本公开提供了一种激光结晶装置、一种激光结晶方法和一种制造显示装置的方法。所述激光结晶装置包括：第一固态激光产生器，产生具有第一能量强度的第一固态激光；第二固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；以及第三固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光。强度的第三固态激光。强度的第三固态激光。
【技术实现步骤摘要】
激光结晶装置、激光结晶方法及制造显示装置的方法
[0001]实施例涉及一种激光结晶装置、一种激光结晶方法和一种制造显示装置的方法。更具体地，实施例涉及执行固态激光结晶的激光结晶装置、激光结晶方法和制造显示装置的方法。
技术介绍
[0002]显示装置可以包括驱动元件和发光元件以发射光。驱动元件可以包括晶体管和电容器。发光元件可以包括有机发光元件和无机发光元件。发光元件可以连接到驱动元件以接收信号。晶体管可以包括硅。硅可以包括非晶硅和多晶硅。非晶硅可以通过激光结晶成多晶硅。
[0003]在这样的显示装置中，显示装置的发光效率可以根据多晶硅的结晶程度而变化。因此，正在进行研究以增加多晶硅的结晶度。
技术实现思路
[0004]实施例可以提供用于产生高质量激光的激光结晶装置。
[0005]实施例可以提供使用高质量激光的激光结晶方法。
[0006]实施例可以提供使用激光结晶装置制造显示装置的方法。
[0007]激光结晶装置的实施例包括：第一固态激光产生器，产生具有第一能量强度的第一固态激光；第二固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；以及第三固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光。
[0008]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内。
[0009]在实施例中，所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内。
[0010]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内，并且所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内。
[0011]在实施例中，所述第二固态激光产生器可以在所述第一固态激光产生器照射所述第一固态激光后大约5纳秒至大约30纳秒照射所述第二固态激光，并且所述第三固态激光产生器可以在所述第一固态激光产生器照射所述第一固态激光后大约30纳秒至大约95纳秒照射所述第三固态激光。
[0012]在实施例中，所述第一固态激光产生器至所述第三固态激光产生器中的每一者可以包括固态激光介质。
[0013]在实施例中，所述第一固态激光至所述第三固态激光中的每一者的半峰全宽可以在大约12纳秒至大约17纳秒的范围内。
[0014]激光结晶方法的实施例可以包括：产生具有第一能量强度的第一固态激光；产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光；并且将所述第一固态激光、所述第二固态激光和所述第三固态激光顺序地照射在台上。
[0015]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内。
[0016]在实施例中，所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内。
[0017]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内，并且所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内。
[0018]在实施例中，可以在照射所述第一固态激光后大约5纳秒至大约30纳秒照射所述第二固态激光，并且可以在照射所述第一固态激光后大约30纳秒至大约95纳秒照射所述第三固态激光。
[0019]在实施例中，所述第一固态激光至所述第三固态激光中的每一者的半峰全宽可以在大约12纳秒至大约17纳秒的范围内。
[0020]在实施例中，所述第一固态激光至所述第三固态激光中的每一者可以使用固态激光介质产生。
[0021]制造显示装置的方法的实施例包括：在基底上提供初步有源层；通过将具有第一能量强度的第一固态激光照射到所述初步有源层上来对所述初步有源层进行第一次结晶；通过将具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光照射到所述初步有源层上来对所述初步有源层进行第二次结晶；以及通过将具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光照射到所述初步有源层上来对所述初步有源层进行第三次结晶。
[0022]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内。
[0023]在实施例中，所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内。
[0024]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内，并且所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内。
[0025]在实施例中，可以在照射所述第一固态激光后大约5纳秒至大约30纳秒照射所述第二固态激光，并且可以在照射所述第一固态激光后大约30纳秒至大约95纳秒照射所述第三固态激光。
[0026]在实施例中，所述第一固态激光至所述第三固态激光中的每一者的半峰全宽可以在大约12纳秒至大约17纳秒的范围内。
[0027]在实施例中，所述第二能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之48至大约百分之54的范围内，所述第三能量强度可以在所述第一能量强度的大约百分之54至大约百分之60的范围内，可以在照射所述第一固态激光后大约5纳秒至大约30纳秒照射所述第二固态激光，并且可以在照射所述第一固态激光后大约30纳秒至大约95纳秒照射所述第三固
态激光。
[0028]在实施例中，所述第一固态激光至所述第三固态激光中的每一者可以使用固态激光介质产生。
[0029]根据本专利技术的激光结晶装置的实施例可以包括：第一固态激光产生器，产生具有第一能量强度的第一固态激光；第二固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；以及第三固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光。另外，在根据本专利技术的激光结晶方法的实施例中，可以使用所述激光结晶装置对所述初步有源层进行结晶。
[0030]在这样的实施例中，通过使用三个固态激光发生器在不同的时间产生具有不同强度的三个固态激光，从而增加了对初步有源层进行结晶的工艺中的熔化时间和凝固时间。因此，在这样的实施例中，可以改善初步有源层结晶而成的有源层的结晶度，并且可以改善显示装置的显示性能。
附图说明
[0031]本专利技术的上述和其他特征将通过参照附图进一步详细地描述其实施例而变得更加明显，在附图中：
[0032]图1是示出根据实施例的显示装置的平面图；
[0033]图2是示出沿着线I
‑
I'截取的图1的显示装置的实施例的截面图；
[0034]图3是示出用于形成包括在图2的显示装置中的有源层的激光结晶装置的实施例的透视图；
[0035]图4是示出图3的激光结晶装置的实施例的视图；
[0036]图5是示出在图4的激光结晶装置中产生的激光的能量强度的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光结晶装置，其中，所述激光结晶装置包括：第一固态激光产生器，产生具有第一能量强度的第一固态激光；第二固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；以及第三固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光。2.根据权利要求1所述的激光结晶装置，其中，所述第二能量强度在所述第一能量强度的百分之48至百分之54的范围内。3.根据权利要求1所述的激光结晶装置，其中，所述第三能量强度在所述第一能量强度的百分之54至百分之60的范围内。4.根据权利要求1所述的激光结晶装置，其中，所述第二能量强度在所述第一能量强度的百分之48至百分之54的范围内，并且其中，所述第三能量强度在所述第一能量强度的百分之54至百分之60的范围内。5.根据权利要求1所述的激光结晶装置，其中，所述第二固态激光产生器在所述第一固态激光产生器照射所述第一固态激光后5纳秒至30纳秒照射所述第二固态激光，并且其中，所述第三固态激光产生器在所述第一固态激光产生器照射所述第一固态激光后30纳秒至95纳秒照射所述第三固态激光。6.根据权利要求1所述的激光结晶装置，其中，所述第一固态激光产生器至所述第三固态激光产生器中的每一者包括固态激光介质。7.根据权利要求1所述的激光结晶装置，其中，所述第一固态激光至所述第三固态激光中的每一者的半峰全宽在12纳秒至17纳秒的范围内。8.一种激光结晶方法，其中，所述激光结晶方法包括：产生具有第一能量强度的第一固态激光；产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光；并且将所述第一固态激光、所述第二固态激光和所述第三固态激光顺序地照射到台上。9.根据权利要求8所述的激光结晶方法，其中，所述第二能量强度在所述第一能量强度的百分之48至百分之54的范围内。10.根据权利要求8所述的激光结晶方法，其中，所述第三能量强度在所述第一能量强度的百分之54至百分之60的范围内。11.根据权利要求8所述的激光结晶方法，其中，所述第二能量强度在所述第一能量强度的百分之48至百分之54的范围内，并且其中，所述第三能量强度在所述第一能量强度的百分之54至百分之60的范围内。12.根据权利要求8所述的激光结晶方法，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：李童敏，金长玄，苏炳洙，郑在佑，陈东奎，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。