一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座以及设置于基座上的操作台，还包括设置于基座后侧的电动伸缩设备以及可跟随电动伸缩设备伸缩而上下移动的上真空罩，所述上真空罩上设置有恒温机构，通过第二环形管道利用轮齿与电机啮合连接，利用电机带动第二环形管道转动，而第二环形管道通过竖杆带动第一环形管道转动，并且利用两个对称开设的开口进行进出水，并且随着第一环形管道和第二环形管道的持续转动实现进出水位置的循环变换，使本设备的隔热更加的均匀且效果较好，并且不会出现进出口温度差的情况发生，不会出现涂层不均匀的情况发生。不会出现涂层不均匀的情况发生。不会出现涂层不均匀的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构


[0001]本技术属于金刚石涂层设备领域，具体涉及一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构。

技术介绍

[0002]传统的CVD金刚石涂层设备用的隔热真空罩实用过程中，需要在对上真空罩内外进行较好的隔热的情况下也要起到较好的保温效果，传统均利用材质本身的物理特性或者单纯的降温液进行持续导热，其隔热恒温效果均不加，材质本身受局限而液体导热降温隔热进出口的温度有差异，会影响涂层效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，以解决传统的CVD金刚石涂层设备用的隔热真空罩使用过程中，需要在对上真空罩3内外进行较好的隔热的情况下也要起到较好的保温效果，传统均利用材质本身的物理特性或者单纯的降温液进行持续导热，其隔热恒温效果均不加，材质本身受局限而液体导热降温隔热进出口的温度有差异，会影响涂层效果的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座以及设置于基座上的操作台，还包括设置于基座后侧的电动伸缩设备以及可跟随电动伸缩设备伸缩而上下移动的上真空罩，所述上真空罩上设置有恒温机构；
[0005]所述恒温机构包括设置于上真空罩上的下真空罩，所述下真空罩上设置有转动组件，所述转动组件外接恒温输液机构；
[0006]所述转动组件包括设置于下真空罩上下两端的第一环形管道和第二环形管道且均通过密封轴承与下真空罩转动连接，所述第一环形管道和第二环形管道上均开设有开口且两个开口对称开设，所述第一环形管道和第二环形管道之间固定连接有竖杆。
[0007]优选的，所述第一环形管道顶部设置有中转盒子，所述中转盒子与恒温输液机构相连接。
[0008]优选的，所述恒温输液机构包括与中转盒子固定连接且相连通的液体输送管，所述液体输送管外接输液泵。
[0009]优选的，所述第二环形管道外侧加工有轮齿，所述基座上设置有电机且电机的输出轴上固定设置有齿轮与第二环形管道上的轮齿啮合连接。
[0010]优选的，所述电动伸缩设备与上真空罩之间固定连接有连接杆，所述上真空罩上设置有功能凸管。
[0011]本技术的技术效果和优点：通过第二环形管道利用轮齿与电机啮合连接，利用电机带动第二环形管道转动，而第二环形管道通过竖杆带动第一环形管道转动，并且利用两个对称开设的开口进行进出水，并且随着第一环形管道和第二环形管道的持续转动实
现进出水位置的循环变换，使本设备的隔热更加的均匀且效果较好，并且不会出现进出口温度差的情况发生，不会出现涂层不均匀的情况发生。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的图1中A部局部放大图；
[0014]图3为本技术的转动组件立体图。
[0015]图中：1、电动伸缩设备；2、连接杆；3、上真空罩；4、功能凸管；5、电机；6、基座；7、操作台；8、液体输送管；9、转动组件；901、第一环形管道；902、第二环形管道；903、竖杆；904、开口；10、轮齿；11、下真空罩；12、中转盒子。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]本技术提供了如图中所示的一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座6以及设置于基座6上的操作台7，还包括设置于基座6后侧的电动伸缩设备1以及可跟随电动伸缩设备1伸缩而上下移动的上真空罩3，上真空罩3上设置有恒温机构；
[0018]恒温机构包括设置于上真空罩3上的下真空罩11，下真空罩11上设置有转动组件9，转动组件9外接恒温输液机构；
[0019]转动组件9包括设置于下真空罩11上下两端的第一环形管道901和第二环形管道902且均通过密封轴承与下真空罩11转动连接，第一环形管道901和第二环形管道902上均开设有开口904且两个开口904对称开设，第一环形管道901和第二环形管道902之间固定连接有竖杆903。
[0020]具体的，第一环形管道901顶部设置有中转盒子12，中转盒子12与恒温输液机构相连接。
[0021]具体的，恒温输液机构包括与中转盒子12固定连接且相连通的液体输送管8，液体输送管8外接输液泵。
[0022]具体的，第二环形管道902外侧加工有轮齿10，基座6上设置有电机5且电机5的输出轴上固定设置有齿轮与第二环形管道902上的轮齿10啮合连接。
[0023]具体的，电动伸缩设备1与上真空罩3之间固定连接有连接杆2，上真空罩3上设置有功能凸管4。
[0024]工作原理：在使用本技术时，通过上真空罩3上的下真空罩11，利用液体输送管8将隔热降温液体输入至中转盒子12处且利用中转盒子12传输至第一环形管道901内部，然后将上真空罩3和下真空罩11利用电动伸缩设备1输送至基座6上，然后第二环形管道902利用轮齿10与电机5啮合连接，利用电机5带动第二环形管道902转动，而第二环形管道902通过竖杆903带动第一环形管道901转动，并且利用两个对称开设的开口904进行进出水，并且随着第一环形管道901和第二环形管道902的持续转动实现进出水位置的循环变换，使本
设备的隔热更加的均匀且效果较好，并且不会出现进出口温度差的情况发生，不会出现涂层不均匀的情况发生。
[0025]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD金刚石涂层设备用隔热真空罩结构，包括基座(6)以及设置于基座(6)上的操作台(7)，还包括设置于基座(6)后侧的电动伸缩设备(1)以及可跟随电动伸缩设备(1)伸缩而上下移动的上真空罩(3)，其特征在于：所述上真空罩(3)上设置有恒温机构；所述恒温机构包括设置于上真空罩(3)上的下真空罩(11)，所述下真空罩(11)上设置有转动组件(9)，所述转动组件(9)外接恒温输液机构；所述转动组件(9)包括设置于下真空罩(11)上下两端的第一环形管道(901)和第二环形管道(902)且均通过密封轴承与下真空罩(11)转动连接，所述第一环形管道(901)和第二环形管道(902)上均开设有开口(904)且两个开口(904)对称开设，所述第一环形管道(901)和第二环形管道(902)之间固定连接有竖杆(903)。2.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石涂...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁根河，
申请(专利权)人：上海迪那科膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：