一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统技术方案

一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统，采用二组元变焦结构，前固定组透镜组保持不动，改变后组透镜与前组透镜的间距来调节系统焦距，对终端组件中多个大口径光学元件分别清晰成像；对于厚度薄的光学元件，成像物面为光学元件中心厚处，元件前、后表面在系统景深范围内，可一次成像；对于厚度厚的光学元件，为获取高质量图像需对前、后表面分别成像；对终端光学组件中部分倾斜排布的光学元件表面成像时，成像接收器CCD需要调节一定角度，从而获取高质量图像。从而获取高质量图像。从而获取高质量图像。

【技术实现步骤摘要】
一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统


[0001]本专利技术属于光学设计领域，特别涉及一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统。

技术介绍

[0002]终端光学组件是惯性约束核聚变(Inertial Confinement Fusion,ICF)装置中非常重要的组成部件之一，包含了多块大口径光学元件，其长期在高能量激光辐射环境中工作，由于光束自聚焦等原因，这些光学元件表面和内部会产生激光损伤，另外光学元件在加工、运输等环节中也会产生划痕等瑕疵。光学元件激光损伤的尺寸与激光辐照次数呈指数增长关系，当损伤尺寸较小时是可以被修复的，当损伤尺寸超过一定阈值后，其损伤是不可修复的。因此我们需要在损伤形成的初级阶段，对其进行检测并跟踪，在损伤尺寸达到阈值之前，将其替换并进行修复。
[0003]目前光学元件损伤检测有两种检测方式：第一种是离线检测，把终端光学组件中的元件拆下来，逐个进行检测，这种检测方式的精度很高，能够达到几个微米，但是其效率较低；第二种是在线检测方式，不用将待测光学元件拆卸下来，而是在线获取元件表面高质量图像，来本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统，其特征是，包括同光轴依次放置的前固定组、光阑(S)、变倍组和CCD；所述的前固定组包括第一双凸正透镜(L1)、第二双凸正透镜(L2)和第一双凹负透镜(L3)；所述变倍组包括第二双凹负透镜(L4)、弯月正透镜(L5)、弯月负透镜(L6)和第三双凸正透镜(L7)；在变焦过程中，确保所述的前固定组不动，将所述的光阑、变倍组作为整体与所述的CCD分别沿着光轴方向移动。2.根据权利要求1所述的用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统，其特征是，变焦过程中，像面位置沿着光轴发生偏移，需沿着光轴移动CCD的位置获取高质量图像。3.根据权利要求1所述的用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统，其特征是，所述的前固定组为正透镜组，所述变倍组为正透镜组。4.根据权利要求1所述的用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统，其特征是，对终端光学系统中第一平面元件(E1)、第二平面元件(E2)、第三平面元件(E3)、第四平面元件(E4)以及球面元件(E5)前表面成像时，所述的变焦成像系统同球面元件(E5)组成...

【专利技术属性】
技术研发人员：王良玉，杨朋千，华能，姜卓偲，樊全堂，杨富丽，杨雪莹，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：