一种石英坩埚水套回转轴分水器制造技术

本实用新型专利技术提供一种石英坩埚水套回转轴分水器，包括进水壳体、回水壳体、进水骨架油封、回水骨架油封、进水轴承、回水轴承、第一限位件和第二限位件；通过设置第一限位件和第二限位件，配合轴肩，能够将多个进水骨架油封和回水骨架油封在轴向的位置相对固定。回水骨架油封在轴向的位置相对固定。回水骨架油封在轴向的位置相对固定。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚水套回转轴分水器


[0001]本技术涉及石英坩埚生产设备
，具体为一种石英坩埚水套回转轴分水器。

技术介绍

[0002]石英坩埚水套是生产石英坩埚过程中用于支撑石英坩埚模具、为石英坩埚模具提供冷却、保证石英坩埚处于真空环境的设备。现有的石英坩埚水套包括水套壳体，在壳体内壁设有支撑环，在水套壳体内设有冷却水腔，水腔内设有上下冷却水管，冷却水进水和回水主要通过回转轴分水器来供给，工作过程中水套一直处于旋转状态，为防止水套上口变形，一般水套上水压力控制在0.2Mpa左右，现有分水器进水和回水仅靠三个骨架油封来密封，进水和回水容易互通，且水套旋转过程中分水器运行平稳性较差，为保证正常生产和减少水套变形等缺陷需要频繁更换骨架油封。
[0003]为了解决上述问题，申请号为：201620312138.X的专利，提出了一种石英坩埚水套回转轴分水器，由分体的进水装置和回水装置组合而成，所述进水装置由均匀设有多个进水口的进水腔壳体、内置于进水腔壳体一端的进水腔轴承、沿进水腔壳体轴向布置于进水腔两端的骨架油封组成，所述进水腔壳体另一端设有组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚水套回转轴分水器，其特征在于：包括进水壳体(1)、回水壳体(2)、进水骨架油封(11)、回水骨架油封(21)、进水轴承(12)、回水轴承(22)、第一限位件(3)和第二限位件(4)；所述进水壳体(1)与所述回水壳体(2)可拼接；所述进水壳体(1)和所述回水壳体(2)的内腔均设有多个轴肩(15)，多个所述轴肩(15)用于安装所述进水骨架油封(11)、所述回水骨架油封(21)、所述进水轴承(12)、所述回水轴承(22)、所述第一限位件(3)和所述第二限位件(4)；所述进水壳体(1)设有带进水口的进水腔(13)，所述进水轴承(12)设置在所述进水壳体(1)内腔远离所述回水壳体(2)的一端，所述进水骨架油封(11)设置在所述进水壳体(1)内腔，所述进水腔(13)位于左右对称设置的所述进水骨架油封(11)之间，所述第一限位件(3)位于所述进水轴承(12)和左侧的所述进水骨架油封(11)之间；所述回水壳体(2)设有带回水口的回水腔(23)，所述回水轴承(22)设置在所述回水壳体(2)内腔远离所述进水壳体(1)的一端，所述回水骨架油封(21)设置在所述回水壳体(2)内腔，所述回水腔(23)位于左右对称设置的所述回水骨架油封(21)之间，所述第一限位件(3)位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马驰，
申请(专利权)人：锦州佑鑫石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：