陶瓷生片的制造方法和多层陶瓷电子部件制造方法技术

本发明专利技术提供了一种电子部件的制造方法，其可以解决小型化、改善多层电子部件的性能和质量。通过以下步骤制造陶瓷生片：通过任意工艺在衬底或形成于衬底上的层上形成具有预定厚度的内部电极；以这样的方式在衬底或所述层和内部电极的表面上形成光敏陶瓷浆料，以便刚好在以曝光之前光敏陶瓷浆料的厚度基本上等于或小于内部电极从衬底或所述层的表面的厚度；在掩蔽内部电极图形的同时，从衬底的上侧用光照射光敏陶瓷浆料以进行曝光，从而选择性地固化光敏陶瓷浆料的表面，以这样的方式控制曝光量以使光敏陶瓷浆料的表面固化；以及通过显影工艺除去光敏陶瓷浆料的未曝光部分以暴露内部电极图形的表面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造电子部件的方法，其中由通过层压陶瓷生片形成的由所谓的多层陶瓷组成的电子部件来举例说明。更具体地说，本专利技术涉及内部包括电极层的所谓的陶瓷生片的制造方法。这里所述的多层陶瓷电子部件的实例包括多层陶瓷电容器、多层陶瓷电感器、包括它们的LC复合部件以及EMC相关部件。
技术介绍
近年来，随着蜂窝电话代表的电子装置的小型化和迅速普及，需要用于这些装置的电子部件的安装密度增加以及性能改善。为了满足这些需要，通过减小层厚度和增加层数量实现对小型化和性能改善的需求寄托于用作无源元件的多层陶瓷电子部件上。另外，也需要改善制造方法来满足这些需求。以下，将采用其内部形成有电极的多层陶瓷电容器作为实例，简洁描述上述多层陶瓷电子部件的制造方法。在该技术中，首先通过使用包含金属粉末和有机粘合剂的导电胶的丝网印刷等同时在由单一陶瓷物形成的陶瓷生片上形成多个电极。接着，堆叠其上形成有电极的多个未加工的陶瓷生片和陶瓷生片，以形成陶瓷多层构件。电极将构成作为制成品的多层陶瓷电子部件的内部电极。而且，在陶瓷多层构件的厚度方向对陶瓷多层构件加压以便生片彼此相互紧密接触。然后将紧密接触的多层构件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造多层陶瓷电子部件的陶瓷生片的制造方法，包括以下步骤：通过任意工艺在衬底或形成于衬底上的层上形成具有预定厚度的内部电极；以这样的方式在所述衬底或所述层和所述内部电极的表面上形成光敏陶瓷浆料，以便刚好在以曝光之前所述 光敏陶瓷浆料的厚度基本上等于所述内部电极从所述衬底或所述层的表面的厚度；在掩蔽所述内部电极图形的同时，从所述衬底的上侧用光照射所述光敏陶瓷浆料以进行曝光，从而选择性地固化所述光敏陶瓷浆料的表面，以这样的方式控制曝光量以使所述光敏陶瓷 浆料的表面固化；以及通过显影工艺除去所述光敏陶瓷浆料的未曝光部分以暴露所述内部电极图形的表面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吉田政幸，青木俊二，须藤纯一，渡边源一，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]