过滤器性能评价装置和方法以及过滤器润湿装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供过滤器性能评价装置和方法以及过滤器润湿装置。过滤器性能评价装置包括：流路；异物检测部(70)，其检测在流路中流动的液体中的异物；对象过滤器，其设置在比异物检测部(70)靠上游侧的位置；异物含有状态调节部，其设置在比对象过滤器靠上游侧的位置，经由流路向对象过滤器分别供给异物含有状态彼此不同的多种液体；和控制部。异物检测部检测不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过后的液体中包含的异物量。控制装置(100)基于分别供给了异物含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过后的液体中包含的异物量，计算对象过滤器的异物捕集性能，作为对象过滤器的性能。象过滤器的性能。象过滤器的性能。

【技术实现步骤摘要】
过滤器性能评价装置和方法以及过滤器润湿装置


[0001]本专利技术涉及过滤器性能评价装置、过滤器润湿装置和过滤器性能评价方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了如下的技术方案：以检测对液体进行过滤的过滤器的状态为目的，在过滤器的一次侧通路和二次侧通路中设置异物传感器，根据2个异物传感器的检测结果，求取异物的除去率。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2008
‑
80193号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术提供能够更高精度地对过滤器的性能进行评价的技术。
[0008]用于解决技术问题的手段
[0009]本专利技术的一个方式的过滤器性能评价装置包括：流路，其用于使液体从上游侧向下游侧流通；异物检测部，其能够在所述流路中检测在所述流路中流动的液体中的异物；作为评价对象的过滤器的对象过滤器，其设置在所述流路中的比所述异物检测部靠上游侧的位置；异物含有状态调节部，其设置在所述流路中的比所述对象过滤器靠上游侧的位置，能够经由所述流路向所述对象过滤器分别供给异物的含有状态彼此不同的多种液体；和控制部，所述异物检测部能够检测：不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量；和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，计算所述对象过滤器的异物捕集性能，作为所述对象过滤器的性能。
[0010]专利技术效果
[0011]采用本专利技术，能够提供能够更高精度地对过滤器的性能进行评价的技术。
附图说明
[0012]图1是表示过滤器润湿装置的概略结构的一个例子的示意图。
[0013]图2是表示控制装置的功能上的结构的一个例子的框图。
[0014]图3是表示控制装置的硬件上的结构的一个例子的框图。
[0015]图4的(a)和图4的(b)是对过滤器的性能评价的考虑方法的一个例子进行说明的图。
[0016]图5的(a)和图5的(b)是对在过滤器润湿装置中用于进行过滤器的性能评价的装置的控制内容的一个例子进行说明的图。
[0017]图6是对在过滤器润湿装置中用于进行过滤器的性能评价的装置的控制内容的一个例子进行说明的图。
[0018]图7是对由过滤器的种类产生的性能差异的一个例子进行说明的图。
[0019]图8是表示过滤器性能评价方法的一个例子的流程图。
[0020]附图标记说明
[0021]1…
过滤器润湿装置，10
…
处理液供给源，30
…
送液系统，32
…
上游侧过滤器部，40
…
泵流路系统，43
…
过滤器部，50
…
气体供给系统，70
…
异物检测部，100
…
控制装置。
具体实施方式
[0022]下面，对各种例示性的实施方式进行说明。
[0023]在一个例示性的实施方式中，提供一种过滤器性能评价装置。过滤器性能评价装置包括：流路，其用于使液体从上游侧向下游侧流通；异物检测部，其能够在所述流路中检测在所述流路中流动的液体中的异物；作为评价对象的过滤器的对象过滤器，其设置在所述流路中的比所述异物检测部靠上游侧的位置；异物含有状态调节部，其设置在所述流路中的比所述对象过滤器靠上游侧的位置，能够经由所述流路向所述对象过滤器分别供给异物的含有状态彼此不同的多种液体；和控制部，所述异物检测部能够检测：不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量；和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，计算所述对象过滤器的异物捕集性能，作为所述对象过滤器的性能。
[0024]根据上述的过滤器性能装置，能够利用异物含有状态调节部，向对象过滤器分别供给异物的含有状态彼此不同的多种液体。而且，在控制装置中，能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过对象过滤器之后的液体中包含的异物量，求取对象过滤器的异物捕集性能，作为对象过滤器的性能。通过使用异物的含有状态彼此不同的多种液体来评价对象过滤器的特性，即使对象过滤器是异物的捕集性能会因液体中的异物的量而变化的过滤器，也能够高精度地评价其性能。
[0025]可以采用如下方式：所述流路还包括在所述对象过滤器的上游侧分支并且在所述对象过滤器的下游侧合流的旁通流路，所述异物检测部设置在比所述旁通流路的合流位置靠所述流路的下游侧的位置，所述控制部能够通过设置在所述流路上的阀的开闭，来选择是使液体通过所述对象过滤器还是使液体通过所述旁通流路，在使液体通过所述对象过滤器的情况下，所述异物检测部检测通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，在使液体通过所述旁通流路的情况下，所述异物检测部检测不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量。
[0026]通过采用上述技术方案，能够利用设置在比旁通流路的合流位置靠流路的下游侧的位置的异物检测部，检测不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过对象过滤器之后的液体中包含的异物量这两者。另外，在控制部中，能够通过设置在流路上的阀的开闭，来选择是使液体通过对象过滤器还是使液体通过旁通流路，因此，能够利用简单的结构形成上述的2个状态。
[0027]可以采用如下方式：所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，还计算所述对象过滤器的产尘性能，作为所述对象过滤器的性能。
[0028]作为过滤器的性能，与从过滤器自身排出的异物相关的产尘性能也很重要。通过采用上述技术方案，在控制装置中，能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过对象过滤器之后的液体中包含的异物量，还求取对象过滤器的产尘性能。因此，能够更高精度地评价对象过滤器的性能。
[0029]可以采用如下方式：所述控制部预先保持用于根据分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，来计算所述异物捕集性能和所述产尘性能的相关模型，基于所述相关模型来求取所述异物捕集性能和所述产尘性能。
[0030]通过如上述那样预先保持用于计算异物捕集性能和产尘性能的相关模型，并基于相关模型来求取异物捕集性能和产尘性能，能够更简单且高精度地求取异物捕集性能和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤器性能评价装置，其特征在于，包括：流路，其用于使液体从上游侧向下游侧流通；异物检测部，其能够在所述流路中检测在所述流路中流动的液体中的异物；作为评价对象的过滤器的对象过滤器，其设置在所述流路中的比所述异物检测部靠上游侧的位置；异物含有状态调节部，其设置在所述流路中的比所述对象过滤器靠上游侧的位置，能够经由所述流路向所述对象过滤器分别供给异物的含有状态彼此不同的多种液体；和控制部，所述异物检测部能够检测：不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量；和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，计算所述对象过滤器的异物捕集性能，作为所述对象过滤器的性能。2.如权利要求1所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：所述流路还包括在所述对象过滤器的上游侧分支并且在所述对象过滤器的下游侧合流的旁通流路，所述异物检测部设置在比所述旁通流路的合流位置靠所述流路的下游侧的位置，所述控制部能够通过设置在所述流路上的阀的开闭，来选择是使液体通过所述对象过滤器还是使液体通过所述旁通流路，在使液体通过所述对象过滤器的情况下，所述异物检测部检测通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，在使液体通过所述旁通流路的情况下，所述异物检测部检测不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量。3.如权利要求1所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，还计算所述对象过滤器的产尘性能，作为所述对象过滤器的性能。4.如权利要求3所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：所述控制部预先保持用于根据分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，来计算所述异物捕集性能和所述产尘性能的相关模型，基于所述相关模型来求取所述异物捕集性能和所述产尘性能。5.如权利要求1～4中任一项所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：所述异物含有状态调节部包括在比所述对象过滤器靠上游侧的位置分支为2个流路并且在比所述对象过滤器靠上游侧的位置合流的2个分支流路，能够使所述2个分支流路中的所述异物的含有状态彼此不同，所述控制部能够通过设置在所述流路上的阀的开闭来选择所述2个分支流路中的供液体流动的流路。6.如权利要求5所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：
所述异物含有状态调节部包括仅设置在所述2个分支流路中的一个流路中的过滤器。7.如权利要求1～4中任一项所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：所述控制部能够基于计算出的所述对象过滤器的所述性能来判断所述对象过滤器是否已劣化。8.如权利要求1～4中任一项所述的过滤器性能评价装置，其特征在于：所述控制部能够基于计算出的所述对象过滤器的所述性能来评价所述对象过滤器的润湿状态。9.一种过滤器润湿装置，其用于进行对象过滤器的润湿，所述过滤器润湿装置的特征在于，包括：液体供给源；流路，其用于使从所述液体供给源供给的液体从上游侧向下游侧流通；异物检测部，其能够在所述流路中检测在所述流路中流动的液体中的异物；所述对象过滤器，其设置在所述流...

【专利技术属性】
技术研发人员：一野克宪，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：