一种表压传感器制造技术

一种表压传感器，其包括：壳体；将壳体内腔分隔为第一腔和第二腔的分隔组件，分隔组件上设有连通第一腔和第二腔的通孔，第二腔通过壳体的纵向一侧开设的表压孔连通至壳体的外部；压力芯片，其压力感测面从第二腔的纵向一侧的相对侧封堵通孔；设置于第二腔内并与压力芯片连接的电路板；及连接于壳体的纵向一侧并连通至第二腔的压力接头管。本申请的表压传感器能够有效地降低水和粉尘的侵入。够有效地降低水和粉尘的侵入。够有效地降低水和粉尘的侵入。

【技术实现步骤摘要】
一种表压传感器


[0001]本申请涉及压力传感器
，具体涉及一种表压传感器。

技术介绍

[0002]MEMS压力传感器是利用经过微机械加工的半导体材料的压阻效应进行压力测量的，其依靠压力膜来感应外界介质压力，处于压力膜上的压阻元件在受到从压力膜传来的压力时，其电阻值发生改变。通过对电阻值变化的监测，可以判断压力的大小，并通过电路将压力的大小转化为电信号输出到外围电路控制系统。压力传感器包括绝压、表压和差压传感器，其中，表压传感器是在压力膜的一侧引入待测压力，另一侧引入大气压力。
[0003]现有的表压传感器，其通常包括壳体及上盖，引入待测压力的压力接口设置于底部，用于引用大气压力的表压孔则通常设置于顶部或者侧部。为了隔绝工作环境中雨水侵入，一般需要在表压孔处设置防水透气膜。
[0004]但在本申请发现上述技术至少仍存在一些技术问题，例如，在雨水量较大且排水不畅时，容易导致雨水完全覆盖防水透气膜，起不到通气的作用。
[0005]本部分中的陈述仅提供与本申请相关的背景信息并且可以不构成现有技术。r/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表压传感器，其特征在于，包括：壳体；将壳体内腔分隔为第一腔和第二腔的分隔组件，分隔组件上设有连通第一腔和第二腔的通孔，第二腔通过壳体的纵向一侧开设的表压孔(19)连通至壳体的外部；所述表压孔(19)处安装有防水透气膜(20),防水透气膜(20)安装于表压孔(19)的内侧一端；压力芯片(12)，其压力感测面从第二腔的所述纵向一侧的相对侧封堵所述通孔；设置于第二腔内并与压力芯片(12)连接的电路板(13)；及连接于壳体的所述纵向一侧并连通至第二腔的压力接头管(3)。2.根据权利要求1所述的表压传感器，其特征在于，，防水透气膜(20)与所述壳体内壁之间设有垫高框(21)，和/或壳体上设有一圈位于所述防水透气膜(20)周围的围挡和/或隔胶槽。3.根据权利要求2所述的表压传感器，其特征在于，所述表压孔(19)为两个，两个所述表压孔(19)之间沿垂直于纵向的第一方向排列。4.根据权利要求1所述的表压传感器，其特征在于，所述壳体内固定有多个鱼眼插针，电路板(13)上对应设有多个插针孔(14)，鱼眼插针的一端对应卡接于多个插针孔(14)内。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小平，曹万，张超军，梁世豪，洪鹏，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：