【技术实现步骤摘要】
硅棒上料系统及截断机
[0001]本申请涉及硅棒加工
,尤其涉及一种硅棒上料系统及截断机。
技术介绍
[0002]单晶硅是信息产业的基础性材料,广泛应用于半导体和太阳能等领域。单晶硅是硅原子以一种排列形式形成的物质。单晶硅材料制造主要包括以下过程:石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅棒-硅段(片)切割。其中,单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的,是硅原子按籽晶的晶格排列方向,重新排列的硅单晶体棒。而硅段(片)切割是指在硅棒成型后,通过截断机(也称作切割机、切断机等)将其切割成段或者切割成片,以满足后续环节的使用。
[0003]截断机的主要工作过程包括上料、输送、切割和下料。上料是指将硅棒输送或者放置到上料装置上,之后由上料装置将其转运到输送装置。上料过程涉及硅棒加工的初始环节,可能会出现一些干扰因素,例如采用不同输送方式或者操作方式将硅料放置在上料装置上,另外这个环节可能还会涉及一些检测(检查)如硅棒晶线位置检测(检查)的需要,也可能涉及到对硅棒放置位置的重新调整,这些方面都可能影 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅棒上料系统,其特征在于,包括上料装置(20),所述上料装置(20)包括传输支撑层、平行设置于所述传输支撑层的第一列传输轮组和第二列传输轮组以及用于驱动所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组的第三驱动部件(213),所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组的各个传输轮的转动轴向竖向布置。2.如权利要求1所述的硅棒上料系统,其特征在于,所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组的各个传输轮采用插拔式安装。3.如权利要求1所述的硅棒上料系统,其特征在于,所述第三驱动部件(213)为第三电机,所述第三电机采用锥齿轮传动的方式驱动所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组。4.如权利要求1所述的硅棒上料系统,其特征在于,所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组的第一侧间隔设置有多个第一防掉落滚轮(209),所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组的第二侧间隔设置有多个第二防掉落滚轮(210)。5.如权利要求1所述的硅棒上料系统,其特征在于,所述传输支撑层在靠近前端的位置设置有检测开关(221),所述检测开关(221)用于检测所述第一列传输轮组和所述第二列传输轮组上的硅棒是否已经转运结束。6.如权利要求1至5任一项所述的硅棒上料系统,其特征在于,所述上料系统还包括硅棒放置调整装置(10),所述硅棒放置调整装置(10)设置于所述两列传输轮组的下方;所述硅棒放置调整装置(10)包括调整支撑架(114)、平行布置于所述调整支撑架(114)上方的第一转轴(105)和第二转轴(106)、设置于所述第一转轴(105)的第一滚轮组、设置于所述第二转轴(106)的第二滚轮组、用于驱动所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙鹏,丁来军,朱文通,郭世峰,戴鑫辉,薛俊兵,
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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