一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法技术方案

本发明专利技术公开了一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本发明专利技术通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。得安装布置更加便捷。得安装布置更加便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法


[0001]本专利技术涉辐照领域，具体是一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法。

技术介绍

[0002]芯片领域的质子辐照，一般是指质子、氘束、氦离子辐照，统称为轻离子辐照，习惯上称为“质子辐照”。
[0003]芯片制造中的硼、磷等离子注入一般深度为1微米，而质子辐照的深度为几十微米以上，特别是高压功率芯片的质子辐照深度可达几百微米，质子辐照与离子注入是功率芯片环节制造中的不同工艺环节。
[0004]芯片制造的工艺流程包含芯片设计、晶圆制造、晶圆测试、封装、成品测试等环节。其中，质子与重离子辐照是晶圆制造中提高芯片性能不可替代的重要工艺手段；是实现功率芯片局域少子寿命控制的唯一可行手段。
[0005]现有的束流传输线系统在对晶圆辐照过程中，基本采用与水平面平行的束流传输线完成对晶圆的辐照工作，而在该过程中，为了使得晶圆可以受到束流的辐照，因此晶圆的托板需要与束流传输线相垂直，即需要与水平面垂直，进而达到晶圆可以受到束流的辐照效果，然而当托板与水平面相垂直时，具有如下缺点：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种束流传输线用偏角辐照系统，包括：束流传输线；送料部(5)，位于所述束流传输线的底部；其特征在于，所述束流传输线包括：水平部(1)；转向部(2)，包括一90度偏转磁铁(21)，使得水平部(1)的束流经过90度偏转磁铁(21)垂转向，并垂直于水平面；垂直部(3)，与转向部(2)连接。2.根据权利要求1所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述垂直部(3)包括与90度偏转磁铁(21)连通的束流管道(34)，设置在所述束流管道(34)周部的偏转机构(32)，及设置在束流管道(34)端部的束流出口(33)；所述偏转机构(32)包括设置在所述束流管道(34)周部的偏转槽(322)，以及位于所述偏转槽(322)内且设置在束流管道(34)周部上的偏转磁体(321)；垂直部(3)还包括固定架(31)，所述偏转槽(322)与所述固定架(31)连接。3.根据权利要求1所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述送料部(5)包括：送料单元(51)，用于升降放置有晶圆的托板；引料单元(52)，位于送料单元(51)的一侧，用于将放置有晶圆的托板引入束流出口(33)下方，使束流完成对晶圆的辐照；牵引单元(53)，与引料单元(52)连接，用于牵引放置有晶圆的托板。4.根据权利要求3所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述送料单元(51)包括：承载主体，包括一框架，所述框架上安装有送料滑轨(516)；驱动件，安装在所述框架上；传动件，设计两组，分别设置在所述驱动件的两端；滑动件，套接于传动件。5.根据权利要求4所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述驱动件包括安装在所述框架上的送料电机(511)，设置在所述送料电机(511)输出端的送料轴，套接于所述送料轴的送料齿轮，与所述送料齿轮传动连接的传动齿轮，插接于所述传动齿轮的送料输入轴(512)，以及套接在送料输入轴(512)两端的输入锥齿轮(513)；所述送料齿轮与传动齿轮之间设有传动链条。6.根据权利要求4所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述传动件包括与输入锥齿轮(513)啮合的输出锥齿轮(514)，以及与输出锥齿轮(514)连接的送料输出丝杆(515)。7.根据权利要求4所述的一种束流传输线用偏角辐照系统，其特征是：所述滑动件包括套接于送料输出丝杆(515)的送料滑板(517)，以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭如勇，王婉琳，李非易，桂正亚，张政，朱晓桦，周晓慧，沈轩羽，马超然，王孝宇，
申请(专利权)人：国电投核力创芯无锡科技有限公司，
类型：发明
国别省市：