【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种测量误校正方法,其中当多端口被测电子元件装在生产测试夹上用测试仪测量其电气特性时,把应用生产测试夹的被测电子元件的生产测试夹测量值校正到假定在该测试仪和另一台在测量性能特性上被视为等效于该测试仪的测试仪之一测量装在标准测试夹上的该被测电子元件时所得到的电气特性,所述标准测试夹导致电子元件的电气特性测量结果不同于生产测试夹提供的该电子元件的电气特性测量结果,其特征在于,所述方法包括以下步骤: 制备至少三个电气特性不同且其端口间传输系数极小的校正数据采集样件; 用测试仪和另一测试仪之一测量装在标准测试夹上的校正数据采集样件的电气特性,获取该校正数据采集样件的标准测试夹测量值; 用测试仪和另一测试仪之一测量装在生产测试夹上的校正数据采集样件的电气特性,获取该校正数据采集样件的生产测试夹测量值; 根据校正数据采集样件的标准测试夹测量值和生产测试夹测量值,确定相对校正结合器的误差因子,其中把该相对校正结合器模拟成包含接测试仪附近生产测试夹诸端口的双端口网络,而且具有将其上装有被测电子元件的生产测试夹产生的电气特性修正为其上装有被测电子元件的标准测试夹产生的电气特性的特 ...
【技术特征摘要】
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