基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器制造技术

本申请公开了一种基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器，涉及压电电机技术领域，包括定子、导轨、驱动机构和动转子四部分，所述滑动导轨包括导轨A和导轨B，所述导轨A和导轨B对称设置在柔性机构下表面上，所述导轨A、导轨B和柔性机构下表面构成导轨滑槽，所述定子装配于所述导轨滑槽内，所述驱动机构包括柔性机构、压电陶瓷A和压电陶瓷B，所述柔性机构包括动转子安装座、板型柔性铰链、正圆型柔性铰链和柔性安装框。本发明专利技术利用两个压电陶瓷的逆压电效应，推动柔性机构产生周期性形变，进而带动动转子产生直线位移和旋转角位移输出，从而实现直线

【技术实现步骤摘要】
基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器


[0001]本专利技术属于压电电机
，具体涉及一种基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器。

技术介绍

[0002]随着单自由度压电执行器在航空航天、光学仪器、生物医疗、集成电路等
应用潜力的逐渐显现，多自由度压电执行器也成为众多科研工作者研究的热点。传统的多自由度执行器主要以电磁电机为驱动力，此种驱动方式定位精度偏低且存在电磁干扰。与传统的多自由度执行器相比，基于压电材料逆压电效应的多自由度压电执行器存在结构简单、快速响应、高精度、无磁场干扰等诸多优点。此外，传统的多自由度执行器需多个零件共同配合，控制难度大，通过机械结构实现动力输出的微型执行器成本造价高。

技术实现思路

[0003]本专利技术是针对传统多自由度执行器结构复杂占地空间大、易存在电磁干扰、控制难度复杂，通过机械结构实现动力输出的微型执行器成本造价高等问题。现提出一种基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器，其是根据步进原理采用压电陶瓷作为驱动单元，可以实现沿导轨方向的直线运动和绕动转子转轴的旋转运动，可以通过调整调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器，其特征在于，包括定子（6）、滑动导轨、驱动机构和动转子（7）；所述滑动导轨包括导轨A（5）和导轨B（11），所述导轨A（5）和导轨B（11）对称设置在柔性机构（8）下表面上，所述导轨A（5）、导轨B（11）和柔性机构（8）下表面构成导轨滑槽，所述定子（6）装配于所述导轨滑槽内；所述驱动机构包括柔性机构（8）、压电陶瓷A（3）和压电陶瓷B（9），所述柔性机构（8）包括动转子安装座（14）、板型柔性铰链（15）、正圆型柔性铰链（16）和柔性安装框（19），所述柔性安装框（19）的一端内侧安装有两对板型柔性铰链（15），每对板型柔性铰链（15）组成一个压电陶瓷安装槽，两对板型柔性铰链（15）分别通过一个正圆型柔性铰链（16）与动转子安装座（14）相连，所述动转子（7）安装于所述动转子安装座（14）上。2.根据权利要求1所述的基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器，其特征在于，两个压电陶瓷安装槽关于柔性机构（8）的中轴线对称分布，且分别位于动转子安装座（14）的两侧。3.根据权利要求2所述的基于压电驱动的集成式两自由度步进执行器，其特征在于，所述柔性机构（8）由一整块弹性金属材料整体加工而成。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王书鹏，周士辉，刘欣，常通，贾晓敏，张晓龙，潘家良，姚圳，张志辉，任露泉，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：