一种抽测指示器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种抽测指示器，属于半导体技术领域，包括机台和用于置入机台内的料盒，料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；多个插槽中至少有部分插槽分别位于料盒内的相对两侧，插槽包括平直部，及沿平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一抵靠部与其相对的一抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于插槽内的晶圆的至少部分限制于抵靠部内。通过该设置，实现每个晶圆可以间隔放置在料盒内，从而避免了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种抽测指示器


[0001]本技术属于半导体
，具体涉及一种抽测指示器。

技术介绍

[0002]在LED制作过程中需要对产品进行金打和推力测试(BST测试)。因不同批次中晶圆数量不一致以及品控抽测要求，不同批次抽测的晶圆在料盒中的位置不是完全相同的。
[0003]现有对晶圆片抽测的方式需采用一顶片器，在顶片器的底部间隔设置了多个顶片支架，当具有晶圆片的料盒搁置在顶片器内时，通过顶片支架将可能被抽取的晶圆顶起，再由作业员依据抽片规则对晶圆进行挑选，以进行产品测试。
[0004]然而，在对多个晶圆进行测试时，需将多个晶圆垒叠在一起，再一起放入料盒内，但在挑取晶圆时，需采用随机挑取一个或几个晶圆的方式继续测试，当挑取一个晶圆时，由于晶圆与晶圆之间的间隙较小，容易导致一个晶圆被顶起时，与其相邻的晶圆会被一起带动，从而导致另一个晶圆的部分会伸出，不利于工作人员取出待测试的晶圆，在操作上存在不便。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术的目的是提供一种抽测指示器，以解决上
技术介绍
中在操作上存在不便的技术问题。
[0006]本技术提出的一种抽测指示器，包括机台和用于置入所述机台内的料盒，料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；
[0007]所述多个插槽中至少有部分所述插槽分别位于所述料盒内的相对两侧，所述插槽包括平直部，及沿所述平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一所述抵靠部与其相对的一所述抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于所述插槽内的所述晶圆的至少部分限制于所述抵靠部内；
>[0008]其中，所述料盒相对的两侧壁均向外延伸出凸起件，所述凸起件用于将所述料盒的顶部搭接于所述机台上。
[0009]进一步的，所述插槽朝向所述料盒的径向延伸，且多个所述插槽沿着所述料盒的轴向间隔排列。
[0010]进一步的，所述平直部的一端与所述料盒的顶部连通，所述抵靠部远离所述平直部的一端与所述料盒的底部连通，以使所述晶圆放置于所述插槽内时其边缘未超出所述料盒的顶部。
[0011]进一步的，所述料盒的底部还设有至少一支撑件，以使所述晶圆的部分边缘未超出所述支撑件的底部。
[0012]进一步的，所述机台内设有横梁，以及供所述料盒伸入的腔体，所述横梁设于所述腔体内，用于与所述支撑件接触、以对所述料盒进行支撑。
[0013]进一步的，所述指示器还包括设于所述机台上的控制器、检测机构、以及与所述控
制器电连接的多个光源件，所述光源件与所述插槽相对，所述检测机构用于对所述料盒内晶圆的数量进行检测，以通过所述控制器驱动任意一个或几个所述光源件对所述晶圆进行指示。
[0014]进一步的，所述检测机构包括设于所述机台上的检测器和开关件，所述检测器和所述开关件均与所述控制器电连接。
[0015]进一步的，所述料盒的至少一个侧壁设有隔板，当所述料盒搁置于所述机台内时，通过所述隔板接触所述开关件，以使所述控制器驱动所述检测器和所述光源件进行工作。
[0016]进一步的，所述机台内还设有容纳所述开关件和所述检测器的凹陷部，所述开关件的开关端穿出所述凹陷部且朝向所述隔板设置。
[0017]进一步的，所述开关件位于所述检测器之下。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0019]在本技术提供的抽测指示器中，通过在料盒内设置多个插槽，实现每个晶圆可以间隔放置在料盒内，从而避免了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起，而出现一个晶圆被顶起，另一个晶圆被带出的情况，具体来说，料盒内设有多个插槽，多个插槽中至少有部分插槽分别位于料盒内的相对两侧，插槽包括平直部，及沿平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一抵靠部与其相对的一抵靠部的弯曲方向对称，以用于将晶圆中的部分位置限制于抵靠部内，利用该设置，还可以保障晶圆处于料盒内的稳定。
附图说明
[0020]图1为本技术一实施例的整体的工作状态示意图；
[0021]图2为本技术一实施例中料盒的立体图示意图；
[0022]图3为本技术一实施例中机台的立体图示意图；
[0023]图4为本技术一实施例中的电路图。
[0024]附图说明：100、机台；110、横梁；120、腔体；200、料盒；210、凸起件；220、支撑件；230、隔板；300、插槽；310、平直部；320、抵靠部；400、控制器；500、检测机构；510、检测器；520、开关件；600、光源件；700、凹陷部。
具体实施方式
[0025]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0026]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表只是为了说明的目的。
[0027]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一
个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]第一实施例
[0029]请参阅图1至图3，所示为本技术第一实施例提供的一种抽测指示器，包括机台100，指示器还包括用于置入机台100内的料盒200，料盒200内设有多个插槽300，以用于插接晶圆；
[0030]多个插槽300中至少有部分插槽300分别位于料盒200内的相对两侧，插槽300包括平直部310，及沿平直部310的轴向弯曲延伸的抵靠部320，任一抵靠部320与其相对的一抵靠部320的弯曲方向相互对称，以用于将放置于插槽300内的晶圆的至少部分位置限制于抵靠部320内；
[0031]其中，料盒200相对的两侧壁均向外延伸出凸起件210，凸起件210用于将料盒200的顶部搭接于机台100上。
[0032]具体来说，插槽300朝向料盒200的径向延伸，且多个插槽300沿着料盒200的轴向间隔排列，在本实施例中，为便于将插槽300合理的设置在料盒200的内部，料盒200的横截面形状可以与插槽300的平直部310和抵靠部320一致，也就是说料盒200可以成U型设置，当多个晶圆需要放置在料盒200中时，晶圆的一部分经平直部310后进入抵靠部320内，利用两个相对设置的抵靠部320，使得晶圆的下半部位的侧壁会被限位住，从而保障晶圆处于料盒200内的稳定。
[0033]需要说明的是，为帮助工作人员对挑选出来的晶圆可以第一时间进行观察，则本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽测指示器，包括机台，其特征在于，所述指示器还包括用于置入所述机台内的料盒，所述料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；所述多个插槽中至少有部分所述插槽分别位于所述料盒内的相对两侧，所述插槽包括平直部，及沿所述平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一所述抵靠部与其相对的一所述抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于所述插槽内的所述晶圆的至少部分限制于所述抵靠部内；其中，所述料盒相对的两侧壁均向外延伸出凸起件，所述凸起件用于将所述料盒的顶部搭接于所述机台上。2.根据权利要求1所述的抽测指示器，其特征在于，所述插槽朝向所述料盒的径向延伸，且多个所述插槽沿着所述料盒的轴向间隔排列。3.根据权利要求2所述的抽测指示器，其特征在于，所述平直部的一端与所述料盒的顶部连通，所述抵靠部远离所述平直部的一端与所述料盒的底部连通，以使所述晶圆放置于所述插槽内时其边缘未超出所述料盒的顶部。4.根据权利要求1所述的抽测指示器，其特征在于，所述料盒的底部还设有至少一支撑件，以使所述晶圆的边缘未超出所述支撑件的底部。5.根据权利要求4所述的抽测指示器，其特征在于，所述机...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冰，康龙，董国庆，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：