X射线发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术的Ｘ射线发生装置设置有监视从靶发生的Ｘ射线状态的Ｘ射线监视器。因此，可实时地监视Ｘ射线的状态，将Ｘ射线状态维持一定。Ｘ射线监视器配置在从第一射出窗射出的Ｘ射线路径外。因而在从第一射出窗向被检查物照射Ｘ射线之际，Ｘ射线监视器不妨碍第一射出窗和被检查物之间接近。据此可取得放大率高的Ｘ射线图像。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使电子束照射到靶上产生X射线的X射线发生装置。
技术介绍
对被检查物照射X射线，取得透过被检查物的X射线的图像，对被检查物进行检查的检查装置一直以来已为众知。作为这样的检查装置的X射线源，可以用X射线发生装置。X射线发生装置对靶照射电子束，产生X射线。X射线的剂量通过电子束的加速电压或电子束的电流值等的变化，或者靶的损伤或靶支持构件的热变形而发生变化。如果照射到被检查物的X射线剂量发生变化，则透过被检查物的X射线的图像发生变化。这种情况下，不能判别该变化起因于被检查物的特性，或起因于照射的X射线的变化，因而不能高精度地对被检查物进行检查。为了解决该问题，在特开昭55-124997号公报上公开了一种X射线发生装置，其是通过半导体X射线检测器监视从X射线管的射出窗射出的X射线的剂量，通过反馈检测器的输出，使X射线剂量维持一定的X射线发生装置。近年来，通过X射线进行电子部件等小型且高密度的被检查物的检查，与此相伴，希望得到放大率高的X射线图像。然而，尽管特开昭55-124997号的X射线发生装置可以降低X射线的剂量的变化，但难以得到放大率高的X射线图像。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而作的，其目的是提供可使X射线的剂量为一定，而且，可取得放大率高的X射线图像的X射线发生装置。本专利技术的X射线发生装置设置有放出电子束的电子枪、以使来自电子枪的电子束入射的方式配置的X射线发生用的靶、根据电子束的入射，使从靶发生的X射线透过的第一射出窗、和接受来自靶的X射线并监视该X射线状态的X射线监视器。X射线监视器配置在从第一射出窗射出的X射线的路径之外。因为通过X射线监视器实时地监视X射线的状态，所以可维持X射线状态为一定。因为X射线监视器配置在从第一射出窗射出的X射线路径之外，所以在从第一射出窗对被检查物照射X射线之际，X射线监视器难以妨碍第一射出窗和被检查物之间的接近。因而，使被检查物接近第一射出窗，从而可取得放大率高的X射线图像。第一射出窗具有来自靶的X射线射出的射出面。X射线监视器配置成不比该射出面更突出。据此，可以容易地使第一射出窗和被检查物接近。X射线发生装置也可以还设置有使从靶来的X射线透过的第二射出窗。第二射出窗配置在与从靶向第一射出窗的X射线路径不同的X射线路径上。X射线监视器接受透过第二射出窗的X射线。因为X射线监视器接受与X射线监视器接受透过框体的壁等障碍物的X射线的情况相比更高的强度的X射线，所以X射线的监视精度高。第二射出窗优选配置成面向靶表面上的电子束入射的部分。由于从靶的电子束入射部及其近旁产生X射线强，所以从面向该部分的位置上设置的第二射出窗高效地入射X射线至X射线监视器。据此，更加提高X射线监视精度。第二射出窗也可以是使电子枪端子贯通并保持的芯柱(stem)板。本专利技术的X射线发生装置例如可以用包含电子枪及靶的X射线管制造。在X射线管上，应电连接电子枪和驱动电子枪的器件，常常设置上述芯柱板。芯柱板也可以用容易透过X射线的材料，例如由绝缘性的陶瓷构成。如果芯柱基板是使X射线透过的第二射出窗，则可以制造对设置芯柱基板的已有的X放射管不施以大改造的本专利技术的X射线发生装置。在第二射出窗和X射线监视器之间也可以设置可遮断X射线的快门(shutter)。在没有必要控制在X射线发生开始后X射线状态时，如果通过快门遮断X射线，则可以防止X射线监视器被X射线照射，可以延长X射线监视器的寿命。X射线发生装置也可以还具有设置电子枪、第一射出窗、靶、及X射线监视器的框体。这时，可使X射线发生装置构造简略化，并且也使X射线发生装置的设置容易。在靶表面上电子束入射部分、电子枪、及X射线监视器也可以收容在可抽成真空的外壳内。这时使X射线监视器的温度、湿度等的管理变得容易。因此，可以进一步提高X射线的监视精度。X射线监视器也可以设置在外壳内，以便面向靶表面上的电子束入射部分。由于靶在电子束入射部分及其近旁发生的X射线强，所以从面向该部分的位置上设置的第二射出窗来的X射线高效入射到X射线监视器。据此，可更加提高X射线的监视精度。X射线发生装置也可以进一步设置根据由X射线监视器监视的X射线状态，将从靶发生的X射线状态例如剂量控制为一定的X射线控制器。从以下详细说明及附图，可以更加充分理解本专利技术。附图不过只是例示，因此不应当认为附图限定本专利技术。本专利技术的适用范围从以下详细说明一目了然。可是该详细说明及特定例示出本专利技术的合适的方式，然而不过只是例示。在本专利技术的要点和范围内的各种变形及变更，从该详细说明中本行业技术人员可以明了。附图说明图1是示出具有第一实施方式的X射线发生装置的非破坏检查系统的局部截面图。图2是图1所示的X射线装置的俯视图。图3是示出第二实施方式的X射线发生装置的靶周边的纵截面图。图4是图3的X射线装置的俯视图。图5是示出具有第三实施方式的X射线发生装置的非破坏检查系统的局部截面图。图6是示出第四实施方式的X射线发生装置靶周边的纵截面图。图7是第五实施方式的X射线发生装置的局部截面图。具体实施例方式以下，参照附图详细说明本专利技术的实施方式。在附图的说明中，同一元件附加同一符号，省略重复说明。第一实施方式图1是示出包含本专利技术第一实施方式的X射线发生装置的非破坏检查系统的概略图。该非破坏检查系统80进行被检查物5的非破坏检查。系统80具有移动台2、微聚焦型X射线发生装置100及X射线摄像机1。移动台2可以沿水平方向移动，其上载置多个被检查物5。X射线发生装置100设置在移动台2下方、使X射线照射到移动台2上。X射线摄像机1检测透过移动台2及被检查物5的X射线，取得X射线图像。X射线发生装置100作为主要的构成元件有X射线管10，X射线监视器30以及电流电压控制装置40。X射线管10向上方发射从反射型靶27产生的X射线。X射线监视器30测量由X射线管10发生的X射线剂量。电流电压控制装置40是X射线管10的驱动器件，把预定电流及电压供给X射线管10，产生X射线。X射线管10的外廊由大体圆筒状的真空外壳20构成。真空外壳20向上下延伸的同时，密封为大体真空状态。真空外壳20上部是由铜等金属形成的外壳主体21。外壳主体21设置有收容反射型靶27的纵型圆筒状的壳体21a。外壳主体21还包含对壳体21a正交那样地连接的横型圆筒状电子枪收容筒21b。壳体21a和电子枪收容筒21b相互连通。在电子枪收容筒21b内位于壳体21a反对侧的端部上设置陶瓷制芯柱板24。如后述所示，芯柱板24使从靶27发生的X射线透过。在电子枪收容筒21b内设置向壳体21a的中心轴大体呈水平地射出电子束的电子枪23。电子枪23贯通芯柱板24，且为在芯柱板24上保持的芯柱板管销25所支持。芯柱管销25是供给电子枪23驱动电力用的端子。芯柱管销25与电子枪23内的电极或灯丝等电连接的同时，与电流电压控制装置40电连接。电流电压控制装置40通过芯柱管销25对电子枪23供给预定电流及电压，驱动电子枪23。外壳20下部是通过玻璃或陶瓷等绝缘体形成的真空管22。真空管22具有与壳体21a同轴的大体圆筒状，与壳体21a连接。从真空管22下端开始沿真空管22的中心轴把大体圆柱状的导电性靶支持体26插入真空管22。靶支持体26延伸直到壳体21a上端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ射线发生装置，其特征在于，具有：放出电子束的电子枪；Ｘ射线产生用靶，配置使来自所述电子枪的电子束入射；根据所述电子束入射，使从所述靶产生的Ｘ射线透过的第一透出窗；和接受来自所述靶的Ｘ射线，监视该Ｘ射线的 状态的Ｘ射线监视器，所述Ｘ射线监视器配置在从所述第一射出窗射出的Ｘ射线路径之外。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：稻鹤务，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]