估计衬底上的至少一个部件放置位置的方法和执行这种方法的装置制造方法及图纸

一种用于估计衬底（５）上将放置部件的至少一个部件放置位置的方法，其中根据衬底（５）上的至少一个标记（８）的位置估计部件放置位置（６），其特征在于，确定标记（８）的统计测量偏差；之后，根据标记（８）的测量偏差估计衬底（５）上的部件放置位置（６）的位置精度；随后，将部件放置位置（６）的估计的位置精度与预定的理想位置精度进行比较；之后，确定部件（３）是否将以部件放置位置（６）的估计位置精度放置在衬底（５）上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及估计待放置部件的衬底上的至少一个部件放置位置的方法，其中根据衬底上的至少一个标记的位置估计该部件放置位置。本专利技术也涉及适于执行这种方法的装置。
技术介绍
利用可从EP-A1-0 042 977中获知的方法，测量衬底上的多个标记的位置，并将其与期望的标记位置进行比较。根据标记的测量位置和期望位置之间的差别，将变换应用于待放置部件的衬底上的期望的或理论上的部件放置位置。以此方式，对例如作为部件放置装置中的衬底未对准、衬底的伸长的结果出现的误差进行纠正。近几十年来，待放置的部件已经变得越来越小，且必须将这些部件以更高的精度放置在衬底上。如果较不精确地确定部件放置位置，则这将导致在部件放置位置的部件的不正确的放置，结果，衬底将在随后的工艺中被拒绝。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能估计将部件放置在衬底上的部件放置位置的精度的方法。这个目的通过根据本专利技术的方法实现，该方法是-确定标记的统计测量偏差，-此后，根据标记的测量偏差估计衬底上的部件放置位置的位置精度，-随后，将估计的部件放置位置的位置精度与预定的理想位置精度进行比较，-此后，确定部件是否是以估计的部件放置位置的位置精度放置在衬底上。例如，在利用光学相机确定部件放置装置中的衬底上的标记位置时，出现可以统计方式确定的测量偏差。利用根据本专利技术的方法，根据每个统计测量偏差对每个部件放置位置的位置精度进行估计，并将其与预定的理想位置精度进行比较。以此方式，能在将部件放在部件放置位置之前对部件将放置在理想的部件放置位置的概率进行估计。如果估计的位置精度低于预定的理想位置精度，则可采取另外的措施来确保该部件将仍然利用理想精度放置在部件放置位置处。如果估计的位置精度远高于多个部件放置位置的预定的理想位置精度，而估计的位置精度低于多个其它部件放置位置的理想位置精度，则举例来说可确定，将衬底上的其它记号用作标记。如果可能，对于新近选择的标记，估计的所有部件放置位置的位置精度高于理想的位置精度。以此方式，能在所述放置发生之前估计部件被不正确地放置在部件放置位置的可能性，并通过采取另外的措施使所述可能性最小。根据本专利技术的方法的一个实施例的特征在于，如果估计的位置精度低于理想的位置精度，则选择至少一个其它标记，结果，估计的位置精度变得高于理想的位置精度。通过选择至少一个其它标记，且相对于该标记估计的位置精度高于理想的位置精度，能在部件放置在部件放置位置之前采取措施避免部件不正确地放置在部件放置位置处的风险，从而避免部件不正确地放置在部件放置位置处的风险。根据本专利技术的方法的另一实施例的特征在于，如果估计的位置精度低于理想的位置精度，则将估计的位置精度传送给用户。以此方式，可执行这种方法的部件放置装置的用户如果想要，将能够调整每个部件放置位置的位置精度，或后来在检查是否已经实现理想精度时给予额外的关注。根据本专利技术的方法的又一实施例的特征在于，如果估计的位置精度低于理想的位置精度，则利用离部件放置位置较近的至少一个标记确定部件放置位置。如果理想的位置精度较高，则对于该特定部件放置位置来说，可能有必要确定相对于离该部件放置位置较近的标记的位置。如果想要，所述标记也可以是部件放置位置本身。根据本专利技术的方法的再一实施例的特征在于，根据测量标记中的期望偏差、在部件放置装置中对准部件时出现的以统计方式确定的偏差、和在衬底上放置部件时出现的以统计方式确定的偏差，选择衬底上的标记位置以及部件放置位置，使得对于每个部件放置位置，理想的位置精度低于估计的位置精度。以此方式，不仅对测量标记中的期望偏差进行调整，而且对部件放置机中的其它偏差进行调整，这可根据对部件放置位置的位置精度的估计以统计方式确定，结果，可以较高的精度确定部件放置位置的位置精度。如果理想的位置精度高于估计的位置精度，则可在将部件放置在衬底上之前(如果想要，甚至可在设计衬底之前)调整衬底上的标记的位置以及部件放置的位置。附图说明现在将参看附图以及公式页上的公式更详细地说明本专利技术。在附图中图1示出设置有根据本专利技术的装置的部件放置装置的透视图；图2示出适于用作衬底的标记的多个不同记号；图3A至3C分别示出用于包括由部件放置装置感测而无各向异性发生的两个标记的衬底、包括三个标记的衬底、以及包括由部件放置装置感测而无各向异性发生的两个标记的衬底的估计偏差的图表。在附图中相似部分用相同标号表示。具体实施例方式图1示出部件放置装置1，该部件放置装置1包括可在X方向和和Y方向上移动的部件拾取单元2，利用该部件拾取单元2，部件3可从部件供应单元4移动到衬底5上的理想的部件放置位置6。衬底5通过传输导向器7在X方向上穿过部件放置装置1。为了确定衬底5相对于传输导向器7和相对于部件拾取装置2的位置，将衬底设置有多个标记8。所述标记8举例来说可以呈十字形9、正方形10、圆形11、或圆的部分12的形状，如图2中所示。标记8的数量优选为两个或三个，尽管在某些情形下将使用数量更大或更小的标记。标记8通过设置在部件拾取单元2旁边的相机13感测，此后，根据通过相机13记录的图像计算标记8相对于部件放置单元2的位置。出现在装置1中的处理器14用于此目的。通过处理器14也可确定标记8相对于部件放置单元2的期望位置。此外，将待放置部件的部件放置位置储存在处理器14中。可相对于处理器14中的标记8的位置确定部件放置位置。随后，处理器14根据所测量的标记的位置确定相对于部件放置单元2的部件放置位置，此后，通过部件放置单元2将理想部件3放置在正在讨论的部件放置位置6处。迄今为止所述的部件放置装置1本身是已知的，因此，此处没有详细说明。部件放置装置1设置有根据本专利技术的装置，用于将部件3放置在衬底5上之前，确定是否可能实现部件放置位置6的理想的位置精度。该装置包括处理器14以及输入单元14′，该输入单元14′用于输入关于标记8的测量偏差的统计数据。是否可实现理想的位置精度和是否可将部件以足够的精度放置在部件放置位置6处尤其取决于可确定的标记8的位置的精度、部件3可相对于部件放置单元2和相机13对准的精度、部件3从部件供应装置4传输到部件放置位置6的精度、机器磨损、震动等。使用根据本专利技术的方法和装置，在放置部件之前，对部件放置位置6的位置精度、从而可将部件设置在所述部件放置位置处的精度进行估计。使用三个标记时标记位置的偏差模型在其中三个标记将通过相机13感测的情况下，衬底5和上面的标记8的变形和移动模型是线性的，其中该变形和移动可用于变换相对于标记8的期望位置的标记8的测量位置。对于每个标记，利用所述模型精确再现利用相机13确定标记8的位置中的误差。可利用公式A根据标记8的位置写下随机部件放置位置6的位置Q。在所述公式A中，Q是部件放置位置6的位置，P0、P1、和P2是三个标记8的位置。位置精度sQ可利用例如J.A.Rice的书《Mathematical Statisticsand Data Analysis》中描述的误差传播公式得到。根据此公式可确定，部件放置位置6的位置Q中的统计误差sa与公式B相同。在所述公式中，spi是标记i的统计测量偏差的s值。每个标记i都具有其自己的spi值，它通过测量多个不同的相似衬底5上的同一标记i确定。图3B分别以三维视图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于估计衬底上的将放置部件的至少一个部件放置位置的方法，其中根据所述衬底上的至少一个标记的位置估计所述部件放置位置，其特征在于－确定所述标记的统计测量偏差，－之后，根据所述标记的测量偏差估计所述衬底上的部件放置位置的位置 精度，－随后，将所述部件放置位置的估计的位置精度与预定的理想位置精度进行比较，－之后，确定所述部件是否将以所述部件放置位置的估计位置精度放置在所述衬底上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：RMAL佩蒂特，A德博克，JMM维巴克，
申请(专利权)人：阿森姆布里昂股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]