电磁波屏蔽板的制造方法，所述方法是在单面具有金属层的透明基材的所述金属层上通过印刷法形成树脂层的图案，以所述树脂层作为蚀刻掩模，蚀刻所述金属层后，除去所述树脂层中从残留的金属层在板表面方上突出的部分。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于等离子体显示面板(PDP)、阴极射线管(CRT) 等产生电磁波的图像显示部等的透明电磁波屏蔽板(shielding sheet)及 其制造方法、使用该电磁波屏蔽板的滤波器(filter)、显示器。
技术介绍
近年来，由于由电器产品产生的电磁波对各种精密仪器、计量仪 器、数字机器类造成电波干扰，或给人体带来影响，所以，相关规定 逐渐严格。因此，电磁波排放已逐渐受法律限制，例如，有VCCI(民 间电》兹干4尤控制委员会(Voluntary Control Council for Interference by data processing equipment electronic office machine ))只于电石兹〉皮才非》文的 规定。因此，在从图像显示部向装置外释放特别强的电磁波的PDP中， 将透光性电磁波屏蔽板与具有防反射或近红外线屏蔽等其他功能的 板合在一起作为前面滤波器直接安装到图像显示部，或者安装到用于 前面滤波器的玻璃或塑料等制成的透明基板上，然后设置到图像显示 部，屏蔽电磁波，从而使PDP遵守上述规定。目前，作为上述透光性电磁波屏蔽板，提出经以下工序得到的电 磁波屏蔽板，所述工序如图2所示，在透明基材1上通过粘合层2层合 铜箔等金属层3后(a),贴合抗蚀剂膜6，利用包括曝光、显影(b)、 蚀刻(c)、剥离抗蚀剂(d)的光刻法在透明基材上设置形成了图案 的导电性金属层(专利文献l)。作为在透明基材上设置形成了图案的导电性金属层的其他方法， 还提出以下方法通过丝网印刷法或胶版印刷法进行蚀刻，形成抗蚀 剂图案，然后，蚀刻导电性金属层，最后剥离抗蚀剂的方法(专利文献2、专利文献3)。但是，使用层合在透明基材上的导电性金属层，制造透光性电磁 波屏蔽板的光刻法，虽然能同时毫无问题地形成能确保电磁波屏蔽性 和良好的透光性的细线图案，但是为了不使对比度等图像品质劣化， 必须使用对单面及/或两面进行了黑化处理的铜箔作为导电性金属层， 导致成本上升。另外，光刻法工序复杂且工期长，不能满足低成本化的市场要求。此外，还提出了以下方案为了同时满足电磁波屏蔽性 和显示器画面的可见性，在形成了图案的导电金属层上层合黑色抗蚀 剂层，不剥离黑色抗蚀剂，使其残留(专利文献4)，但由于该方案 最终也是利用光刻法，所以不能说是一种能满足低成本化的市场要求 的方法。另 一 方面，利用丝网印刷或胶版印刷形成透光性电磁波屏蔽板的 蚀刻图案的方法，能以简易的装置和简单的工序形成图案，且能在具 有影响对比度性能的金属光泽的导电性金属层上直接形成黑色树脂 层，从而能抑制晃眼感。因此，可以说是一种能充分满足低成本化的 市场要求的工序。但是，上述印刷法难以印刷高精细的线宽，难以形 成在网状图案不可见性方面优选的20(im以下的细线图案。而且，得 到的电》兹波屏蔽才反在透光性方面也存在问题。专利文献l:专利第3388682号7>才艮专利文献2:特开2000 - 315890号/>才艮专利文献3:特开2000 - 323889号/>才艮专利文献4:特开平9 - 293989号^>才艮
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够以低成本制造电磁波屏蔽性、透 光性及网状图案不可见性优良的电磁波屏蔽板的方法。本专利技术为了解决上述课题，具有下述(1 ) (6)的特征。 (1)电磁波屏蔽板的制造方法，所述方法通过印刷法在单面具 有金属层的透明基材的所述金属层上形成树脂层的图案，以所述树脂层作为蚀刻掩模蚀刻所述金属层后，除去上述树脂层中从残留的金属 层在板表面方向上突出的部分。(2) 如上述(1 )所述的电磁波屏蔽板的制造方法，其中，利用 粘合材料或超声波除去从所述金属层突出的部分。(3) 如上述(2)所述的电磁波屏蔽板的制造方法，其中，利用超声波除去从所述金属层突出的部分时，将上述透明基材浸渍在液体内。(4) 利用上述(1 ) (3)中任一项所述的方法制造的电磁波屏敝板。(5) 具有上述(4)所述的电磁波屏蔽板和防反射层的滤波器。(6) 具有上述(5)所述的滤波器的显示器。根据本专利技术，能提供一种透光性电磁波屏蔽板，所述电磁波屏蔽 板能够在透明基材上层合形成了细线图案的金属层、进而在金属层上 层合树脂层，所以，具有良好的电磁波屏蔽性和透光性，且不使对比 度和云紋(moire)等图像品质劣化。另外，在本专利技术中，制造电磁 波屏蔽板时，如图1所示，在单面具有金属层3的透明基材1 (a)的所 述金属层3上，通过印刷法形成树脂层4的图案(b),通过化学蚀刻， 蚀刻该金属层3后(c),除去树脂层4中从残留的金属层3在板表面方 向上突出的部分5(d)，由此能够通过印刷法等低成本方法形成由金 属层及树脂层组成的细线网状图案，进而能制造网状图案不可见性优 良的电磁波屏蔽板。另外，由于在金属层上形成树脂层，所以，制造 时不易损伤透明基材的未形成金属层的表面。而且，在贴合其他材料 的工序等中也不易损伤其他基材。具体实施例方式本专利技术的电磁波屏蔽板的制造方法通过印刷法在单面具有金属 层的透明基材的所述金属层上形成树脂层的图案，以树脂层为蚀刻掩 模，蚀刻金属层后，除去树脂层中从残留的金属层在板表面方向上突 出的部分。即，通过在过度蚀刻的条件下进行蚀刻，能得到与作为蚀刻掩模的树脂层相比线宽更细的金属层图案。然后，通过除去树脂层 中从残留的金属层在板表面方向上突出的部分，能使树脂层的线宽与 金属层的线宽一致。结果，如图l (d)所示，能够得到网状图案不可 见性优良的电磁波屏蔽板，所述电磁波屏蔽板在透明基材l上具有由导电性金属层3形成的细线图案(线宽w例如为3nm 25pm),在该金 属层3上具有由树脂层4形成的同线宽的细线图案。在现有的光刻法、 印刷法中，必须用抗蚀剂剥离液剥离在蚀刻时用作掩模的抗蚀剂层， 但在本专利技术中，只需要除去树脂层4从残留的金属层3在板表面方向上 突出的部分即可，其他部分基本上不需要除去。所以，能以低成本制 造电磁波屏蔽性、透光性、及网状图案不可见性优良的电磁波屏蔽板。作为透明基材l的材料，可以举出玻璃、塑料等，无特别限定， 从操作性方面考虑，优选能形成巻物状态的塑料膜。作为塑料膜，例 如，可以举出将以下树脂进行熔融或溶液制膜而形成的塑料膜，所述树脂包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(以下记为PET)、聚萘二曱酸乙二 醇酯等聚酯类树脂、丙烯酸类树脂、聚碳酸酯树脂、或聚丙烯、聚乙烯、聚丁烯、聚曱基戊烯等聚烯烃类树脂、或三乙酰基纤维素、二乙 酰基纤维素等纤维素类树脂、聚氯乙雄类树脂、聚酰胺类树脂、聚苯 乙烯类树脂、聚氨酯类树脂、聚砜类树脂、聚醚类树脂、聚丙烯腈类 树脂等。其中，从透明性、耐热性、耐化学药品性、成本等方面考虑， 最优选PET膜。透明基材1可以使用由上述塑料膜单独或2种以上的混合物构成 的单层膜或2层以上的层合膜等，优选透明基材1的全光线透射率为85o/o以上。透明基材l的厚度可以根据用途进行选择，无特别限定。本专利技术 的电磁波屏蔽性显示器被用作普通的光学滤波器时，透明基材l的厚 度优选为25(im以上，进一步优选为50pm以上。作为上限，优选为 250pm以下，进一步优选为150pm以下。为了在透明基材上设置金属层本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：渡边修，吉冈忠司，后藤一起，上羽功纯，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：
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