【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脉冲电源装置
[0001]本公开涉及通过多个开关元件的动作使电压重叠来产生单极性的高电压脉冲的脉冲电源装置。
技术介绍
[0002]产生高电压脉冲的脉冲电源装置被用于利用了脉冲电弧放电的杀菌装置、水处理装置、激光振荡器、废气净化装置、臭氧发生机、极端紫外光(Extreme Ultra
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Violet：EUV)光源等。这些装置需要瞬间极高的脉冲电力。因此，要求在这些装置中使用的脉冲电源装置在极短的时间内释放以脉冲方式释放的电能量即脉冲功率。
[0003]以往在这种脉冲电源装置中使用了气体放电开关。但是，关于气体放电开关，存在放电的持续时间短、稳定性低这样的课题。近年来，使用半导体开关元件，通过变压器重叠由半导体开关元件生成的感应电压，从而能够产生单极性且短脉冲宽度的高电压脉冲。
[0004]在反复输出单极性的高电压脉冲的情况下，在重叠感应电压的变压器的磁性体残留因磁饱和而产生的剩磁。在该剩磁大的情况下，存在变压器中的磁通变化小、感应电压的重叠量小而难以产生高电压脉冲这样的问题。
[00...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种脉冲电源装置，其特征在于，具备：多个脉冲电源，分别输出单极性的脉冲电压；以及多个变压器，分别具有1次绕组、2次绕组以及3次绕组，1个所述脉冲电源与1个所述1次绕组一个一个地连接；多个所述2次绕组依次串联地连接，串联地连接的多个所述2次绕组的两端构成输出端子，负载与所述输出端子连接而构成第1闭电路，多个所述3次绕组依次串联地连接，串联地连接的多个所述3次绕组的两端构成电压施加端子，磁复位电路与所述电压施加端子连接，由多个所述3次绕组和所述磁复位电路构成第2闭电路，所述磁复位电路具备：磁复位电源，是用于使复位电流流过所述3次绕组的电源；以及阻抗变更电路，构成为能够变更用于限制因在所述3次绕组中感应出的电压而能够在所述第2闭电路中流过的感应电流的阻抗。2.如权利要求1所述的脉冲电源装置，其特征在于，各个所述脉冲电源具备：多个开关元件；多个电容器，分别与所述开关元件的每一个开关元件串联地连接，且相互并联地连接；以及直流电源，对所述电容器的各两端施加直流电压，各个所述脉冲电源具有多个由1个所述开关元...
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