一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺制造方法及图纸

本发明专利技术涉及石英产品加工技术领域，具体是一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺，包括箱体，箱体的顶部安装有X轴部件，X轴部件上移动安装有移动架，移动架的顶部安装有Z轴部件，Z轴部件的侧面安装有Y轴部件，Z轴部件的一侧安装有A轴部件，Z轴部件、Y轴部件、A轴部件和X轴部件均包括伺服电机，伺服电机的输出轴连接有滚珠丝杠，滚珠丝杠的外部螺纹连接有螺母座，A轴部件上安装有C轴部件，C轴部件的输出轴连接有灯架装卡机构，箱体的顶部安装有石墨平台。本发明专利技术的有益效果具有自动化程度高，高效率，高精度，质量稳定及性能可靠等优点，适用在各类石英舟产品的槽棒加工过程中，降低员工的劳动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺


[0001]本专利技术涉及石英产品加工
，具体是一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺。

技术介绍

[0002]特殊槽型的自动抛光技术应用在石英舟类产品领域，石英舟制品作为半导体工艺中与硅片接触最密切的部件之一，其质量好坏对芯片的质量有着非常重要的影响，而槽棒抛光又是石英舟类产品的核心工艺，高端石英舟的特殊形状槽棒对尺寸和抛光温度要求非常高，手工操作和普通设备精度无法满足产品尺寸和外观的需求，所以迫切需要研发此类设备来保证槽棒抛光的一致性，降低员工的劳动强度并提高产品的生产效率。
[0003]目前国内多数小的石英生产厂家多是用手工或简单的设备对常规槽棒进行抛光，质量和效率都比较低下的缺点，因此亟需研发一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的手工或简单的设备对槽棒进行抛光，质量和效率都比较低下的问题。
[0005]本专利技术的技术方案是：包括箱体，所述箱体的顶部安装有X轴部件，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的顶部安装有X轴部件(10)，所述X轴部件(10)上移动安装有移动架(2)，所述移动架(2)的顶部安装有Z轴部件(3)，所述Z轴部件(3)的侧面安装有Y轴部件(4)，所述Z轴部件(3)的一侧安装有A轴部件(5)，所述Z轴部件(3)、Y轴部件(4)、A轴部件(5)和X轴部件(10)均包括伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出轴连接有滚珠丝杠(11)，所述滚珠丝杠(11)的外部螺纹连接有螺母座(12)，所述A轴部件(5)上安装有C轴部件(6)，所述C轴部件(6)的输出轴连接有灯架装卡机构(7)，所述灯架装卡机构(7)的底部安装有抛光灯具(8)，所述箱体(1)的顶部安装有石墨平台(15)，所述箱体(1)的顶部安装有数控软件系统(18)。2.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述Z轴部件(3)、Y轴部件(4)、A轴部件(5)和X轴部件(10)均包括线性导轨(13)和滑动导架(14)，且滑动导架(14)滑动在线性导轨(13)上。3.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述石墨平台(15)包括石墨治具(16)，所述石墨治具(16)的两侧均安装有限位板(17)，所述石墨治具(16)安装在箱体(1)的顶部。4.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述数控软件系统(18)包括控制器(19)，所述控制器(19)的正面嵌入安装有显示屏(20)，所述控制器(19)的正面安装有操控按键(21)。5.根据权利要求4所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述控制器(19)的底部安装有扩展板(23)，所述扩展板(23)的底部安装有支撑柱(22)，且支撑柱(22)的底部安装有箱体(1)上。6.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张武男，王军，魏强，宋德凯，吕品，周研，
申请(专利权)人：贺利氏信越石英中国有限公司，
类型：发明
国别省市：