体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件制造技术

本公开提供一种体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件。体声波谐振器滤波器包括：串联部，包括电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及多个分流声波谐振器，在串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此串联电连接，其中，多个分流声波谐振器中的每个包括谐振部，谐振部包括第一电极、压电层和第二电极，多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极叠置在叠置区域中，叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且多个分流声波谐振器的纵横比包括不同的纵横比。器的纵横比包括不同的纵横比。器的纵横比包括不同的纵横比。

【技术实现步骤摘要】
体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件
[0001]本申请要求于2021年10月5日在韩国知识产权局提交的第10
‑
2021
‑
0131853号韩国专利申请以及于2022年3月17日在韩国知识产权局提交的第10
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2022
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0033164号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。


[0002]本公开涉及一种体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件。

技术介绍

[0003]最近，随着移动通信装置以及化学和生物测试相关装置的快速发展，对在这些装置中使用的小而轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声波谐振质量传感器的需求正在增大。
[0004]诸如体声波(BAW)滤波器的声波谐振器可被配置为实现这种小而轻的滤波器、振荡器、谐振元件和声波谐振质量传感器的装置，并且与介质滤波器、金属腔滤波器和波导相比，可具有相对小的尺寸和相对良好的性能。因此，声波谐振器可广泛用于需要相对良好性能(例如，相对宽的通带宽)的现代移动装置的通信模块中。

技术实现思路

[0005]提供本
技术实现思路
以按照简化的形式介绍所选择的构思，在以下具体实施方式中进一步描述这些构思。本
技术实现思路
既不意在明确所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用作帮助确定所要求保护的主题的范围。
[0006]在一个总体方面，一种体声波谐振器滤波器，包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及多个分流声波谐振器，在所述串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此串联电连接，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个包括谐振部，所述谐振部包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个分流声波谐振器的纵横比包括不同的纵横比。
[0007]所述多个分流声波谐振器的所述不同纵横比之间的差异可使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。
[0008]所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异可小于所述多个分流声波谐振器之间的谐振频率差异。
[0009]所述多个分流声波谐振器可通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，并且所述多个分流声波谐振器之间的纵横比差异可随着所述多个分流声波谐振器之间的连接长度增大而增大。
[0010]所述多个分流声波谐振器中的最靠近所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比可低于所述多个分流声波谐振器中的更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比。
[0011]所述更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比可以在2.2至2.6的范围。
[0012]所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比可大于1.3且小于等于6.6。
[0013]所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比可大于1.3且小于3.8。
[0014]所述至少一个串联声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述至少一个串联声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述至少一个串联声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比可等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个分流声波谐振器中的至少一个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性可高于所述至少一个串联声波谐振器中的至少一个串联声波谐振器的叠置区域的形状的对称性。
[0015]所述多个分流声波谐振器中的所述至少一个分流声波谐振器的纵横比可大于等于4.8且小于等于6.6。
[0016]所述多个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性可包括不同的对称性，并且所述多个分流声波谐振器中的具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比可高于所述多个分流声波谐振器中的具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比。
[0017]所述具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比可大于等于4.8且小于等于6.6，并且所述具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比可大于1.3且小于3.8。
[0018]所述多个分流声波谐振器可包括彼此串联电连接的第一分流声波谐振器、第二分流声波谐振器和第三分流声波谐振器，所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器可通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，所述第二分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器可通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，并且所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异可不同于所述第二分流声波谐振器与所述第三分流声波谐振器之间的纵横比差异。
[0019]所述多个分流声波谐振器可包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器，所述多个分流声波谐振器还可包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比可等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且彼此串联电连接的所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器可与彼此串联电连接的所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器并联电连接。
[0020]所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的一个分流声波谐振器
可通过所述一个分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第一接地端口，并且所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的另一分流声波谐振器可通过所述另一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第一接地端口。
[0021]所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器的纵横比可彼此不同，并且所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异可不同于所述第三分流声波谐振器与所述第四分流声波谐振器之间的纵横比差异。
[0022]所述体声波谐振器滤波器还可包括在所述串联部的第二节点与第二接地端口之间彼此串联电连接的第五分流声波谐振器和第六分流声波谐振器，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器滤波器，包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及多个分流声波谐振器，在所述串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此串联电连接，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个包括：谐振部，包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个分流声波谐振器的纵横比包括不同的纵横比。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器的所述不同纵横比之间的差异使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。3.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异小于所述多个分流声波谐振器之间的谐振频率差异。4.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，并且所述多个分流声波谐振器之间的纵横比差异随着所述多个分流声波谐振器之间的连接长度增大而增大。5.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器中的最靠近所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比低于所述多个分流声波谐振器中的更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比。6.根据权利要求5所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比在2.2至2.6的范围。7.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比大于1.3且小于等于6.6。8.根据权利要求7所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比大于1.3且小于3.8。9.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述至少一个串联声波谐振器中的每个包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述至少一个串联声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述至少一个串联声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个分流声波谐振器中的至少一个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性高于所述至少一个串联声波谐振器中的至少一个串联声波谐振器的叠置区域的形状的对
称性。10.根据权利要求9所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器中的所述至少一个分流声波谐振器的纵横比大于等于4.8且小于等于6.6。11.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性包括不同的对称性，并且所述多个分流声波谐振器中的具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比高于所述多个分流声波谐振器中的具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比。12.根据权利要求11所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比大于等于4.8且小于等于6.6，并且所述具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比大于1.3且小于3.8。13.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器包括彼此串联电连接的第一分流声波谐振器、第二分流声波谐振器和第三分流声波谐振器，所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，所述第二分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，并且所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异不同于所述第二分流声波谐振器与所述第三分流声波谐振器之间的纵横比差异。14.根据权利要求1所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器，所述多个分流声波谐振器还包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且彼此串联电连接的所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器与彼此串联电连接的所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器并联电连接。15.根据权利要求14所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的一个分流声波谐振器通过所述一个分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第一接地端口，并且所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的另一分流声波谐振器通过所述另一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第一接地端口。16.根据权利要求15所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器的纵横比彼此不同，并且
所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异不同于所述第三分流声波谐振器与所述第四分流声波谐振器之间的纵横比差异。17.根据权利要求14所述的体声波谐振器滤波器，所述体声波谐振器滤波器还包括在所述串联部的第二节点与第二接地端口之间彼此串联电连接的第五分流声波谐振器和第六分流声波谐振器，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述至少一个串联声波谐振器包括电连接在所述第一节点与所述第二节点之间的串联声波谐振器，与所述第二分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器相比，所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器更靠近所述第一接地端口电连接，与所述第六分流声波谐振器相比，所述第五分流声波谐振器更靠近所述第二接地端口电连接，所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的每个的叠置区域的尺寸不同于所述第五分流声波谐振器的叠置区域的尺寸，并且所述第二分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的尺寸不同于所述第六分流声波谐振器的叠置区域的尺寸。18.一种体声波谐振器滤波器，包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及分流部，包括电连接在所述串联部与地之间的多个分流声波谐振器，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个包括：谐振部，包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述多个分流声波谐振器的第一部分通过第一电极电连接到地，并且所述多个分流声波谐振器的第二部分通过第二电极电连接到地，并且所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分的纵横比不同于所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分的纵横比。19.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分的纵横比与所述多个分流声波谐振器的通过第二
电极电连接到地的所述第二部分的纵横比之间的差异使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。20.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的反谐振频率差异小于所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的谐振频率差异。21.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率高于所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振频率，并且所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的谐振频率差异小于所述多个分流声波谐振器的谐振频率中的最高谐振频率与所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率之间的谐振频率差异。22.根据权利要求18所述的体声波谐振器滤波器，其中，所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分以及所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分电连接在所述串联部的第一节点和接地端口之间。23.一种体声波谐振器封装件，包括：基板；盖，面对所述基板；多个声波谐振器，所述多个声波谐振器中的每个包括形成谐振部的第一电极、压电层和第二电极，所述第一电极、所述压电层和第二电极在从所述基板朝向所述盖延伸的第一方向上堆叠，所述第一电极、所述压电层和所述第二电极叠置在叠置区域中并且设置在所述基板和所述盖之间；金属层，将所述多个声波谐振器彼此连接；以及接合构件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄炫民，柳廷勳，严在君，金烔会，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：