【技术实现步骤摘要】
一种电光调制器自动化测试系统
[0001]本专利技术涉及通信用电光调制器测试领域，具体涉及一种电光调制器自动化测试系统。
技术介绍
[0002]通信用电光调制器是一种将电信号转换为光信号的半导体器件。电光调制器的测试在器件的研发和量产中占有重要的地位。研发测试可以帮助研发工程师了解到芯片的真实性能，进而为器件的设计、改进与应用提供指导。量产测试，可筛选出性能优异的器件，提升最终产品的良率。
[0003]电光调制器的关键性能包工作波长、插入损耗、偏振相关损耗、消光比、半波电压、带宽、线性度、调制损耗等。
[0004]然而当前通常只能同时对电光调制器的单一性能进行测试，如需测试其他性能，则需要更换测试台，导致测试效率低下，测试成本高，且多次对芯片进行搬运、扎针、耦合等操作也会对芯片产生损伤，降低良率。针对于大规模量产测试，出于测试成本与效率考虑，通常也只对调制器的带宽进行测试，无法准确评估电光调制器性能，导致后续封装成品良率的降低，反而增加了封装成本。
技术实现思路
[0005]针对现有技术中存在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电光调制器自动化测试系统，用于对包含电光调制器的芯片、组件、器件、模块中的电光调制器进行性能测试，其特征在于，包括：第一层级测试组件，所述第一层级测试组件包括依次连接的可调谐激光器和偏振控制器，所述偏振控制器的后端用于连接第一光功率计和待测电光调制器，且待测电光调制器的后端连接有1
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2光开关和第二光功率计，所述第一层级测试组件还包括用于与待测电光调制器相连的电流源表；第二层级测试组件，所述第二层级测试组件包括依次连接的光电探测器和第二高频切换开关，以及依次连接的波形发生器、射频放大器和第一高频切换开关，所述第一高频切换开关与偏振控制器相连，所述第二高频切换开关的后端还连接有频谱仪、采样示波器和实时示波器，且所述波形发生器还与采样示波器连接；第三层级测试组件，所述第三层级测试组件包括光波元件分析仪，所述光波元件分析仪与1
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2光开关和第一高频切换开关均连接。2.如权利要求1所述的一种电光调制器自动化测试系统，其特征在于：所述第一层级测试组件还包括设于偏振控制器后端的第一光分束器，以及用于设于待测电光调制器的后端的第二光分束器；所述第一光分束器的前端与偏振控制器相连，后端与第一光功率计和待测电光调制器相连；所述第二光分束器的前端用于与待测电光调制器相连，后端与第二光功率计和1
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2光开关相连。3.如权利要求2所述的一种电光调制器自动化测试系统，其特征在于：所述电光调制器自动化测试系统通过第一层级测试组件、第二层级测试组件和第三层级测试组件中的各器件，实现对待测电光调制器的直流特性测试、高频特性测试和带宽特性测试。4.如权利要求3所述的一种电光调制器自动化测试系统，其特征在于：通过第一层级测试组件中的可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、第一光...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴定益，胡晓，肖希，张红广，冯朋，
申请(专利权)人：武汉邮电科学研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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