一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具制造技术

本实用新型专利技术涉及机械技术领域。一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，包括底板，底板包括基板，底板还包括左右设置的左支撑部以及右支撑部，左支撑部以及右支撑部位于基板的上方，左支撑部以及右支撑部之间存有间隙，以间隙为用于滑入粗糙度测试仪的滑槽；左支撑部以及右支撑部上开设有嵌入屏蔽罩的翻边的限位槽，限位槽的前侧面与翻边的前侧面相抵；左支撑部以及右支撑部邻近侧的顶部用于抵住屏蔽罩的外壁；还包括用于防止屏蔽罩后倾的背板，背板竖直设置，且背板的底部与基板的后侧相连。本实用新型专利技术通过优化治具的结构，便于实现了屏蔽罩的多维度定位，避免了屏蔽罩的滑倒。保证了竖立稳定性。保证了竖立稳定性。保证了竖立稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具


[0001]本技术涉及机械
，具体涉及粗糙度的测试治具。

技术介绍

[0002]目前半导体生产设备中的屏蔽罩进行洗净再生后，会用粗糙度仪检测屏蔽罩的内圆面的粗糙度，从而判断其清洗效果是否在管控标准内。
[0003]由于屏蔽罩的内圆面为圆柱形状，粗糙度测试仪的行程是直线，所以，需要将部件竖立使粗糙度检测仪的探针沿着一条棱边行进。由于屏蔽罩的外口有翻边，屏蔽罩单纯背部抵靠的方式，易造成竖立状态滑到，或竖立不标准造成检测数据有误差。
[0004]目前缺乏一种让带有翻边的屏蔽罩保证竖立稳定性的治具。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的问题，本技术提供一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，以解决以上至少一个技术问题。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于，包括底板，所述底板包括基板，所述底板还包括左右设置的左支撑部以及右支撑部，所述左支撑部以及所述右支撑部位于所述基板的上方，所述左支撑部以及所述右支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于，包括底板，所述底板包括基板，所述底板还包括左右设置的左支撑部以及右支撑部，所述左支撑部以及所述右支撑部位于所述基板的上方，所述左支撑部以及所述右支撑部之间存有间隙，以所述间隙为用于滑入粗糙度测试仪的滑槽；所述左支撑部以及所述右支撑部上开设有嵌入屏蔽罩的翻边的限位槽，所述限位槽的前侧面与所述翻边的前侧面相抵；所述左支撑部以及所述右支撑部邻近侧的顶部用于抵住屏蔽罩的外壁；还包括用于防止屏蔽罩后倾的背板，所述背板竖直设置，且所述背板的底部与所述基板的后侧相连。2.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述左支撑部以及所述右支撑部的限位槽的槽底从远离侧至邻近侧从上至下倾斜。3.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述背板的前侧可拆卸连接有泡沫垫。4.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述背板的外围套设有柔性防护套。5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨炜，贺贤汉，周毅，蒋立峰，许俊，
申请(专利权)人：上海富乐德智能科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：