一种基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置，包括TCSEL光源阵列、滤波片、第一光学透镜、扫描系统、第二光学透镜、探测器阵列和基板，TCSEL光源阵列、滤波片、第一光学透镜、第二光学透镜和探测器阵列均设置在基板上，TCSEL光源阵列、滤波片和第一光学透镜的中心设置在同一水平线上，第二光学透镜和探测器阵列的中心设置在同一水平线上，滤波片与探测器阵列传输光路相匹配；TCSEL光源阵列射出光线进入滤波片后分为两路光线，光线Ⅰ依次经过第一光学透镜、扫描系统、第二光学透镜后进入探测器阵列，光线Ⅱ由滤波片直接射入探测器阵列。本申请将装置集成化，减小装置的体积，阵列光源输出多线束激光，简化激光雷达的设计。简化激光雷达的设计。简化激光雷达的设计。

【技术实现步骤摘要】
一种基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置


[0001]本专利技术涉及激光雷达收发装置的
，尤其涉及一种基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，激光雷达在自动驾驶、智能机器人导航和智慧城市等领域使用广泛。目前基于时间飞行原理的激光雷达主要有机械式激光雷达与混合固态激光雷达，激光雷达的谱宽大小、能否多线工作、光束扫描范围、体积重量对其性能及批量应用有较大影响。
[0003]目前，激光雷达多采用905nm波长的半导体激光器（LD）作为其光源，但905nm波长人眼损害功率较低，限制了其最大探测距离，同时905nm的边发射半导体激光器光谱宽度较宽，一般在5nm，使其容易受到噪声的影响。目前实现激光雷达多线工作的方法主要是采用多个激光器同时工作，发射端的每个激光器需要配合镜头设置不同的贴片角度，该种方式使得激光雷达系统的集成度较低，且探测器（PD）与激光器的匹配精度较差，不适用于量产，因此人们提出采用垂直腔面发射激光器（VCSEL）阵列作为光发射系统的方案。VCSEL虽然容易制备成阵列，但VC本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置，其特征在于，包括TCSEL光源阵列（1）、滤波片（2）、第一光学透镜（3）、第二光学透镜（5）、探测器阵列（6）和基板（7），TCSEL光源阵列（1）、滤波片（2）、第一光学透镜（3）、第二光学透镜（5）和探测器阵列（6）均设置在基板（7）上；TCSEL光源阵列（1）、滤波片（2）和第一光学透镜（3）的光路在同一条直线上，第二光学透镜（5）和探测器阵列（6）的光路在同一条直线上，滤波片（2）与探测器阵列（6）传输光路相匹配，第一光学透镜（3）与第二光学透镜（5）均为凸透镜；TCSEL光源阵列（1）射出光线进入滤波片（2）后分为两路光线，光线Ⅰ经过第一光学透镜（3）反射进入第二光学透镜（5）后进入探测器阵列（6），光线Ⅱ由滤波片（2）直接射入探测器阵列（6）。2.根据权利要求1所述的基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置，其特征在于，所述TCSEL光源阵列（1）包括半导体衬底（8）、量子阱（9）、非晶硅（10）和阵列发光区域（11），半导体衬底（8）、量子阱（9）和非晶硅（10）自下而上依次设置，阵列发光区域（11）设置在非晶硅（10）内。3.根据权利要求2所述的基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置，其特征在于，所述非晶硅（10）下侧蚀刻有不均匀分布的矩形槽。4.根据权利要求3所述的基于TCSEL阵列的多线激光雷达收发装置，其特征在于，所述阵列发光区域（11）包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王欢，刘耀，
申请(专利权)人：河南仕佳光子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：