处理废气的装置及方法和其中应用的脉冲发生器制造方法及图纸

用于处理废气的装置和方法。在该装置中，多级反应室（Ｒ↓［１］…，Ｒ↓［ｎ］）在废气流动方向上串联连接。高压电源（Ｖ↓［１］…，Ｖ↓［ｎ］）分别与反应室（Ｒ↓［１］…，Ｒ↓［ｎ］）连接。因而在每个上述反应室中产生电子流放电等离子体。此外，一个级的反应室愈位于下游，投入到该反应室的能量愈低。在气体分解单元中产生的电子密度在位于所述气体分解单元中的废气流的上游侧的部分中为高，而在其废气流的下游侧的部分中电子密度低。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总的涉及使用电子流放电等离子体(streamer discharge plasma)处理有毒或有害物质、诸如包含在热(电)发电厂、垃圾燃烧设施(即垃圾焚烧设备)、有毒物质处理设备及汽车的废气或烟气中的NOx及SOx或类似物的装置和方法。更具体地，本专利技术涉及电子流放电等离子体处理装置及方法，用于对包含在热电厂等的废气或烟气中的氮氧化物(以下写为NOx)及硫氧化物(以下写为SOx)进行分解及去毒。此外，本专利技术应用于在化工厂或类似工厂中产生的VOC(即挥发性有机化合物)气体进行分解及去毒。另外，本专利技术涉及在上述废气处理装置及方法中使用的脉冲发生器，更具体地，涉及在这样情况下作为电源使用的脉冲发生器，即电极被放置在例如由热电厂或类似设施排放的气体中，然后通过对这些电极提供脉冲功率(或能量)(即，通过在电极上施加脉冲电压)产生出(电子流放电)等离子，及通过电作用对有毒物质进行处理。迄今，例如已采用了所谓氨催化还原法来分解NOx。此外，已采用了所谓石灰-石膏法来分解SOx。因此，所谓的化学处置或处理方法(工艺)已经成为从废气或烟气中除去其中的NOx及SOx的主要技术。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有反应室的废气处理装置，该装置由高电压电源提供能量和产生电子流放电等离子体，用于使废气流过该反应室而将有毒物质分解，所述废气处理装置包括：在废气流动方向上串联连接的多级反应室，其中，随着待提供能量的所述反应室愈接近最下游的一个 反应室，待投入到所述反应室中的能量逐渐地减小。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川村启介，重水哲郎，吉田博久，村田正义，
申请(专利权)人：三菱重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]