一种电光调制器自动化测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种电光调制器自动化测试系统，涉及通信用电光调制器测试领域，包括第一层级测试组件、第二层级测试组件和第三层级测试组件，所述第一层级测试组件包括依次连接的可调谐激光器和偏振控制器，所述偏振控制器的后端用于连接第一光功率计和待测电光调制器，且待测电光调制器的后端连接有1

【技术实现步骤摘要】
一种电光调制器自动化测试系统


[0001]本专利技术涉及通信用电光调制器测试领域，具体涉及一种电光调制器自动化测试系统。

技术介绍

[0002]通信用电光调制器是一种将电信号转换为光信号的半导体器件。电光调制器的测试在器件的研发和量产中占有重要的地位。研发测试可以帮助研发工程师了解到芯片的真实性能，进而为器件的设计、改进与应用提供指导。量产测试，可筛选出性能优异的器件，提升最终产品的良率。
[0003]电光调制器的关键性能包工作波长、插入损耗、偏振相关损耗、消光比、半波电压、带宽、线性度、调制损耗等。
[0004]然而当前通常只能同时对电光调制器的单一性能进行测试，如需测试其他性能，则需要更换测试台，导致测试效率低下，测试成本高，且多次对芯片进行搬运、扎针、耦合等操作也会对芯片产生损伤，降低良率。针对于大规模量产测试，出于测试成本与效率考虑，通常也只对调制器的带宽进行测试，无法准确评估电光调制器性能，导致后续封装成品良率的降低，反而增加了封装成本。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种电光调制器自动化测试系统，能够极大提升测试效率及良率，有助于降低电光调制器量产筛选成本，增加成品良率。
[0006]为达到以上目的，本专利技术采取的技术方案是，包括：
[0007]第一层级测试组件，所述第一层级测试组件包括依次连接的可调谐激光器和偏振控制器，所述偏振控制器的后端用于连接第一光功率计和待测电光调制器，且待测电光调制器的后端连接有1<br/>×
2光开关和第二光功率计，所述第一层级测试组件还包括用于与待测电光调制器相连的电流源表；
[0008]第二层级测试组件，所述第二层级测试组件包括依次连接的光电探测器和第二高频切换开关，以及依次连接的波形发生器、射频放大器和第一高频切换开关，所述第一高频切换开关与偏振控制器相连，所述第二高频切换开关的后端还连接有频谱仪、采样示波器和实时示波器，且所述波形发生器还与采样示波器连接；
[0009]第三层级测试组件，所述第三层级测试组件包括光波元件分析仪，所述光波元件分析仪与1
×
2光开关和第一高频切换开关均连接。
[0010]在上述技术方案的基础上，
[0011]所述第一层级测试组件还包括设于偏振控制器后端的第一光分束器，以及用于设于待测电光调制器的后端的第二光分束器；
[0012]所述第一光分束器的前端与偏振控制器相连，后端与第一光功率计和待测电光调
制器相连；
[0013]所述第二光分束器的前端用于与待测电光调制器相连，后端与第二光功率计和1
×
2光开关相连。
[0014]在上述技术方案的基础上，所述电光调制器自动化测试系统通过第一层级测试组件、第二层级测试组件和第三层级测试组件中的各器件，实现对待测电光调制器的直流特性测试、高频特性测试和带宽特性测试。
[0015]在上述技术方案的基础上，通过第一层级测试组件中的可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、第一光分束器、第二光分束器和1
×
2光开关，实现对待测电光调制器的直流特性测试。
[0016]在上述技术方案的基础上，通过第二层级测试组件中的光电探测器、第二高频切换开关、波形发生器、射频放大器、第一高频切换开关、频谱仪、采样示波器和实时示波器，以及第一层级测试组件中的可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、第一光分束器、第二光分束器和1
×
2光开关，实现对待测电光调制器的高频特性测试。
[0017]在上述技术方案的基础上，通过第三层级测试组件中的光波元件分析仪，以及第一层级测试组件中的可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、第一光分束器、第二光分束器和1
×
2光开关，实现对待测电光调制器的带宽特性测试。
[0018]在上述技术方案的基础上，还包括测试电脑，所述测试电脑与光波元件分析仪、第一高频切换开关、可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、1
×
2光开关、波形发生器、第二高频切换开关、频谱仪、采样示波器和实时示波器均相连。
[0019]在上述技术方案的基础上，所述测试电脑通过GPIB与光波元件分析仪、第一高频切换开关、可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、1
×
2光开关、波形发生器、第二高频切换开关、频谱仪、采样示波器和实时示波器相连。
[0020]在上述技术方案的基础上，通过Python、MATLAB或labview实现电光调制器自动化测试系统中各器件的互连和自动化控制。
[0021]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：可在只搭建一套测试系统的情况下，一步完成部分或所有电光调制器在不同测试条件下关键性能的测试，无需多次切换测试台、多次扎针耦合，极大地提升测试效率及良率，有助于降低电光调制器量产筛选成本，增加成品良率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术实施例中一种电光调制器自动化测试系统的结构示意图。
[0024]图2为电光调制器晶圆级自动化测试的结构示意图。
具体实施方式
[0025]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]为了解决现有电光调制器测试系统测试功能单一、测试效率低下、部分性能无法测试且可靠性较低的问题，本专利技术提供一种电光调制器自动化测试系统，通过将可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、第一光分束器、第二光分束器、1
×
2光开关、光电探测器、第二高频切换开关、波形发生器、射频放大器、第一高频切换开关、频谱仪、采样示波器、实时示波器和光波元件分析仪组成电光调制器自动化测试系统，通过自动化程序，结合晶圆级自动化测试平台或芯片分选测试系统，一步完成电光调制器部分或所有关键性能的大规模测试，有效提高量产测试效率及可靠性，降低测试成本，提高成品良率。
[0027]参见图1所示，本专利技术实施例提供一种电光调制器自动化测试系统，用于对包含电光调制器的芯片、组件、器件、模块中的电光调制器进行性能测试。该电光调制器自动化测试系统包括第一层级测试组件、第二层级测试组件和第三层级测试组件。
[0028]第一层级测试组件包括依次连接的可调谐激光器和偏振控制器，所述偏振控制器的后端用于连接第一光功率计和待测电光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电光调制器自动化测试系统，用于对包含电光调制器的芯片、组件、器件、模块中的电光调制器进行性能测试，其特征在于，包括：第一层级测试组件，所述第一层级测试组件包括依次连接的可调谐激光器和偏振控制器，所述偏振控制器的后端用于连接第一光功率计和待测电光调制器，且待测电光调制器的后端连接有1
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2光开关和第二光功率计，所述第一层级测试组件还包括用于与待测电光调制器相连的电流源表；第二层级测试组件，所述第二层级测试组件包括依次连接的光电探测器和第二高频切换开关，以及依次连接的波形发生器、射频放大器和第一高频切换开关，所述第一高频切换开关与偏振控制器相连，所述第二高频切换开关的后端还连接有频谱仪、采样示波器和实时示波器，且所述波形发生器还与采样示波器连接；第三层级测试组件，所述第三层级测试组件包括光波元件分析仪，所述光波元件分析仪与1
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2光开关和第一高频切换开关均连接。2.如权利要求1所述的一种电光调制器自动化测试系统，其特征在于：所述第一层级测试组件还包括设于偏振控制器后端的第一光分束器，以及用于设于待测电光调制器的后端的第二光分束器；所述第一光分束器的前端与偏振控制器相连，后端与第一光功率计和待测电光调制器相连；所述第二光分束器的前端用于与待测电光调制器相连，后端与第二光功率计和1
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2光开关相连。3.如权利要求2所述的一种电光调制器自动化测试系统，其特征在于：所述电光调制器自动化测试系统通过第一层级测试组件、第二层级测试组件和第三层级测试组件中的各器件，实现对待测电光调制器的直流特性测试、高频特性测试和带宽特性测试。4.如权利要求3所述的一种电光调制器自动化测试系统，其特征在于：通过第一层级测试组件中的可调谐激光器、偏振控制器、电流源表、第一光功率计、第二光功率计、第一光...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴定益，胡晓，肖希，张红广，冯朋，
申请(专利权)人：武汉邮电科学研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：