一种双面光清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双面光清洗设备，它包括至少一组光清洗单元，所述光清洗单元包括：支撑组件，所述支撑组件包括支撑架体以及安装在所述支撑架体底部的多个支撑脚；清洗组件，所述清洗组件包括设置在所述支撑架体顶部的进出料箱体、可转动地安装在所述进出料箱体内的多根传送辊、安装在所述进出料箱体上且与多根所述传送辊相连接以带动其转动的传动机构以及安装在所述进出料箱体内且位于所述传送辊上下两侧的UV灯组，所述UV灯组包括通过转接板安装在所述进出料箱体内壁上的灯座以及安装在所述灯座上的UV灯。结构简单、成本较低、可靠性好。可靠性好。可靠性好。

【技术实现步骤摘要】
一种双面光清洗设备


[0001]本技术属于光清洗设备领域，涉及一种双面光清洗设备，具体是一种发射波长为172nmUV光的双面光清洗设备。

技术介绍

[0002]硅片表面可能沾染的污染物可分为三类：(1)粉尘颗粒及其它固体颗粒；(2)油脂、环氧树脂或聚乙二醇等有机物；(3)金属、金属离子和其它无机化合物等。随着环保要求的不断提高，使用UV清洗代替传统RCA清洗硅片越来越普遍，因为这大大降低了生产成本，是绿色环保的清洗方法。
[0003]申请号为201922401386.8的中国专利技术专利公开了一种全自动双面激光清洗装置，包括主机架、上下料单元、清洗单元；所述上下料单元包括料盘驱动模组和与所述料盘驱动模组运动方向垂直的取放料横移模组；所述取放料横移模组通过升降气缸连接机械手装置；所述机械手装置包括两对呈一定角度布置的夹指，两对夹指绕同一转轴转动；所述转轴与换向电机连接；所述机械手装置下方的主机架上设有清扫定位座；所述清扫定位座的两侧对称布置有清扫激光器；所述清扫定位座下方的主机架平面开有吸尘口，主机架的一面设有滤后出风口；所述主机架内部设有吸尘装置以及过滤装置。该申请主要通过激光实现清洗功能，并且需要借助于机械手、取放料横移模组等复杂结构实现，较为复杂且成本高。

技术实现思路

[0004]本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种双面光清洗设备。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种双面光清洗设备，它包括至少一组光清洗单元，所述光清洗单元包括：
[0006]支撑组件，所述支撑组件包括支撑架体以及安装在所述支撑架体底部的多个支撑脚；
[0007]清洗组件，所述清洗组件包括设置在所述支撑架体顶部的进出料箱体、可转动地安装在所述进出料箱体内的多根传送辊、安装在所述进出料箱体上且与多根所述传送辊相连接以带动其转动的传动机构以及安装在所述进出料箱体内且位于所述传送辊上下两侧的UV灯组，所述UV灯组包括通过转接板安装在所述进出料箱体内壁上的灯座以及安装在所述灯座上的UV灯。
[0008]优化地，所述进出料箱体包括清洗箱、形成在所述清洗箱内且间隔设置的多对加强板、可开合地安装在所述清洗箱顶部的密闭门板以及安装在所述密闭门板上的至少一个门把手，所述清洗箱中相对设置的两侧面上分别开设进料口和出料口，每对所述加强板分别安装在所述传送辊的上下两侧。
[0009]进一步地，所述灯座通过所述转接板安装在所述密闭门板的内表面。
[0010]更进一步地，所述UV灯发射波长为172nm的UV光。
[0011]优化地，所述传动机构包括绕设在相邻两根所述传送辊上的多根第一传动带、安
装在所述支撑架体上的电机以及连接任一根所述传送辊与所述电机的第二传动带。
[0012]优化地，所述灯座包括长条形本体、开设在所述本体底面的弧形槽以及开设在所述本体顶面的方形槽，所述UV灯安装在所述弧形槽内，所述方形槽对应安装至所述转接板上。
[0013]优化地，所述清洗组件还包括与所述UV灯相连接的射频电源以及与所述射频电源相连接的直流电源。
[0014]由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：本技术双面光清洗设备，通过在传送辊的上下两侧设置UV灯组以配合传送辊上的硅片进行清洗，结构简单、成本较低、可靠性好。
附图说明
[0015]图1为本技术双面光清洗设备的结构示意图；
[0016]图2为图1的侧视图；
[0017]图3为本技术双面光清洗设备中灯座的的结构示意图；
[0018]图4为图3的侧视图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图所示的实施例对本技术作进一步描述。
[0020]以下各实施例的说明是参考附图，用以例示本技术可据以实施的特定实施例。本技术所提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。另外，在说明书中，除非明确地描述为相反的，否则词语“包括”或“包含”应被理解为意指包括该元件，但是不排除任何其它元件。
[0021]如图1和图2所示的双面光清洗设备，它包括至少一组光清洗单元1；在本实施例中，光清洗单元1为两组且并排对齐设置。该光清洗单元1包括支撑组件11和清洗组件12。
[0022]支撑组件11包括支撑架体111以及安装在支撑架体111底部的多个支撑脚113。具体地，支撑架体111可以是多根方管或型材组装成的方形框体；支撑脚113为四个，设置在支撑架体111底部的四角处。
[0023]清洗组件12包括设置在支撑架体111顶部的进出料箱体121、可转动地安装在进出料箱体121内的多根传送辊125(多根传送辊125水平且间隔设置，其间距小于待输送硅片的宽度，以保证硅片的正常输送)、安装在进出料箱体121上且与多根传送辊125相连接以带动其转动的传动机构122以及安装在进出料箱体121内且位于传送辊125上下两侧的UV灯组123，该UV灯组123包括通过转接板1231安装在进出料箱体121内壁上的灯座1232以及安装在灯座1232上的UV灯。在本实施例中，UV灯发射波长为172nm的UV光，此波长的UV光清洗效果最佳。
[0024]在本实施例中，进出料箱体121包括清洗箱1211(该清洗箱1211中相对设置的两侧面上分别开设进料口和出料口)、形成在清洗箱1211内且间隔设置的多对加强板1212(在本实施例中，为两对；每对加强板1212分别安装在传送辊125的上下两侧)、可开合地安装在清洗箱1211顶部的密闭门板1213(密闭门板1213通过铰链枢轴连接在清洗箱1211顶部的开口
处，从而实现该开口处的封闭)以及安装在密闭门板1213上的至少一个门把手1214(这样可以人工通过门把手1214打开密闭门板1213以露出前述的开口，可以用于检修等操作)，这样能够保证双面光清洗设备使用的安全性和可靠性。
[0025]灯座1232通过转接板1231安装在密闭门板1213的内表面，具体地，灯座1232(该灯座1232位于传送辊125的上侧，位于传送辊125下侧的灯座1232则与前述上侧的对称)包括长条形本体、开设在本体底面的弧形槽1234以及开设在本体顶面的方形槽1233，UV灯安装在弧形槽1234内，方形槽1233对应安装至转接板1231上(即灯座1232的本体顶面安装至转接板1231上，使得方形槽1233与转接板1231表面对接配合)，该结构能够在保证UV灯安装可靠性的同时有利于散热。
[0026]传动机构122包括绕设在相邻两根传送辊125上的多根第一传动带1221、安装在支撑架体111上的电机1223以及连接任一根传送辊125与电机1223的第二传动带1222，这样电机1223工作时能够同步带动多根传送辊125的同步转动，以保证硅片的连续输送。
[0027]在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面光清洗设备，它包括至少一组光清洗单元(1)，其特征在于，所述光清洗单元(1)包括：支撑组件(11)，所述支撑组件(11)包括支撑架体(111)以及安装在所述支撑架体(111)底部的多个支撑脚(113)；清洗组件(12)，所述清洗组件(12)包括设置在所述支撑架体(111)顶部的进出料箱体(121)、可转动地安装在所述进出料箱体(121)内的多根传送辊(125)、安装在所述进出料箱体(121)上且与多根所述传送辊(125)相连接以带动其转动的传动机构(122)以及安装在所述进出料箱体(121)内且位于所述传送辊(125)上下两侧的UV灯组(123)，所述UV灯组(123)包括通过转接板(1231)安装在所述进出料箱体(121)内壁上的灯座(1232)以及安装在所述灯座(1232)上的UV灯。2.根据权利要求1所述的双面光清洗设备，其特征在于：所述进出料箱体(121)包括清洗箱(1211)、形成在所述清洗箱(1211)内且间隔设置的多对加强板(1212)、可开合地安装在所述清洗箱(1211)顶部的密闭门板(1213)以及安装在所述密闭门板(1213)上的至少一个门把手(1214)，所述清洗箱(1211)中相对设置的两侧面上分别开...

【专利技术属性】
技术研发人员：居建华，
申请(专利权)人：无锡思锐电子设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：