基板搬运机构制造技术

在现有的搬运带载体的搬运机构中，无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持搬运的手柄式滚轮搬运机构、还是夹住带的里外面进行搬运的夹板机构，都会对带表面产生损伤。本发明专利技术提供一种基板检测器的搬运机构，滑动搬运部６Ａ、６Ｂ中的吸附垫２５、３０交互地吸附保持在带状基板５的里面，并从搬运方向的上游向下游移动；通过进行该连续的交互往复移动，使带状基板５在搬运方向上从上游侧向下游侧移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板搬运机构，用来搬运对于在由树脂材料构成 的带状基板上所形成的配线进行电气检査的基板检测器等。
技术介绍
一般地，在半导体极板上形成的多个集成电路，每一个芯片 '7 7)都分开组装。所组装的元件，安装于印刷配线基板而被插入到 产品上。作为这种印刷配线基板，众所周知，是种具有可挠性的树脂制基板(柔性基板)。例如TAB (Tape Automated Bonding)、 TBGA (Tape Ball Grid Array ) 、 CSP ( Chip Scale Package ) 、 COF ( Chip On Film )等各种安装技术，就可以采用由聚酰亚胺等树脂材料所形成的较长的 带状裸基板。作为带状裸基板，若为公知的TAB,则称作带载体。 一般的带载 体的宽度有35mm、 48mm、 70mm等。形成由基座、黏合剂以及导体 构成的三层结构。但是，也有不使用黏合剂的2层结构或具有更多层 结构的带状裸基板。带载体(TAB带)因为较长， 一般采用巻绕在巻 轴上的形式，进行向检査装置和安装装置的安装以及工序间的交接。此外，同样的，用于公知的COF上的较长带状裸基板，例如，由 聚酰亚胺和铜的两层薄膜构成，用于装配一个元件芯片的安装区域(开 衩状的结合空间部分)所形成的部分沿着较长方向移动，成列状配置 为多列。该安装区域中，多个内部引线(连接用电极)配置为向结合 空间部分突出，安装时，在该电极部分连接芯片的突出部。在该安装 区域周围，设有用于与外部的电路元件之间进行信号交换的信号配线、 和PCB连接部(输入侧外部引线)/LCD连接部(输出侧外部引线) 的电极(或垫座)，用于进行带电检査(断路或短路等)。这带状裸基板的搬运，以巻绕在专用巻轴上的形式，安装在检 査装置和安装装置上，运到处理部(检查部或结合部)。作为该种搬运方式，例如，如专利文件1的记载，有一种利用设置在带载体宽度方 向上的两外侧上的穿孔(或传送孔)的产品，该带载体的穿孔嵌合于 装置侧链轮的突起部(齿部)，随着链轮的旋转而送出，从而应用于搬 运。另外，作为将芯片进行结合组装时的准确地定位的方法，在带载 体上做记号的同时，也利用穿孔。另外，在专利文件2中，公开了手柄式滚轮搬运机构。该机构使用下方定位块引导带载体宽度方向的两端，采用设在两侧的两对弹性滚轮夹住带载体并使其旋转，例如，手柄式滚轮搬运机构搭载在图6 所示的基板检测器上。该基板检测器中，在装置本体70两侧设置的支 持支架上，安装有自由旋转的带送出巻轴71及带巻入巻轴72。巻绕在 带送出巻轴71上的带载体74向搬送路径送出，使用电流检査部75进 行检査，其结果显示在监视器上。在搬运路径上配置多个用于进行带 载体74的搬运以及导向的滚轮。在这些滚轮内设有多个夹持带载体74 的滚轮对73，其中至少有一对具有驱动系统。在图6中，设在搬运路 径上游侧的滚轮对71、 82具备驱动机构。如图7所示，该结构对在搬 运导向部85上搬运引起的摆动进行导向，使带载体74在导向轨道86 上移动。将带载体74从内外侧用驱动滚轮81和按压滚轮82夹住，通过利 用电动机84使驱动滚轮81旋转来搬运带载体74。该手柄式滚轮搬运 机构结构简单且便宜，可以较容易地实现运转速度的变化和高速化。 另外，在带载体宽度方向的两侧具有用于夹住带内外侧的夹板机构。 该夹板机构分别通过滑动机构沿着带载体的搬运方向滑动。夹住带的 内外侧且在搬运方向上滑动，断续地搬运带载体。该夹板搬运机构的 带载体不会滑脱，通过夹板实现精确的搬运。专利文件l:实开平5-33530号公报。专利文件2:特开2006-190881号公报。
技术实现思路
上述的各搬运机构，为通过链轮使穿孔移动的机构，其中，穿孔 在有张力存在的工作中，因为嵌合或脱离链轮而受到较大的损伤。特别的，安装装置在安装芯片时作为定位的重要部位处理的情况下，使用安装工序前的基板用检测器对配线进行电气检查，通过穿孔 进行搬运。如果损伤到穿孔的话，安装时会产生位置偏离，而产生安 装误差。另外，上述的手柄式滚轮搬运夹住较长的带状裸基板如带载体74 的内外侧，通过旋转进行搬运。因此，结构简单且可便于控制搬运速度的高低。但是，因为搬运时在带载体74的宽度方向上两端的内外侧 施加了使两个滚轮不滑动程度的压力而夹持，造成了带载体74表面的 摩擦，使其表面出现损伤，有损伤穿孔的危险。同样地，即使通过夹板机构进行带载体的搬运，因为是接触到带 载体宽度方向两端的内外侧而夹持，会使表面产生损伤，有损伤穿孔 的危险。因此，本专利技术以提供一种基板用检测器的搬运机构为目的。该结 构不接触到较长的带状裸基板的表面及两端的穿孔，并吸附在带状裸 基板的内侧使其移动，可防止对基板表面及两端的损伤，而且没有搬 运误差，能够正确的进行搬运。为了实现上述目的，本专利技术提供一种搬运装置，其具备以下结构: 吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；滑动搬运部，将 吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附 保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；升降机构，搭载上述 滑动搬运部、在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫 返回到搬运方向上游时下降。根据本专利技术，可以提供一种基板搬运机构不接触到较长的带状 基板的表面及两端，而吸附在带状基板的内侧并使其移动，防止基板 表面及两端的损伤，另外，通过吸附保持而消除因滑动而产生的搬运 偏差，从而能够正确的进行搬运。附图说明图1是表示从正面观看搭载第一实施方式所述的搬运机构的较长 带状裸基板用检测器(基板检测器)的外观构成示意图。图2 (a)、 (b)是表示第一实施方式所述的搬运机构的概况结构示意图。图3(a)是表示从搬运途径下侧观看的概况结构示意图，图3(b)是搬 运机构内部结构示意图。图4(a) (d)是用于说明第一实施方式所述的搬运机构的搬运动作 的示意图。图5(a) (d)是第二实施方式所述的搬运机构的概况结构示意图。 图6是从正面观看搭载现有的手柄式滚轮的搬运机构较长带状基 板用检测器的外观结构示意图。图7是现有的手柄式滚轮搬运机构的详细结构示意图。符号说明 1基板检测器 2装置本体 3带送出巻轴 4带巻绕巻轴5带状基板(较长的带状裸基板)6搬运机构6A、 6B滑动搬运部7电流检查部8操作面板9监视器IONG标示单元ll信号塔12脚部13、 14、 15、 16支持滚轮17、 18、 19、 20、 21、 22、 27、 28导向部23气缸部24滑动部A25、 30吸附垫 25a、 30a底座部26、 31孔27、 28、 29滑动部B33搬运导向部 34轨道部 35、 37吸气管 36吸引泵 38切换阀具体实施方式下面参照附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。图1表示从正面看较长带状裸基板用检测器(称为基板检测器) 的外观结构。其，该较长带状裸基板用检测器搭载有第一实施方式所 述的基板搬运机构。该基板检测器1在装置本体2的两侧安装有自由旋转的带送出巻 轴3以及带巻入巻轴4。从带送出巻轴3送出的较长带状裸基板(以下 称作带状基板)5通过后述的搬运机构6沿着指定的搬运途径搬运进而 被带巻入巻轴4巻绕。另外，在带送出巻轴3以及带巻入巻轴4上设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬运机构，其特征在于，具有：　　　　吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；　　　　滑动搬运部，将吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；　　　　升降机构，搭载上述滑动搬运部，在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫返回到搬运方向上游时下降。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：前山行成，山冈秀嗣，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]