一种有害气体处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种有害气体处理设备，包括水箱、位于水箱顶部一侧的催化燃烧反应炉以及位于水箱顶部另一侧的处理管，催化燃烧反应炉与水箱固定连接且两者相连通，催化燃烧反应炉顶部设置有进气管，催化燃烧反应炉内部设置有等离子火焰头，处理管内设置有喷淋组件，喷淋组件与水箱之间设置有循环组件，处理管的出气口处连接有排气管，排气管的出气端设置有检测箱，通过设置的的检测箱和有害气体检测传感器，通过有害气体检测传感器对处理后的气体进行检测，处理后的气体达到排放标准时直接排放，处理后的气体达不到排放标准时进行二次处理，提高有害气体的处理效果，充分回收处理有害气体，最大程度降低对环境的污染，更加环保、安全。安全。安全。

【技术实现步骤摘要】
一种有害气体处理设备


[0001]本技术涉及半导体生产的废气处理
，具体为一种有害气体处理设备。

技术介绍

[0002]工艺废气处理设备既属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块如：化学气相沉淀、刻蚀、离子注入和扩散，以及非晶硅薄膜太阳能、液晶TFT
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LCD薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒、酸性、碱性、自燃、易燃、腐蚀性以及全氟化合物与挥发性有机化合物类气体等，这些原来作为工艺原料或者反应副产物的有毒有害气体，其中一些有腐蚀各类管线的危险，有的与其他危害物相遇或累积较高浓度时会有火灾爆炸的危险，还有造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害，为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。
[0003]经检索，中国专利申请号：202122895671.7公开了一种水洗式电加热尾气处理设备，包括：反应腔体、冷却腔、水箱、进气腔；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有害气体处理设备，其特征在于：包括水箱(1)、位于水箱(1)顶部一侧的催化燃烧反应炉(3)以及位于水箱(1)顶部另一侧的处理管(5)，所述催化燃烧反应炉(3)与水箱(1)固定连接且两者相连通，所述催化燃烧反应炉(3)顶部设置有进气管(4)，所述催化燃烧反应炉(3)内部设置有等离子火焰头(13)，所述处理管(5)与水箱(1)固定连接且两者相连通，所述处理管(5)内设置有喷淋组件，所述喷淋组件与水箱(1)之间设置有循环组件，所述处理管(5)的出气口处连接有排气管(6)，所述排气管(6)的出气端设置有检测箱(8)，所述检测箱(8)内部设置有有害气体检测传感器(17)，所述检测箱(8)顶部设置有排气筒(9)，所述检测箱(8)一侧与催化燃烧反应炉(3)之间连接有回气管(20)。2.根据权利要求1所述的一种有害气体处理设备，其特征在于：所述处理管(5)为倒置的U型结构，且所述处理管(5)的两端开口均与水箱(1)连通，所述喷淋组件设置有两组分别置于所述处理管(5)两个直管段的内部顶端。3.根据权利要求2所述的一种有...

【专利技术属性】
技术研发人员：康记，江凌，
申请(专利权)人：东莞市华科环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：