漂洗溶液制造技术

本发明专利技术涉及含有水溶性有机溶剂和水的均匀溶液的石版印刷术的漂洗溶液。优选的水溶性有机溶剂的实例是丙二醇单乙基醚和丙二醇单甲基醚乙酸酯的混合物、丙二醇单甲基醚和丙二醇单甲基醚乙酸酯的混合物和乳酸乙酯、该漂洗溶液用于从基底如集成电路元件、滤色器、液晶显示器元件等中的基底或从抗蚀剂涂覆设备中溶解掉或除去固化或未固化的、不需要的抗蚀剂、抗反射涂层等。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石版印刷术的漂洗溶液，它是水溶性有机溶剂和水的均匀溶液。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山元研二，井川昭彦，
申请(专利权)人：克拉瑞特国际有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]