一种抽测指示器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种抽测指示器，属于半导体技术领域，包括机台和用于置入机台内的料盒，料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；多个插槽中至少有部分插槽分别位于料盒内的相对两侧，插槽包括平直部，及沿平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一抵靠部与其相对的一抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于插槽内的晶圆的至少部分限制于抵靠部内。通过该设置，实现每个晶圆可以间隔放置在料盒内，从而避免了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种抽测指示器


[0001]本技术属于半导体
，具体涉及一种抽测指示器。

技术介绍

[0002]在LED制作过程中需要对产品进行金打和推力测试(BST测试)。因不同批次中晶圆数量不一致以及品控抽测要求，不同批次抽测的晶圆在料盒中的位置不是完全相同的。
[0003]现有对晶圆片抽测的方式需采用一顶片器，在顶片器的底部间隔设置了多个顶片支架，当具有晶圆片的料盒搁置在顶片器内时，通过顶片支架将可能被抽取的晶圆顶起，再由作业员依据抽片规则对晶圆进行挑选，以进行产品测试。
[0004]然而，在对多个晶圆进行测试时，需将多个晶圆垒叠在一起，再一起放入料盒内，但在挑取晶圆时，需采用随机挑取一个或几个晶圆的方式继续测试，当挑取一个晶圆时，由于晶圆与晶圆之间的间隙较小，容易导致一个晶圆被顶起时，与其相邻的晶圆会被一起带动，从而导致另一个晶圆的部分会伸出，不利于工作人员取出待测试的晶圆，在操作上存在不便。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术的目的是提供一种抽测指示器，以解决上
技术介绍
中在操作上存在不便的技术问题。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽测指示器，包括机台，其特征在于，所述指示器还包括用于置入所述机台内的料盒，所述料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；所述多个插槽中至少有部分所述插槽分别位于所述料盒内的相对两侧，所述插槽包括平直部，及沿所述平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一所述抵靠部与其相对的一所述抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于所述插槽内的所述晶圆的至少部分限制于所述抵靠部内；其中，所述料盒相对的两侧壁均向外延伸出凸起件，所述凸起件用于将所述料盒的顶部搭接于所述机台上。2.根据权利要求1所述的抽测指示器，其特征在于，所述插槽朝向所述料盒的径向延伸，且多个所述插槽沿着所述料盒的轴向间隔排列。3.根据权利要求2所述的抽测指示器，其特征在于，所述平直部的一端与所述料盒的顶部连通，所述抵靠部远离所述平直部的一端与所述料盒的底部连通，以使所述晶圆放置于所述插槽内时其边缘未超出所述料盒的顶部。4.根据权利要求1所述的抽测指示器，其特征在于，所述料盒的底部还设有至少一支撑件，以使所述晶圆的边缘未超出所述支撑件的底部。5.根据权利要求4所述的抽测指示器，其特征在于，所述机...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冰，康龙，董国庆，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：