一种有害气体处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种有害气体处理设备，包括水箱、位于水箱顶部一侧的催化燃烧反应炉以及位于水箱顶部另一侧的处理管，催化燃烧反应炉与水箱固定连接且两者相连通，催化燃烧反应炉顶部设置有进气管，催化燃烧反应炉内部设置有等离子火焰头，处理管内设置有喷淋组件，喷淋组件与水箱之间设置有循环组件，处理管的出气口处连接有排气管，排气管的出气端设置有检测箱，通过设置的的检测箱和有害气体检测传感器，通过有害气体检测传感器对处理后的气体进行检测，处理后的气体达到排放标准时直接排放，处理后的气体达不到排放标准时进行二次处理，提高有害气体的处理效果，充分回收处理有害气体，最大程度降低对环境的污染，更加环保、安全。安全。安全。

【技术实现步骤摘要】
一种有害气体处理设备


[0001]本技术涉及半导体生产的废气处理
，具体为一种有害气体处理设备。

技术介绍

[0002]工艺废气处理设备既属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块如：化学气相沉淀、刻蚀、离子注入和扩散，以及非晶硅薄膜太阳能、液晶TFT
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LCD薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及全氟化合物与挥发性有机化合物类气体等，这些原来作为工艺原料或者反应副产物的有毒有害气体，其中一些有腐蚀各类管线的危险，有的与其他危害物相遇或累积较高浓度时会有火灾爆炸的危险，还有造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害，为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。
[0003]经检索，中国专利申请号：202122895671.7公开了一种水洗式电加热尾气处理设备，包括：反应腔体、冷却腔、水箱、进气腔；所述水箱的顶部两侧分别连通有反应腔体和冷却腔体，所述反应腔体的顶端连接有多个均匀分布的进气腔，反应腔体的外侧是有一圈电加热罩，进气腔顶部连通有进气组件，所述冷却腔体顶端连通有排气管筒。
[0004]上述申请案主要用于将尾气经过反应腔体加热处理，而后经过水箱清洗过滤，然后通过冷却腔体喷淋冷却后排出，可实现对尾气的快速流动性水洗加热式处理，但是该现有技术还存在不足之处，且位于处理后的废气直接进行排放，而一些半导体生产工艺中产生的有害气体含量较高，只经过一次处理仍不符合排放标准，导致造成污染。

技术实现思路

[0005]1.技术要解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术设计了一种有害气体处理设备，通过设计的检测箱和有害气体检测传感器，通过有害气体检测传感器对处理后的气体进行检测，处理后的气体达到排放标准时直接排放，处理后的气体达不到排放标准时进行二次处理，提高有害气体的处理效果。
[0007]2.技术方案
[0008]为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种有害气体处理设备，包括水箱、位于水箱顶部一侧的催化燃烧反应炉以及位于水箱顶部另一侧的处理管，所述催化燃烧反应炉与水箱固定连接且两者相连通，所述催化燃烧反应炉顶部设置有进气管，所述催化燃烧反应炉内部设置有等离子火焰头，所述处理管与水箱固定连接且两者相连通，所述处理管内设置有喷淋组件，所述喷淋组件与水箱之间设置有循环组件，所述处理管的出气口处连接有排气管，所述排气管的出气端设置有检测箱，所述检测箱内部设置有有害气体
检测传感器，所述检测箱顶部设置有排气筒，所述检测箱一侧与催化燃烧反应炉之间连接有回气管。
[0009]使用本技术方案的有害气体处理设备时，将该有害气体处理设备的进气管与半导体生产设备的有害气体出气管连接，使得有害气体进入催化燃烧反应炉内，通过等离子火焰头对燃烧反应炉内的有害气体进行燃烧，然后燃烧后的有害气体通过水箱进入到处理管内，通过循环组件和喷淋组件将水箱内的水在处理管内喷淋，吸收处理水溶性废气，然后处理后的废气进入排气管内输送到检测箱内，通过有害气体检测传感器对处理后的气体进行检测，当达到排放标准时，气体从排气筒排出，当不符合排放标准时，将气体通过回气管再次输送回催化燃烧反应炉内进行二次处理，提高有害气体的处理效果。
[0010]优选地，所述处理管为倒置的U型结构，且所述处理管的两端开口均与水箱连通，所述喷淋组件设置有两组分别置于所述处理管两个直管段的内部顶端。通过U型结构的处理管和两组喷淋组件，使得有害气体在处理管内输送的行程变长，提高对有害气体的吸收处理效果。
[0011]进一步的，所述喷淋组件包括安装于处理管内的喷淋管以及连接于喷淋管上的喷淋头，所述喷淋头的喷洒方向朝下。通过喷淋组件的设置，水箱内的水输送到喷淋管后通过喷淋头喷洒覆盖在处理管内，对有害气体中的水溶性废气起到较好的吸收处理效果。
[0012]更进一步的，所述水箱内部设置有过滤板，所述过滤板将水箱内分割形成污水区和净水区，所述循环组件包括水泵，所述水泵的进水口与水箱之间通过进水管连接，所述进水管与水箱的连接处置于净水区，所述水泵的出水口与两组喷淋组件中的喷淋管均通过输水管连接。通过过滤板将其阻隔在污水区内，使得过滤后的水流入净水区内，可循环利用；通过水泵将净水区内的水通过进水管和输水管输送到的喷淋管内进行喷淋处理。
[0013]更进一步的，所述排气筒与检测箱的连接处设置有第一电磁阀门，所述回气管与检测箱的连接处设置有第二电磁阀门。通过第一电磁阀门和第二电磁阀门的设置，与有害气体检测传感器配合使用，当有害气体检测传感器检测处理后的气体，达到排放标准时，第一电磁阀门打开，第二电磁阀门关闭，气体从排气筒排出，当有害气体检测传感器检测处理后的气体，不符合排放标准时，第二电磁阀门打开，第一电磁阀门关闭，将气体通过回气管再次输送回催化燃烧反应炉内进行二次处理，提高有害气体的处理效果。
[0014]更进一步的，所述水箱外表面上设置有控制器，所述控制器与等离子火焰头、水泵、有害气体检测传感器、第一电磁阀门以及第二电磁阀门电性连接。通过控制器实现该有害气体处理设备的自动化控制，实用性高。
[0015]3.有益效果
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术实施例中的有害气体处理设备，有害气体进入催化燃烧反应炉内，通过等离子火焰头对燃烧反应炉内的有害气体进行燃烧，然后燃烧后的有害气体通过水箱进入到处理管内，通过循环组件和喷淋组件将水箱内的水在处理管内喷淋，吸收处理水溶性废气，然后处理后的废气进入排气管内输送到检测箱内，通过有害气体检测传感器对处理后的气体进行检测，当有害气体检测传感器检测处理后的气体，达到排放标准时，第一电磁阀门打开，第二电磁阀门关闭，气体从排气筒排出，当有害气体检测传感器检测处理后的气体，不符合排放标准时，第二电磁阀门打开，第一电磁阀门关闭，将气体通过回气管再次输
送回催化燃烧反应炉内进行二次处理，提高有害气体的处理效果。
附图说明
[0018]图1为本技术一种有害气体处理设备的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术一种有害气体处理设备的内部结构示意图；
[0020]图3为图2中的A区结构放大示意图。
[0021]图中：1、水箱；2、控制器；3、催化燃烧反应炉；4、进气管；5、处理管；6、排气管；8、检测箱；9、排气筒；10、水泵；11、进水管；12、输水管；13、等离子火焰头；14、过滤板；15、喷淋管；16、喷淋头；17、有害气体检测传感器；18、第一电磁阀门；19、第二电磁阀门；20、回气管。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有害气体处理设备，其特征在于：包括水箱(1)、位于水箱(1)顶部一侧的催化燃烧反应炉(3)以及位于水箱(1)顶部另一侧的处理管(5)，所述催化燃烧反应炉(3)与水箱(1)固定连接且两者相连通，所述催化燃烧反应炉(3)顶部设置有进气管(4)，所述催化燃烧反应炉(3)内部设置有等离子火焰头(13)，所述处理管(5)与水箱(1)固定连接且两者相连通，所述处理管(5)内设置有喷淋组件，所述喷淋组件与水箱(1)之间设置有循环组件，所述处理管(5)的出气口处连接有排气管(6)，所述排气管(6)的出气端设置有检测箱(8)，所述检测箱(8)内部设置有有害气体检测传感器(17)，所述检测箱(8)顶部设置有排气筒(9)，所述检测箱(8)一侧与催化燃烧反应炉(3)之间连接有回气管(20)。2.根据权利要求1所述的一种有害气体处理设备，其特征在于：所述处理管(5)为倒置的U型结构，且所述处理管(5)的两端开口均与水箱(1)连通，所述喷淋组件设置有两组分别置于所述处理管(5)两个直管段的内部顶端。3.根据权利要求2所述的一种有...

【专利技术属性】
技术研发人员：康记，江凌，
申请(专利权)人：东莞市华科环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：