【技术实现步骤摘要】
闸阀
[0001]本专利技术涉及在半导体制造装置等中用于配置在空腔之间的闸阀，更详细地说，涉及用于配设在相互邻接的转移空腔等第一空腔和工艺空腔等第二空腔之间，使与第一空腔相通的第一开口部和与第二空腔相通的第二开口部相互连通或个别地开闭的闸阀。
技术介绍
[0002]在这样的闸阀中，将一对阀板配设成相互背向，通过使安装在这些阀板上的密封部件与形成在上述各开口部的周围的座面抵接，能够使上述各开口部个别地开闭。然而，例如，上述密封部件因为与使用相应地逐渐劣化，所以需要在劣化了的阶段更换为新的密封部件等，需要对阀板进行定期的维护作业。但是，以往在实施以这样的密封部件的更换为主的阀板的维护作业时，需要将闸阀整体暂时从空腔之间拆下，需要大量的工夫和时间。
[0003]因此，在专利文献1所述的闸阀中，在阀轴的前端部从阀轴的前端侧装拆自由地安装了支承板，并且在该支承板的两面上可从阀轴的前端侧装拆地安装了一对阀板。因此，例如，如专利文献1记载的那样，若将关闭收容了阀板的阀箱的前端侧的顶壁拆下等可进行从前端侧对阀板、支承板的接近，则不将...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种闸阀，其用于配设在相互邻接的第一空腔和第二空腔之间，使与上述第一空腔相通的第一开口部和与上述第二空腔相通的第二开口部相互连通或个别地开闭，其特征在于，上述闸阀具有阀轴、第一阀板及第二阀板和操作机构，该阀轴在轴方向从基端侧朝向前端侧延伸；该第一阀板及第二阀板安装在上述阀轴的轴方向的前端部，在与上述轴正交的方向形成得长，并且具备内面及外面，该内面朝向上述阀轴侧，该外面装配环状的密封部件，与上述内面背向；该操作机构通过使上述阀轴动作，使上述第一及第二阀板向使上述第一开口部和上述第二开口部相互连通的退避位置、由上述第一阀板的外面将上述第一开口部闭塞的第一闭塞位置及由上述第二阀板的外面将上述第二开口部闭塞的第二闭塞位置移动，上述闸阀还具有紧固机构和至少1组支承机构，该紧固机构在使上述第一阀板的内面及上述第二阀板的内面与上述阀轴的前端部抵接而使上述阀轴的前端部夹持在这些阀板之间的状态下，将上述第一及第二阀板以及上述阀轴可卡合脱离地相互紧固，由此，将上述第一及第二阀板可装拆地安装在上述阀轴的前端部，该至少1组支承机构在上述第一及第二阀板的长度方向的至少两端部将这些阀板可卡合脱离地相互紧固。2.如权利要求1所述的闸阀，其特征在于，上述紧固机构具有第一夹紧片、第二夹紧片和第一紧固部件及第二紧固部件，该第一夹紧片配置成从上述阀轴的上述轴方向的前端侧跨在上述阀轴和上述第一阀板之间，相对于上述第一阀板可卡合脱离地卡合，并且相对于上述阀轴可装拆地固定；该第二夹紧片配置成从上述阀轴的上述轴方向的前端侧跨在上述阀轴和上述第二阀板之间，相对于上述第二阀板可卡合脱离地卡合，并且相对于上述阀轴可装拆地固定；该第一紧固部件及第二紧固部件将上述第一夹紧片及上述第二夹紧片的各自可装拆地固定在上述阀轴的前端部，上述第一及第二阀板的在上述轴方向的基端侧端部从上述阀轴的前端侧相对于上述阀轴的前端部进行了凹凸卡合，在将上述第一及上述第二夹紧片由上述第一及第二紧固部件固定在上述阀轴上的状态下，由上述第一及第二夹紧片和上述第一及第二阀板的卡合将上述第一及第二阀板的前端部分别朝向它们的上述内面侧推压，并且由上述阀板的基端侧端部和上述阀轴的前端部的凹凸卡合将上述第一及第二阀板的基端侧端部分别朝向它们的上述内面侧推压，由此，将上述第一及第二阀板相对于上述阀轴的前端部紧固。3.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于，上述一对阀板的基端侧端部和上述阀轴的前端部的凹凸卡合由分别设置在上述一对阀板的基端部的卡合部和设置在上述阀轴的前端部的一对被卡合部的卡合形成，上述卡合部是凹部及与其卡合的凸部的任意一方，上述被卡合部是上述凹部及上述凸部的任意一方，在上述第一阀板及上述第二阀板上，在它们的上述内面的长度方向的中央部形成了朝
向上述轴方向的前端侧开口的第一卡合凹部及第二卡合凹部，在上述第一夹紧片及上述第二夹紧片上形成了与上述第一及第二卡合凹部卡合的第一卡合凸部及第二卡合凸部，在使上述第一卡合凸部与上述第一卡合凹部卡合并且使形成在上述第一阀板及上述阀轴上的上述卡合部和上述被卡合部卡合的状态下，通过由上述第一紧固部件将上述第一夹紧片固定在上述阀轴上，上述第一卡合凸部相对于上述第一卡合凹部作用上述第一阀板的内面方向的推压力，并且上述卡合部相对于上述被卡合部作用上述第一阀板的内面方向的推压力，将上述第一阀板相对于上述阀轴紧固，在使上述第二卡合凸部与上述第二卡合凹部卡合并且使形成在上述第二阀板及上述阀轴上的上述卡合部和上述被卡合部卡合的状态下，通过由上述第二紧固部件将上述第二夹紧片固定在上述阀轴上，上述第二卡合凸部使上述第二阀板的内面方向的推压力相对于上述第二卡合凹部作用，并且上述卡合部使上述第二阀板的内面方向的推压力相对于上述被卡合部作用，将上述第二阀板相对于上述阀轴紧固。4.如权利要求3所述的闸阀，其特征在于，上述第一及第二紧固部件是第一紧固螺栓及第二紧固螺栓，在上述阀轴的轴方向的前端面上开设了使这些紧固螺栓进行螺纹配合的螺纹孔，在上述第一及第二夹紧片上开设了使上述第一及第二紧固螺栓穿插的贯通孔，通过使上述第一紧固螺栓穿插在上述第一夹紧片的贯通孔中与上述阀轴的螺纹孔进行螺纹配合，将上述第一夹紧片固定在上述阀轴上，通过使上述第二紧固螺栓穿插在上述第二夹紧片的贯通孔中与上述阀轴的螺纹孔进行螺纹配合，将上述第二夹紧片固定在上述阀轴上。5.如权利要求4所述的闸阀，其特征在于，上述第一夹紧片在夹着其贯通孔的一端侧具有上述第一卡合凸部，在另一端侧具有第一卡定爪，在将上述第一夹紧片由上述第一紧固螺栓固定的状态下，将上述第一卡定爪相对于上述阀轴朝向上述第一卡合凸部侧卡定，上述第二夹紧片在夹着其贯通孔的一端侧具有上述第二卡合凸部，在另一端侧具有第二卡定爪，在将上述第二夹紧片由上述第二紧固螺栓固定的状态下，将上述第二卡定爪相对于上述阀轴朝向上述第二卡合凸部侧卡定。6.如权利要求4所述的闸阀，其特征在于，上述第一夹紧片在将上述第一紧固螺栓松开的状态下，在使上述第一卡合凸部与上述第一卡合凹部卡合的卡合位置和从上述第一卡合凹部将上述第一卡合凸部拔出的装拆位置之间绕上述第一紧固螺栓的轴转动自由，上述第一夹紧片在使上述第一夹紧片从上述卡合位置转动到上述装拆位置时，收容在上述第一阀板的内面和上述第二阀板的内面之间的间隙内，上述第二夹紧片在将上述第二紧固螺栓松开的状态下，在使上述第二卡合凸部与上述第二卡合凹部卡合的卡合位置和从上述第二卡合凹部将上述第二卡合凸部拔出的装拆位置之间绕上述第二紧固螺栓的轴转动自由，
上述第二夹紧片在使上述第二夹紧片从上述卡合位置转动到上述装拆位置时，收容在上述第一阀板的内面和上述第二阀板的内面之间的间隙内。7.如权利...
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