产品更换时快速切换PR/MASK的方法技术

技术编号:37253064 阅读:12 留言:0更新日期:2023-04-20 23:30
本发明专利技术公开了一种产品更换时快速切换PR/MASK的方法,包括如下步骤:(1)Glorysoft(Line Control)提供一个接口,在Line Control系统上增加PLC地址区域搭配MES系统;(2)Glorysoft提供消息接口;(3)Glorysoft(Line Control)消息接口与MES系统整合;(4)当Recipe Changing Safety Mode信号打开时开始自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管。采用本申请的技术方案,提供自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管的功能,使设备具有接入自动化控制系统的功能,提供自动化生产,提高生产效率,减少生产错误。减少生产错误。减少生产错误。

【技术实现步骤摘要】
产品更换时快速切换PR/MASK的方法


[0001]本申请涉及自动化控制系统领域,具体涉及一种产品更换时快速切换PR/MASK的方法。

技术介绍

[0002]现有设备(Handler)无法实现自动更换PR、Mask、温度、洗管/切管的功能,每次切换产品时只能人工操作,检查并手动搬送,生成效率低,容易出现PR、Mask、温度、切管/洗管更换错误,影响设备产能,设备厂商升级设备软件,成本高,时间长,客户不能接受。
[0003]生产中当切换不同产品时需要人员去手动操作涂布机更换PR,曝光机更换Mask,HPCP更换温度、Recipe,显影更换洗管、切管操作,由于操作员疏忽,很容易出现PR、Mask、温度、洗管/切管漏换情况,出现产品制成参数异常,为实现人员疏忽导致PR、Mask、温度、洗管/切管错误,本申请提供了一个简单的PR、Mask、温度、洗管/切管的自动切换方案,大幅度降低人员疏忽出现的问题,提高生产效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种产品更换时快速切换PR/MASK的方法,其目的在于,使Coater、HPCP、Aligner、Developer设备系统能够自动切换PR、Mask、温度、切管/洗管的功能。
[0005]本专利技术是通过以下技术方案实现的:
[0006]产品更换时快速切换PR/MASK的方法,包括如下步骤:
[0007](1)Glorysoft(Line Control)提供一个接口,在Line Control系统上增加PLC地址区域搭配MES系统,使得Coater、HPCP、Aligner、Developer设备实现自动切换PR、Mask、温度、切管/洗管功能;
[0008](2)Glorysoft(Line Control)提供消息接口,产生预约信号,并把所述预约信号发送给Coater、HPCP、Aligner、Developer,设备收到预约信号后,根据预约信号自动生成更换PR、Mask、温度、切管/洗管信息,实现PR、Mask、温度、切管/洗管自动更换的功能;
[0009](3)Glorysoft(Line Control)消息接口与MES系统整合,当操作员在系统上维护产品信息时,当发现产品投入产线生产时与上次投入的产品信息,Recipe不一致,触发BC预约信号,发送给Coater、HPCP、Aligner、Developer,Coater、HPCP、Aligner、Developer;
[0010](4)Coater/HPCP/Aligner/Developer收到Recipe Start指令后,当Recipe Changing Safety Mode信号打开时开始自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管。
[0011]作为优选实施例,所述步骤(3)中收到预约信号后自动生成预约信息,待Line Control发送Start指令时开始自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管。
[0012]作为优选实施例,所述步骤(4)中直到自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管完成后自动关闭Recipe Changing Safety Mode信号。
[0013]有益效果:Coater、HPCP、Aligner、Developer要实现自动切换PR、Mask、温度、切管/洗管,但是原有设备系统无法通过产品来实现该功能,原有厂商无法改造,为了使
Coater、HPCP、Aligner、Developer设备系统能够自动切换PR、Mask、温度、切管/洗管的功能。采用本申请的技术方案,Coater、HPCP、Aligner、Developer设备的软件条件下,通过运行Glorysoft(Line Control)的软件,提供自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管的功能,使设备具有接入自动化控制系统的功能,提供自动化生产,提高生产效率,减少生产错误。
附图说明
[0014]图1是数据传输通讯接口示意图。
[0015]图2是PR/MASK/温度/切管/洗管预约指令示意图。
[0016]图3是开始执行预约指令更换PR/MASK/温度/切管/洗管动作示意图。
[0017]图4是执行预约指令更换PR/MASK/温度/切管/洗管完成动作示意图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本专利技术的实施例作详细说明:本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本专利技术的保护范围不限于下述的实施例。
[0019]图1是自动化生产控制系统与制造生产系统以及设备通讯交握方式。图2是自动化生产控制系统与制造生产系统信息交互获取PR/MASK/温度/切管/洗管预取指令。
[0020]图3是自动化生产控制系统与设备信息交互,给设备下达执行预约指令,涂布机/预烘机/曝光机/显影机开始执行预约更换PR/MASK/温度/切管/洗管动作。图4是自动化生产控制系统与设备信息交互,涂布机/预烘机/曝光机/显影机成功更换PR/MASK/温度/切管/洗管,结束预约。
[0021]产品更换时快速切换PR/MASK的方法,包括如下步骤:
[0022](1)Glorysoft(Line Control)提供一个接口,在Line Control系统上增加PLC地址区域搭配MES系统,使得Coater、HPCP、Aligner、Developer设备实现自动切换PR、Mask、温度、切管/洗管功能;
[0023](2)Glorysoft(Line Control)提供消息接口,产生预约信号,并把所述预约信号发送给Coater、HPCP、Aligner、Developer,设备收到预约信号后,根据预约信号自动生成更换PR、Mask、温度、切管/洗管信息,实现PR、Mask、温度、切管/洗管自动更换的功能;
[0024](3)Glorysoft(Line Control)消息接口与MES系统整合,当操作员在系统上维护产品信息时,当发现产品投入产线生产时与上次投入的产品信息,Recipe不一致,触发BC预约信号,发送给Coater、HPCP、Aligner、Developer,Coater、HPCP、Aligner、Developer,收到预约信号后自动生成预约信息,待Line Control发送Start指令时开始自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管。
[0025](4)Coater/HPCP/Aligner/Developer收到Recipe Start指令后,当Recipe Changing Safety Mode信号打开时开始自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管,直到自动更换PR、Mask、温度、切管/洗管完成后自动关闭Recipe Changing Safety Mode信号。
[0026]以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本专利技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.产品更换时快速切换PR/MASK的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)Glorysoft(Line Control)提供一个接口,在Line Control系统上增加PLC地址区域搭配MES系统,使得Coater、HPCP、Aligner、Developer设备实现自动切换PR、Mask、温度、切管/洗管功能;(2)Glorysoft(Line Control)提供消息接口,产生预约信号,并把所述预约信号发送给Coater、HPCP、Aligner、Developer,设备收到预约信号后,根据预约信号自动生成更换PR、Mask、温度、切管/洗管信息,实现PR、Mask、温度、切管/洗管自动更换的功能;(3)Glorysoft(Line Control)消息接口与MES系统整合,当操作员在系统上维护产品信息时,当发现产品投入产线生产时与上次投入的产品信息,Recipe不一致,触...

【专利技术属性】
技术研发人员:苑胡南赵添
申请(专利权)人:上海哥瑞利软件股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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