一种基于微流控技术的微结构气体探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种基于微流控技术的微结构气体探测器及其制备方法，涉及气体探测器技术领域。所述制备方法包括：将多个支撑垫片吸附于微流控系统的微流控芯片表面，使多个支撑垫片在微流控芯片表面以设定间距单层排布；利用图像识别方法控制机械臂将微流控芯片表面的多个支撑垫片固定于读出电路板上，固定于读出电路板上的多个支撑垫片形成支撑结构；在支撑结构上设置微网电极；在微网电极上设置固定胶层；将漂移电极设置于气盒的内顶壁上；将气盒的底部与读出电路板的边缘密封连接，使漂移电极、固定胶层、微网电极和支撑结构密封于气盒内部，得到微结构气体探测器。本发明专利技术能够提高微结构气体探测器的制作效率和探测器品质。微结构气体探测器的制作效率和探测器品质。微结构气体探测器的制作效率和探测器品质。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微流控技术的微结构气体探测器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及气体探测器
，特别是涉及一种基于微流控技术的微结构气体探测器及其制备方法。

技术介绍

[0002]微结构气体探测器（Micro
‑
Pattern Gaseous Detector，MPGD）具有高计数率、抗辐射、高精度位置灵敏等诸多优异特性，是当前气体探测器研究的前沿方向，在核与粒子物理实验研究、核工业辐射探测、放射医疗影像等方面有着广泛的应用需求。微网格气体探测器（Micro
‑
Mesh Gaseous Structure，Micromegas）是MPGD的典型代表之一，高性能、高效率的Micromegas制造方法研究具有重大的科学价值和实用意义。
[0003]面对越来越丰富的微流控制造技术的应用需求，在现有技术中，主要包括法国Saclay实验室和CERN研发的Bulk技术和申请人团队研发的热压接制作技术。
[0004]现有技术中的Bulk技术，首先将光敏薄膜、不锈钢丝网，层层压接在读出电路板上，然后利用紫外光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于微流控技术的微结构气体探测器的制备方法，其特征在于，包括：将多个支撑垫片吸附于微流控系统的微流控芯片表面，使多个所述支撑垫片在所述微流控芯片表面以设定间距单层排布；利用图像识别方法控制机械臂将所述微流控芯片表面的多个所述支撑垫片固定于读出电路板上，固定于所述读出电路板上的多个所述支撑垫片形成支撑结构；所述图像识别方法包括霍夫找圆、边缘检测和轮廓提取；在所述支撑结构上设置微网电极；在所述微网电极上设置固定胶层；将漂移电极设置于气盒的内顶壁上；将所述气盒的底部与所述读出电路板的边缘密封连接，使所述漂移电极、所述固定胶层、所述微网电极和所述支撑结构密封于所述气盒内部，得到微结构气体探测器。2.根据权利要求1所述的基于微流控技术的微结构气体探测器的制备方法，其特征在于，所述微流控系统包括微流控芯片、循环泵、驱动控制电路、连接管路和流体控制阀；所述微流控芯片通过所述连接管路与所述循环泵连接；所述驱动控制电路和所述流体控制阀均与所述循环泵连接；所述将多个支撑垫片吸附于微流控系统的微流控芯片表面，使多个所述支撑垫片在所述微流控芯片表面以设定间距单层排布，具体包括：将所述微流控芯片放置于盛放有分散液和多个所述支撑垫片的托盘中；通过所述驱动控制电路和所述流体控制阀协同调控所述循环泵的流速，使所述托盘中的多个所述支撑垫片吸附于所述微流控芯片表面；控制所述循环泵以设定流速对所述微流控芯片表面进行冲刷，直至所述微流控芯片表面的多个所述支撑垫片以设定间距单层排布。3.根据权利要求2所述的基于微流控技术的微结构气体探测器的制备方法，其特征在于，所述分散液为乙醇或水。4.根据权利要求1所述的基于微流控技术的微结构气体探测器的制备方法，其特征在于，所述利用图像识别方法控制机械臂将所述微流控芯片表面的多个所述支撑垫片固定于读出电路板上，固定于所述读出电路板上的多个所述支撑垫片形成支撑结构，具体包括：利用图像识别方法对所述微流控芯片表面的多个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志永，刘建北，封常青，刘树彬，邵明，周意，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：