二相机的第二视野(FOV)沿第三行进路径相对于材料移动以匹配第二缺陷位置。方法可包括：随着材料沿第一行进路径移动，使第一缺陷穿过第一视野(FOV)。方法可包括：随着材料沿第一行进路径移动，使第二缺陷穿过第二视野(FOV)。方法可包括利用第一相机捕获在第一缺陷位置处的材料的第一部分的第一图像。方法可包括利用第二相机捕获在第二缺陷位置处的材料的第二部分的第二图像。方法可包括审查第一图像和第二图像以表征第一缺陷和第二缺陷。表征可包括确定
以下中的一者或多者：第一缺陷和第二缺陷的位置、第一缺陷和第二缺陷的类型，或者第一缺陷和第二缺陷的大小。
[0018]在一些实施例中，使材料移动可包括：在捕获第一图像和第二图像的同时，使材料沿第一行进路径不断移动。
[0019]在一些实施例中，材料沿第一行进路径在第一行进方向上的速度可在约25mm/s至约500mm/s的范围内，并且其中第一相机沿第一行进路径在第一行进方向上的速度为零。
[0020]在一些实施例中，第一相机或第二相机中的一者或多者的曝光时间可小于约2微秒。
[0021]在一些实施例中，使第一缺陷穿过第一视野(FOV)可发生在第二缺陷穿过第二视野(FOV)之前，其中第三行进路径相对于第一行进方向位于第二行进路径下游。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查材料的方法，包括：使所述材料沿第一行进路径在第一行进方向上移动；识别所述材料中的缺陷的缺陷位置；使相机沿第二行进路径在实质上垂直于所述第一行进方向的第二行进方向上移动，使得所述相机的视野(FOV)沿所述第二行进路径相对于所述材料移动以匹配所述缺陷位置，所述第二行进路径平行于所述材料的第一主表面；随着所述材料沿所述第一行进路径移动，使所述缺陷穿过所述视野(FOV)；随着所述材料在所述第一行进方向上移动且所述缺陷移动穿过所述FOV，利用所述相机捕获所述缺陷的多个图像，所述多个图像包括在所述缺陷位置处的所述材料的所述第一主表面的第一图像、在所述缺陷位置处的所述材料的第二主表面的第二图像和在所述缺陷位置处的所述材料的在所述第一主表面与所述第二主表面之间的中间部分的第三图像；以及审查所述多个图像以表征所述缺陷。2.如权利要求1所述的方法，其中使所述材料移动包括：在捕获所述多个图像的同时，使所述材料沿所述第一行进路径不断移动。3.如权利要求1至2中任一项所述的方法，其中所述捕获所述多个图像包括在所述缺陷穿过所述视野(FOV)之前捕获所述材料的第四图像和在所述缺陷离开所述视野(FOV)之后捕获所述材料的第五图像。4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述捕获所述多个图像包括将所述缺陷位置曝露于来自照明源的光，所述照明源包括暗视野照明源、同轴照明源、梯度照明源、漫射照明源、阴天照明源、亮视野照明源、结构光照明源或激光照明源中的一者或多者。5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述识别所述缺陷位置发生在使所述相机移动和捕获所述多个图像之前。6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述材料包括玻璃带。7.一种检查材料的方法，包括：使材料沿第一行进路径在第一行进方向上移动；识别所述材料中的缺陷的缺陷位置；使相机沿第二行进路径在实质上垂直于所述第一行进方向的第二行进方向上移动，使得所述相机的视野(FOV)沿所述第二行进路径相对于所述材料移动以匹配所述缺陷位置，所述第二行进路径平行于所述材料的第一主表面，在所述相机与所述第一主表面之间的相机轴线相对于所述第一主表面形成在约3度至约85度的范围内的角度；随着所述材料沿所述第一行进路径移动，使所述缺陷穿过所述视野(FOV)；利用所述相机捕获在所述缺陷位置处的所述材料的在所述第一主表面与第二主表面之间的中间部分的多个图像；审查所述多个图像以确定所述缺陷距离所述第一主表面的深度。8.如权利要求7所述的方法，其中所述捕获所述多个图像包括当所述缺陷在所述中间部分内时捕获所述缺陷的第一图像，在捕获所述第一图像之后的第一时间段捕获在所述中间部分内的所述缺陷的第二图像，以及在捕获所述第二图像之后的第二时间段捕获在所述中间部分内的所述缺陷的第三图像。
9.如权利要求8所述的方法，其中所述审查所述多个图像包括比较所述第一图像、所述第二图像和所述第三图像的清晰度以确定所述深度。10.如权利要求8至9中任一项所述的方法，其中所述第一图像在所述缺陷进入所述相机的视野深度之前捕获，所述第二图像在所述缺陷位于所述视野深度内的情况下捕获，并且所述第三图像在所述缺陷离开所述视野深度之后捕获。11.一种检查材料的方法，包括：使所述材料沿第一行进路径在第一行进方向上移动；识...

【专利技术属性】
技术研发人员：厄尔，
申请(专利权)人：康宁公司，
类型：发明
国别省市：