本发明专利技术涉及石英产品加工技术领域，具体是一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺，包括箱体，箱体的顶部安装有X轴部件，X轴部件上移动安装有移动架，移动架的顶部安装有Z轴部件，Z轴部件的侧面安装有Y轴部件，Z轴部件的一侧安装有A轴部件，Z轴部件、Y轴部件、A轴部件和X轴部件均包括伺服电机，伺服电机的输出轴连接有滚珠丝杠，滚珠丝杠的外部螺纹连接有螺母座，A轴部件上安装有C轴部件，C轴部件的输出轴连接有灯架装卡机构，箱体的顶部安装有石墨平台。本发明专利技术的有益效果具有自动化程度高，高效率，高精度，质量稳定及性能可靠等优点，适用在各类石英舟产品的槽棒加工过程中，降低员工的劳动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。
【技术实现步骤摘要】
一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺
[0001]本专利技术涉及石英产品加工
，具体是一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺。
技术介绍
[0002]特殊槽型的自动抛光技术应用在石英舟类产品领域，石英舟制品作为半导体工艺中与硅片接触最密切的部件之一，其质量好坏对芯片的质量有着非常重要的影响，而槽棒抛光又是石英舟类产品的核心工艺，高端石英舟的特殊形状槽棒对尺寸和抛光温度要求非常高，手工操作和普通设备精度无法满足产品尺寸和外观的需求，所以迫切需要研发此类设备来保证槽棒抛光的一致性，降低员工的劳动强度并提高产品的生产效率。
[0003]目前国内多数小的石英生产厂家多是用手工或简单的设备对常规槽棒进行抛光，质量和效率都比较低下的缺点，因此亟需研发一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的手工或简单的设备对槽棒进行抛光，质量和效率都比较低下的问题。
[0005]本专利技术的技术方案是：包括箱体，所述箱体的顶部安装有X轴部件，所述X轴部件上移动安装有移动架，所述移动架的顶部安装有Z轴部件，所述Z轴部件的侧面安装有Y轴部件，所述Z轴部件的一侧安装有A轴部件，所述Z轴部件、Y轴部件、A轴部件和X轴部件均包括伺服电机，所述伺服电机的输出轴连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的外部螺纹连接有螺母座，所述A轴部件上安装有C轴部件，所述C轴部件的输出轴连接有灯架装卡机构，所述灯架装卡机构的底部安装有抛光灯具，所述箱体的顶部安装有石墨平台，所述箱体的顶部安装有数控软件系统。
[0006]进一步地，所述Z轴部件、Y轴部件、A轴部件和X轴部件均包括线性导轨和滑动导架，且滑动导架滑动在线性导轨上。
[0007]进一步地，所述石墨平台包括石墨治具，所述石墨治具的两侧均安装有限位板，所述石墨治具安装在箱体的顶部。
[0008]进一步地，所述数控软件系统包括控制器，所述控制器的正面嵌入安装有显示屏，所述控制器的正面安装有操控按键。
[0009]进一步地，所述控制器的底部安装有扩展板，所述扩展板的底部安装有支撑柱，且支撑柱的底部安装有箱体上。
[0010]进一步地，所述箱体的正面通过合页转动连接有箱门，所述箱门的正面安装有把手。
[0011]进一步地，所述箱体的底部安装有支撑腿，所述支撑腿的底部安装有脚垫。
[0012]进一步地，所述灯架装卡机构包括转动架，所述转动架一侧开有螺纹槽，所述抛光灯具的顶部安装有固定座。
[0013]进一步地，所述固定座的一侧固定有连接板，所述连接板的一侧开有连接孔，所述连接孔的内部插接有紧固螺栓。
[0014]一种特殊槽形的自动抛光工艺，包括以下步骤：
[0015]S1、放置：将槽棒固定在定制的石墨治具上；
[0016]S2、左右调节：启动X轴部件内的伺服电机，伺服电机带动滚珠丝杠转动，滚珠丝杠转动在螺母座上，滚珠丝杠转动带动移动架和抛光灯具左右移动；
[0017]S3、上下调节：启动Z轴部件内的伺服电机，伺服电机带动滚珠丝杠转动，滚珠丝杠转动在螺母座上，滚珠丝杠转动带动A轴部件和抛光灯具上下移动；
[0018]S4、前后调节：启动Y轴部件和A轴部件内的伺服电机，伺服电机带动滚珠丝杠转动，滚珠丝杠转动在螺母座上，滚珠丝杠转动带动C轴部件和抛光灯具前后移动；
[0019]S5、转动调节：启动C轴部件，C轴部件带动灯架装卡机构和抛光灯具的调节角度；
[0020]S6、抛槽：启动抛光灯具，抛光灯具通过定制灯嘴调整火焰，运行抛光程序，对槽棒进行抛槽的工作全部由自动设备完成。
[0021]本专利技术通过改进在此提供一种特殊槽形的自动抛光装置及工艺，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
[0022](1)同现有手工操作相比具有自动化程度高，高效率，高精度，质量稳定及性能可靠等优点，适用在各类石英舟产品的槽棒加工过程中，降低员工的劳动强度并显著提高产品的生产效率和产品质量。
[0023](2)通过设置的Z轴部件、A轴部件、X轴部件、Y轴部件和C轴部件，Z轴部件、A轴部件、X轴部件和Y轴部件均采用伺服电机带动滚珠丝杠螺母进行传动，实现X,Y,Z,A四轴联动，提高调节抛光灯具的灵活性，采用的C轴部件控制抛光灯具角度进行+/
‑
180度旋转，按抛光程序自动完成抛槽工作。
附图说明
[0024]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释:
[0025]图1是本专利技术的主视结构示意图；
[0026]图2是本专利技术的俯视结构示意图；
[0027]图3是本专利技术的灯架装卡机构结构示意图；
[0028]图4是本专利技术的流程结构示意图。
[0029]附图标记说明：
[0030]1、箱体；2、移动架；3、Z轴部件；4、Y轴部件；5、A轴部件；6、C轴部件；7、灯架装卡机构；8、抛光灯具；9、伺服电机；10、X轴部件；11、滚珠丝杠；12、螺母座；13、线性导轨；14、滑动导架；15、石墨平台；16、石墨治具；17、限位板；18、数控软件系统；19、控制器；20、显示屏；21、操控按键；22、支撑柱；23、扩展板；24、箱门；25、把手；26、支撑腿；27、脚垫；28、转动架；29、螺纹槽；30、固定座；31、连接板；32、连接孔；33、紧固螺栓。
具体实施方式
[0031]下面将结合附图1至图4对本专利技术进行详细说明，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实
施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0032]本专利技术通过改进在此提供一种特殊槽形的自动抛光装置，如图1
‑
图4所示，包括箱体1，箱体1的顶部安装有X轴部件10，X轴部件10上移动安装有移动架2，移动架2移动带动Z轴部件3移动，移动架2的顶部安装有Z轴部件3，Z轴部件3的侧面安装有Y轴部件4，Z轴部件3的一侧安装有A轴部件5，Z轴部件3、Y轴部件4、A轴部件5和X轴部件10均包括伺服电机9，实现X,Y,Z,A四轴联动，伺服电机9带动滚珠丝杠11转动，滚珠丝杠11转动在螺母座12上，滚珠丝杠11转动带动抛光灯具8位置调节，伺服电机9的输出轴连接有滚珠丝杠11，滚珠丝杠11的外部螺纹连接有螺母座12，A轴部件5上安装有C轴部件6，Z轴部件3、Y轴部件4、A轴部件5和X轴部件10均包括线性导轨13和滑动导架14，且滑动导架14滑动在线性导轨13上，线性导轨13能对滑动导架14起到导向作用，同时滑动导架14一端能对Z轴部件3、Y轴部件4、A轴部件5和X轴部件10内移动部件起到导向作用，提高Z轴部件3、Y轴部件4、A轴部件5和X轴部件10内移动部件使用的灵活性。
[0033]进一步地，箱体1的顶部安装有石墨平台15，石墨平本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的顶部安装有X轴部件(10)，所述X轴部件(10)上移动安装有移动架(2)，所述移动架(2)的顶部安装有Z轴部件(3)，所述Z轴部件(3)的侧面安装有Y轴部件(4)，所述Z轴部件(3)的一侧安装有A轴部件(5)，所述Z轴部件(3)、Y轴部件(4)、A轴部件(5)和X轴部件(10)均包括伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出轴连接有滚珠丝杠(11)，所述滚珠丝杠(11)的外部螺纹连接有螺母座(12)，所述A轴部件(5)上安装有C轴部件(6)，所述C轴部件(6)的输出轴连接有灯架装卡机构(7)，所述灯架装卡机构(7)的底部安装有抛光灯具(8)，所述箱体(1)的顶部安装有石墨平台(15)，所述箱体(1)的顶部安装有数控软件系统(18)。2.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述Z轴部件(3)、Y轴部件(4)、A轴部件(5)和X轴部件(10)均包括线性导轨(13)和滑动导架(14)，且滑动导架(14)滑动在线性导轨(13)上。3.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述石墨平台(15)包括石墨治具(16)，所述石墨治具(16)的两侧均安装有限位板(17)，所述石墨治具(16)安装在箱体(1)的顶部。4.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述数控软件系统(18)包括控制器(19)，所述控制器(19)的正面嵌入安装有显示屏(20)，所述控制器(19)的正面安装有操控按键(21)。5.根据权利要求4所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述控制器(19)的底部安装有扩展板(23)，所述扩展板(23)的底部安装有支撑柱(22)，且支撑柱(22)的底部安装有箱体(1)上。6.根据权利要求1所述的一种特殊槽形的自动抛光装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张武男，王军，魏强，宋德凯，吕品，周研，
申请(专利权)人：贺利氏信越石英中国有限公司，
类型：发明
国别省市：
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