对于基板的导电图案形成装置和导电图案形成方法制造方法及图纸

一种从预先形成了导电图案前体的构件在目的基板上形成导电图案的导电图案形成方法，其特征在于：　　　　将在上述构件上形成的导电图案前体暂时转印到在上面形成了粘接层的导电图案保持基板上，其后将上述导电图案前体和上述粘接层从上述导电图案保持基板转印到目的基板上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在印刷基板上形成导电图案的导电图案形成装置和 导电图案形成方法。
技术介绍
由于能简便地形成导电图案，故迄今为止大多采用了用网板印刷 法或分配器、喷墨印刷、电子照相印刷等的印刷工艺形成导电图案的 方法。在这些导电图案形成方法中，使用了使导电性粒子分散在溶剂 中的导电微粒子分散液或使树脂中含有导电材料的调色剂。而且，在 利用涂敷或静电吸附形成目的的图案并进行了加热烧结后，使粒子相 互间熔接以实现导体化，形成了布线。在专利文献l中记栽了在基板表面上形成导电性图案的例子。在 该/〉报中记载的布线基板的形成方法中，为了减少由导电性油墨形成 的导体布线的断线或从基板的剥离，准备含有若经过规定的温度经历 就对导体布线呈现粘接性的树脂制组成物的基板，在该基板的表面上 涂敷导电性油墨。然后，根据规定的温度经历，加热和冷却由基板和 导电性油墨形成的导电膜图案，对基板赋予粘接性。由此，将导电膜 图案转化为导体布线。在专利文献2中记栽了在基板表面上形成导电性图案的另一个 例子。在该公报中记栽的布线图案形成方法中，为了在多种多样的基 板材料上以高的描画精度作成布线图案，在耐热性方面优良的可挠性 的膜的转印片表面上形成剥离层。而且，在该剝离层的表面上用网板 印刷法或喷墨印刷并用金属纳米粒子分散液描画微细的布线图案。其 后，加热并烧结布线图案。另一方面，在被转印基板上涂敷粘接层， 在其上贴合了转印片后，进行压接和加热，将布线图案从转印片转印到了被转印基板上，专利文献1特开2005 - 347571公报专利文献2特开2004 - 247572公报在用上述印刷工艺形成导电图案的方法中，由于不使用抗蚀剂， 此外也不包含刻蚀工序，故在材料利用效率这方面是有利的。但是， 为了对于作为布线形成材料的导电油墨或调色剂赋予与基板的粘接 性，在油墨的情况下，使树脂成分分散在油墨中，在调色剂的情况下， 使树脂中含有导电材料。而且，由于在图案形成后加热烧结油墨或调 色剂，故在由粒子的加热烧结实现导体化时，在油墨或调色剂中包含 的树脂成分使导体的电阻值上升.此外，在专利文献1中记栽的在基板表面上形成导电性图案的方 法中，在目的基板上形成了导电粒子图案后，必须最低约在150~ 200'C下加热烧结该目的基板，目的基板限于具有耐热性的基板。因 而，不能使用只容许低温的目的基板，导致成本的上升和减少基板选 择的灵活性。在专利文献2中记载的在基板表面上形成导电性图案的方法中， 在将布线图案粘接到了目的基板上后，必须剥离转印片基体材料。其 结果，有必要在暂时形成导电图案的转印片表面上形成硅酮树脂、氟 树脂的涂敷薄膜以便能容易地剥离基体材料。在转印片上形成导电图 案的工序、加热烧结已形成的图案的工序、将转印片粘接到目的基板 上的工序中，在转印片表面上的导电图案的保持力下降。作为结果， 存在产生图案的破坏、剥离的危险。再有，在利用静电力将布线材料构图为静电潜像时，在使用静电 转印时基板、转印片的厚度越厚，越有必要施加高的电压，转印电压 容易变得不充分，在该情况下，引起转印效率的下降、转印图像的解 像度下降。此外，在目的基板不是片状而是块状的情况下，从物理上 说，不可能从背面一侧施加转印电庄，
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述现有技术的缺点而进行的，其目的在于不提高 导电图案的电阻值而使导电图案与其基板的密接强度提高。本专利技术的 另一目的在于在电子照相方式中只通过施加低电压就能高效率地形成高解像度的导电图案。本专利技术的又一目的在于能在缺乏耐热性的基 板上形成导电图案。用于达到上述目的的本专利技术的特征是，在从预先形成了导电图案 前体的构件在目的基板上形成导电图案的导电图案形成方法中，将在 构件上形成的导电图案前体暂时转印到在上面形成了粘接层的导电 图案保持基板上，其后将导电图案前体和粘接层从导电图案保持基板 转印到目的基板上，而且，在该特征中，较为理想的是，构件是电介质薄膜体，导电 图案保持基板具有基体材料、在该基体材料的上面形成的导电基底层 和在该导电基底层的上面形成的粘接层，在形成导电图案前体时，对 电介质薄膜体供给导电性粒子分散溶液以形成导电图案前体，对导电 图案保持基板通电以便将所形成的导电图案前体转印到导电图案保 持基板上，其后加热导电图案前体，在导电图案保持基板上形成导电 图案。用于达到上述目的的本专利技术的另一特征是，在预先在构件表面上 形成导电图案前体并从该构件在目的基板上形成导电图案的导电图案形成装置中具备在构件的上面作成图案的单元；对该图案供给导 电性粒子分散溶液以形成导电图案前体的单元；对形成了粘接层的导 电图案保持基板通电以便暂时转印在构件上形成的导电图案前体的 单元；加热已转印的导电图案以形成导电图案的单元；以及从导电图 案保持基板剥离导电图案和粘接层并转印到目的基板上的单元。用于达到上述目的的本专利技术的另 一特征是，在使用导电性材料在 目的基板上形成导电性图案的对于基板的导电图案形成方法中，预先 利用导电性材料形成导电图案前体，在导电闺案保持基板的导电基底 层的上面形成的粘接层的表面上暂时保持该导电困案前体，其后加热 导电图案前体作成导电图案，将已作成的导电图案和粘接层转印到目的基板上.而且，在该特征中，较为理想的是，在导电图案保持基板的粘接 层的表面上暂时保持导电图案前体时，在粘接层的表面上对导电性材 料进行构图或将预先作成的导电图案前体转印到粘接层的表面上。此 外，也可预先利用导电性材料形成导电图案前体，在导电图案保持基 板的粘接层的表面上暂时保持该导电图案前体时，在电介质薄膜表面 上形成静电潜像，其后对该电介质薄膜供给导电性粒子分散溶液，用 导电粒子对静电潜像进行显影以形成导电图案前体，用静电力将在电 介质薄膜上形成的导电图案前体转印到导电图案保持基板的粘接层 面上。再者，较为理想的是，在导电图案保持基板上暂时保持导电图 案前体时，对该保持基板具有的导电层施加电压。在上述特征中，较为理想的是，在用导电性材料形成导电图案前体时，^吏用喷墨印刷和分配器、网板印刷、凸版印刷、凹版(gravure)印刷、平版(苯胺)印刷中的至少某一种来形成。导电性材料最好是通过加热或加压实现导体化的、将导电性粒子分散在液体中的导电性粒子分散溶液。在导电性粒子分散溶液中分散的导电性粒子的粒径最 好小于等于100nm。此外，更为理想的是，在导电性粒子分散溶液中的导电性粒子在表面上具有离子性有机分子，使其分散在无极性溶剂中。在上述特征中，较为理想的是，在将导电图案从导电图案保持基 板转印到目的基板上时，在将导电图案粘接到了目的基板上后剥离导 电图案保持基板具有的基体材料，导电图案保持基板在基体材料上 具有导电基底层，以剥离面成为导电图案保持基板的基体材料与导电 基底层的界面或导电基底层与粘接层的界面的方式来剥离。再者，希 望粘接层具有通过加热而固化的热固化性树脂。按照本专利技术，不提高所得到的导电图案的电阻值而能提高导电图 案与其基板的密接强度。特别是在电子照相方式中，可降低施加电压， 能以高效率、高解像度转印导电图案。再者，如果使用导电闺案保持 基板形成导电图案，则即使是缺乏耐热性的基板，也能形成导电图案。附图说明图l是与本专利技术有关的导电图案形成方法的一实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种从预先形成了导电图案前体的构件在目的基板上形成导电图案的导电图案形成方法，其特征在于：将在上述构件上形成的导电图案前体暂时转印到在上面形成了粘接层的导电图案保持基板上，其后将上述导电图案前体和上述粘接层从上述导电图案保持基板转印到目的基板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野雄一朗，宮坂徹，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP