【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种湿度传感器和一种具有湿度检测功能(结构)的组合传感器。
技术介绍
例如，在美国专利NO.6742387(对应于JP-A-2003-156464)中描述了一种电容变化型湿度传感器。这种湿度传感器用于检测室内的湿度以进行空调机的湿度调节，或者用于检测户外的湿度以进行天气观测。当简单地称为湿度时，通常存在相对湿度和绝对湿度。在相对湿度中，用百分比表示大气中实际包含的水蒸气的量与在该温度下大气中能够包含的水蒸气的最大量(饱和水蒸气压力)的比。在绝对湿度中，用克数表示在一个大气压下包含在一立方米空气中的水蒸气的量。这里所述的湿度传感器通常用作检测上述相对湿度的传感器。在该湿度传感器中，例如，作为绝缘膜的氧化硅膜形成在硅衬底上。一对梳齿状的电极形成在氧化硅膜上，使得在同一表面上相互隔开并彼此相对。氮化硅膜作为保护膜形成在这对电极上。电容值随湿度而变化的湿度传感膜形成在氮化硅膜上，以覆盖两个电极。这里，构造出形成湿度传感膜的区域，作为感知湿度的湿度传感部分。当湿气进入到湿度传感膜的内部时，因为水分子的介电常数大，所以湿度传感膜的介电常数随进入的湿气量显著变...
【技术保护点】
一种湿度传感器，包括：树脂模制体（３），其具有作为阻挡体的壁部分（２）；芯片构件（４，５），其至少具有湿度传感功能，该芯片构件附着并固定到所述树脂模制体在所述壁部分内的部分上；端子导体（１），其被插入模塑在所述树脂模 制体中，并被部分地引出至所述树脂模制体的外部，其中，所述端子导体电连接到所述树脂模制体的所述壁部分内的所述芯片构件上；以及保护材料（７），其具有湿度传感特性，所述保护材料填充在所述壁部分内，并覆盖所述芯片构件和所述端子导体的整个电连 接部分。
【技术特征摘要】
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