一种柔性拼接抛光垫及柔性拼接抛光结构制造技术

本实用新型专利技术属于柔性抛光领域，具体为一种超精密柔性拼接抛光垫，包括凝胶工作层、第一粘结层、有机纤维布层、第二粘结层、支撑层、背胶层；所述凝胶工作层包括多个凝胶工作块；所述凝胶工作块为扇形结构。进一步的，在背胶层上附一层离型膜，得到柔性拼接抛光结构。现有技术采用刮胶、开槽的方法制备抛光垫，导致磨料层厚度无法增加，本实用新型专利技术不仅采用超厚磨料层，而且加工时工作层与支撑层结合稳定，在提高抛光效果的基础上，延长抛光垫使用寿命。延长抛光垫使用寿命。延长抛光垫使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性拼接抛光垫及柔性拼接抛光结构


[0001]本技术属于柔性抛光领域，具体为一种柔性拼接抛光垫及柔性拼接抛光结构。

技术介绍

[0002]抛光垫又称抛光皮、抛光布，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫；按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫。抛光垫能有效均匀地输送抛光液到抛光垫的不同区域；将抛光后便化学反应充分进行的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果；维持抛光垫表面的抛光液薄膜，以便化学反应充分进行；保持抛光过程的平稳、表面不变形，以便获得较好的晶片表面形貌。
[0003]现有技术方案中，公开了一种针对超硬材料进行研磨加工的柔性抛光垫；主要由耐高温性纤维垫、超硬复合陶瓷薄片和柔性树脂组成，在耐高温性纤维垫上方原位烧结一层刚性超硬复合陶瓷，再用柔性树脂渗透于纤维垫和超硬复合陶瓷薄片的缝隙和孔洞中，待树脂固化后，复合陶瓷被固定在柔性纤维垫上；最后，将覆盖在复合陶瓷表面的高分子材料去除，使陶瓷表面露出，获得柔性抛光垫，原位烧结的超硬复合陶瓷薄片具有较高的研磨去除效率。现有技术中，公开了一种大尺寸绿色柔性抛光垫及其制备方法与应用，涉及凝胶以及磨料，有一定的抛光效果，但是其需要开槽，而且工作层厚度小，也存在制备效率需要提高，加工效率需要改善的问题。现有技术方案中，公开了一种聚氨酯抛光垫，包括由预聚物多元醇和多官能异氰酸酯的预聚物反应生成得异氰酸酯封端的反应产物形成的浇铸聚氨酯聚合材料。异氰酸酯封端的反应物包含4.5
‑
8.7重量%的未反应的NCO，用选自固化剂多胺、固化剂多元醇、固化剂醇胺及其混合物的固化剂，使异氰酸酯封端的反应产物固化。抛光垫包含至少0.1体积%的填料或孔隙。
[0004]目前，多数抛光垫都是聚氨酯或者纤维类或皮革类组成的抛光垫，抛光垫本身不含有任何的磨料，需要配合抛光浆料同时使用。使用该抛光工具，加工效率低，对于一些要求高的材料，抛光时间最少需要4小时以上。同时，有些抛光浆料还需要特殊的化学处理，对环境污染大。

技术实现思路

[0005]针对现有技术不足，本技术目的在于提供一种柔性拼接抛光垫，代替传统的聚氨酯、纤维类和皮革组成类的抛光垫，能够提高抛光效率3～5倍，提高磨料的使用率，有利于基体材料强度增强，能够保持很好的面形精度，同时省去开槽工序，结构简单，易拼接，节约生产成本。
[0006]为了有效解决上述问题，本技术的技术方案是：一种柔性拼接抛光垫，所述抛光垫包括凝胶工作层、第一粘结层、有机纤维布层、第二粘结层、支撑层、背胶层；所述凝胶工作层包括多个凝胶工作块；所述凝胶工作块为扇形结构；优选的，所述抛光垫由依次设置
的凝胶工作层、第一粘结层、有机纤维布层、第二粘结层、支撑层、背胶层组成。
[0007]一种柔性拼接抛光结构，由上述柔性拼接抛光垫与离型膜构成；离型膜与所述柔性拼接抛光垫的背胶层接触，即在上述柔性拼接抛光垫的背胶层外侧覆上离型膜得到柔性拼接抛光结构，利于转运，使用时揭开离型膜即可将柔性拼接抛光垫黏在机器设备上，具体操作为常规技术。
[0008]上述技术方案中，凝胶工作层由磨料层与凝胶层组成，厚度为3～8mm，优选5～7mm，其中磨料层的厚度为凝胶工作层厚度的75～80%，现有凝胶抛光垫的工作层很薄，一般小于2mm，本技术设计新的结构，可以增加工作层厚度，达到5～8mm；作为常识以及现有产品，磨料层指磨料与凝胶组成的用于抛光的结构，凝胶层为不含磨料的纯凝胶结构，有利于磨料的表层附着以及基体材料具有较好的机械强度，从而保证很好的面形精度。
[0009]上述技术方案中，有机纤维布层为常规聚酯纤维布层，提高凝胶工作层的粘接性能，避免产品工作后搁置在空气中发生应力翘曲产生脱胶的问题，防止磨料层中柔性的抛光结块脱落，在加工过程中，凝胶工作层遇水会溶胀，聚酯纤维布有利于其固定，减弱溶胀带来的界面粘接力下降，防止其脱落。
[0010]上述技术方案中，凝胶工作层由多个扇形结构凝胶工作块拼接得到；作为客观常识，扇形结构凝胶工作块间存在拼接间隙，避免传统开槽工序，有利于快速及时的将抛光过程中磨屑带出，提高抛光效率。
[0011]上述技术方案中，第一粘结层、第二粘接层为现有胶水层，能够将有机纤维布层固定在凝胶工作层与支撑层之间；胶水为砂轮拼接领域常规用胶。
[0012]上述技术方案中，支撑层为现有不锈钢基片，厚度为常规参数，比如为1～3mm，常规通过背胶层固定在工作台上；背胶层为现有抛光垫的常规结构，其定义以及使用为常识。
[0013]现有采用刮胶或者开槽的方式制备凝胶抛光垫，无法得到超厚工作层，一般小于2mm，这是现有结构的客观缺陷；本技术没有改变现有配方组成，仅创造性提出新的结构，通过磨料层与凝胶层的设计降低抛光工作时凝胶溶胀带来的界面效应劣化，有机纤维布层增加了凝胶工作层与支撑层的结合力，多个扇形凝胶工作块组成的凝胶工作层解决了现有技术需要开槽的缺陷，在保持每圈凝胶工作块都一致的基础上，明显提高抛光垫的制备效率，更主要的是，通过整体结构的创新，本技术抛光效果很好，使得在抛光过程中，结块变形小，极大的减低了加工产品比如晶圆片的破片率，提高了生产良率，而且较现有抛光垫取得更长的使用寿命。
附图说明
[0014]图1为柔性拼接抛光垫结构示意图；
[0015]图2为柔性拼接抛光垫凝胶工作层结构示意图；
[0016]图3为扇形结构凝胶工作块的拼接结构示意图，可看出间隙；
[0017]图4为柔性拼接抛光结构的示意图；
[0018]其中，凝胶工作层1、第一粘结层2、有机纤维布层3、第二粘结层4、支撑层5、背胶层6、扇形结构凝胶工作块7、磨料层8、凝胶层9、离型膜层10。
具体实施方式
[0019]作为常识，柔性抛光垫为圆环型多层结构，具有支撑材料及其表面的磨削层，磨削层有的具有开槽，有的为平滑面。本技术中，磨料层与凝胶层本身都为现有产品，磨料层为具有柔性的冻干结块，由磨料、粉料与凝胶制备，能够减少其表面的划伤，保证表面粗糙度和多孔性，延长其使用时间，减少抛光垫修正次数，同时抛光结块溶胀率低；凝胶层为具有柔性的冻干结块，由单纯凝胶制备，能够与作为粘接过渡层的有机纤维布层很好的结合。粘结层、有机纤维布层、支撑层、背胶层所用材料都为本领域常规产品。
[0020]下面将结合本技术中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的具体示例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例一
[0022]参见附图1～3，一种柔性拼接抛光垫，由依次设置的凝胶工作层1、第一粘结层2、有机纤维布层3、第二粘结层4、支撑层5、背胶层6组成，凝胶工作层由多个扇形结构凝胶工作块7拼接得到，凝胶工作层由磨料层8与凝胶层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性拼接抛光垫，其特征在于，所述抛光垫包括凝胶工作层、第一粘结层、有机纤维布层、第二粘结层、支撑层、背胶层；所述凝胶工作层包括多个凝胶工作块；所述凝胶工作块为扇形结构；所述凝胶工作层由磨料层与凝胶层组成。2.根据权利要求1所述柔性拼接抛光垫，其特征在于，所述抛光垫由依次设置的凝胶工作层、第一粘结层、有机纤维布层、第二粘结层、支撑层、背胶层组成。3.根据权利要求1所述柔性拼接抛光垫，其特征在于，凝胶工作层的厚度为3～8mm。4.根据权利要求3所述柔性拼接抛光垫，其特征在于，磨料层的厚度为凝胶工作层厚度的75～80%。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡光球，陆静，王凯平，胡坤，
申请(专利权)人：苏州赛尔特新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：