【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及图像绘制方法、图像绘制装置以及校正方法，尤其涉及关 于对用作多层基底的感光材料进行曝光的图像绘制方法、图像绘制装置、 图像绘制系统以及校正方法。
技术介绍
通常，在对工件，例如其上涂敷或层压感光材料或进行类似处理的基底，进行扫描曝光的曝光装置中，为了精确地调整在X-Y方向上相对于工 件的曝光位置，在工件处提供并作为曝光位置参照的对准(alignment)标记 被对准相机，如CCD相机或类似物，在曝光进行之前拍摄下来。将曝光位 置调整到正确位置的对准基于拍摄获得的标记测量位置(参考位置数据) 进行。具有不同的对准标记大小和不同的对准标记位置的多种类型的工 件，是曝光装置的曝光对象。因此，设定该对准相机的结构，以使得即使 在对准标记的位置在垂直于扫描方向上变化时，仍能进行拍摄。例如，该 对准相机由导轨或类似装置引导，所述导轨或类似装置沿着垂直于扫描方 向的方向(X方向)延伸，并且，该对准相机由驱动机构，如滚珠丝杠或 类似物驱动，可移动到或定位于曝光对象的X方向尺寸的整个范围中的任 意位置。然后，该对准相机的位置由某个位置检测部分，如线性刻度尺或 类似物...
【技术保护点】
一种图像绘制装置的校正方法，其基于通过读取在对象处所提供的位置参考标记或图样获取的参考位置数据，在对象上进行对准，并且在沿着扫描方向移动对象的同时，根据图像数据在对象上进行图像绘制，所述方法包括：进行第一次校正，相对对象的变形校正图像绘制位置；并且进行第二次校正，相对对象的位置校正图像绘制位置，其中，第一次校正在第二次校正之前进行。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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