真空涂层机制造技术

本实用新型专利技术属于真空涂层机领域，具体涉及真空涂层机，包括箱体，所述箱体上设置有密封盖，所述箱体内固定套接有支撑框，所述支撑框上设置有调节机构，所述调节机构上设置有靶材，所述支撑框上焊接有支撑块，所述支撑框上固定安装有电弧发生器，所述电弧发生器上设置有导线。本实用新型专利技术通过设置电机、转轴、万向节、连杆、连接套、导孔、导杆、弹簧、顶球、支撑杆、导电杆、压簧等结构，通过电机驱动万向节转动，并在装置内均匀设置多个靶材，进而使得靶材转动，且通过弹簧和压簧的弹性作用配合，使得靶材偏转，进而使得的靶材始终和到导电杆接触进行蒸发，确保靶材的蒸发效率，使得工件表面可以均匀致密附着涂层，涂层附着精度高。涂层附着精度高。涂层附着精度高。

【技术实现步骤摘要】
真空涂层机


[0001]本技术涉及真空涂层机
，具体为真空涂层机。

技术介绍

[0002]专利授权公告号为CN202246838U的技术专利公开了一种真空涂层机。本技术真空涂层机包括阴极装置，阴极装置包括多个靶材。每个靶材可单独连接一个电弧发生器。本技术靶材体积比较小应用了多个电弧发生器，由于采用的靶材体积对应方靶小且有多个电弧发生器单独控制每个圆靶让其均匀挥发所以生产出来的涂层金属颗粒较方靶更小，从而使涂层结构更致密，涂层与被涂层工件结合力好。由于圆靶体积小靶材使用的数量比较多在工艺生产中可以使用不同材质的靶材进行复合涂层和多元化涂层的生产和开发，工艺可变性灵活性大。但是靶材在蒸发时，不能自动进行万象调节，靶材和电弧发生器的触端不能始终保持接触，使得靶材不能持续稳定均匀蒸发，进而导致工件上的涂层附着均匀度和精度较低。因此，需要对现有技术进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供真空涂层机，解决了靶材在蒸发时，不能自动进行万象调节，靶材和电弧发生器的触端不能始终保持接触，使得靶材不能持续稳定均匀蒸发，进而导致工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空涂层机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)上设置有密封盖(2)，所述箱体(1)内固定套接有支撑框(4)，所述支撑框(4)上设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)上设置有靶材(6)，所述支撑框(4)上焊接有支撑块(7)，所述支撑框(4)上固定安装有电弧发生器(8)，所述电弧发生器(8)上设置有导线(9)。2.根据权利要求1所述的真空涂层机，其特征在于：调节机构(5)包括电机(51)、转轴(52)、万向节(53)、连杆(54)、连接套(55)、限位销(56)、导孔(57)、导杆(58)、弹簧(59)、顶球(510)、支撑杆(511)、导电杆(512)、压簧(513)，所述电机(51)和支撑框(4)固定安装，所述电机(51)的转轴(52)上固定安装有万向节(53)，所述万向节(53)上固定连接有连杆(54)，所述连杆(54)的外侧滑动连接有连接套(55)，所述连接套(55)和靶材(6)固定连接，所述支撑框(4)内开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：金江，蒋振南，陈德明，
申请(专利权)人：常州大晋纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：