内埋电容元件结构及其制造方法技术

技术编号:3722160 阅读:194 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是有关于一种内埋电容元件结构及其制造方法。该内埋电容元件结构包括:介电层、第一导电层、第二导电层、第一嵌板以及第二嵌板。其中介电层具有一厚度。第一导电层位于介电层的一侧,且具有第一电性。第二导电层位于介电层上相对于第一导电层的另一侧,且具有第二电性。第一嵌板嵌设于介电层之中,与第一导电层电性连结。第二嵌板嵌设于介电层之中,与第二导电层电性连结,且与第一嵌板相距有一段距离。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种内埋电容元件结构,其特征在于包括:一介电层,具有一厚度;一第一导电层,位于该介电层的一侧,其中该第一导电层具有一第一电性;一第二导电层,位于该介电层上相对于该第一导电层的另一侧,其中该第二导电层具有一第二电性;一第一嵌板,嵌设于该介电层之中,与该第一导电层电性连结;以及一第二嵌板,嵌设于该介电层之中,与该第二导电层电性连结,且与该第一嵌板相距有一距离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王永辉欧英德洪志斌
申请(专利权)人:日月光半导体制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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