Ｘ射线管及Ｘ射线源制造技术

在Ｘ射线源（１）和Ｘ射线管（４）中，形成从真空管（２０）的一端侧观看，遮挡靶支承体（１８）与另一端侧开口部（３４）的固定部分（Ｗ）的遮挡部（４２）。由此，可以抑制真空管（２０）的一端侧和固定部分（Ｗ）之间的放电发生。另外，由于真空管（２０）的另一端形成为狭窄部（３７），该真空管（２０）的另一端侧开口部（３４）固定在靶支承体（１８）上，因此，与在该真空管中形成有内筒部的以往技术的Ｘ射线管相比，可以使真空管（２０）和遮挡部（４２）的形状简化。利用上述简单的构造，在Ｘ射线的产生动作时，可以提高在真空管（２０）内的电场稳定性，可以有效地抑制在真空管（２０）内的放电发生。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在非破坏检查中所使用的组装在X射线产生装置等中的X射线管，和使用有该X射线管的X射线源。
技术介绍
X射线管使从电子枪出射的电子撞击靶，并由此产生X射线。作为以往技术的X射线管，公知有例如记载在专利文献1中的专利技术。该X射线管具有真空外围器，该真空外围器构成为在收容电子枪的外围器本体上接合有真空管，在该真空外围器上插入有用于将靶支承在其中的靶支承体。在该真空管中，以使其前端部跨越全周地折回至内侧的方式形成内筒部，该内筒部的前端部固定在靶支承体上。另外，在靶支承体上设置有盖子，覆盖靶支承体和内筒部的前端部的固定部分，用来抑制在真空管内的放电发生。美国专利第5,077,771号说明书
技术实现思路
但是，在上述以往技术的X射线管中，在真空管内形成有内筒部，因此也使盖子的形状复杂化。上述X射线管的构造的复杂化存在会助长真空管内的放电的发生的问题。本专利技术用来解决上述的问题，其目的是提供一种可以利用简单的构造来抑制真空管内的放电发生的X射线管和使用该X射线管的X射线源。为了解决上述问题，本专利技术的X射线管通过使从电子枪出射的电子撞击靶而产生X射线，具有收容电子枪的外围器本体，一端侧开口部被固定在外围器本体上，另一端部形成为狭窄部的筒状的真空管，和穿通真空管，并支承靶的靶支承体；在靶支承体上固定有真空管的另一端侧开口部，同时在外围器本体和另一端侧开口部之间，形成有从真空管的一端侧观看，遮挡靶支承体与另一端侧开口部的固定部分的遮挡部。在该X射线管中，在外围器本体和真空管的另一端侧开口部之间形成有遮挡部，并使从真空管的一端侧看遮挡靶支承体与另一端侧开口部的固定部分。由此，可以抑制在真空管的一端侧和靶支承体与另一端侧开口部的固定部分之间的放电发生。另外，由于真空管的另一端部形成为狭窄部，该真空管的另一端侧开口部固定在靶支承体上，因此，与在真空管内形成有内筒部的以往技术的X射线管相比，可以使真空管和遮挡部的形状简化。利用简单的构造，可以有效地抑制放电的发生。另外，在固定靶支承体和真空管的另一端侧开口部时，与在真空管中形成有内筒部的以往技术的X射线管比较，可以提高作业的容易性和可视性，可以提高所制成的X射线管的可靠性。另外，优选遮挡部与靶支承体一体形成一体。在此情况下，由于真空管内的零件数量减少，可以更有效地抑制真空管内的放电的发生。另外，优选遮挡部呈角部圆滑的形状或呈不具有角部的形状。由此，可以避免在遮挡部的电场局部集中，可以更有效地抑制放电的发生。另外，还优选具有接合在另一端侧开口部上，并靶支承体穿通的筒状部件，另一端侧开口部经由筒状部件固定在靶支承体上。利用上述构造，在靶支承体与真空管的另一端侧开口部的固定时，由于可以沿着筒状部件对靶支承体进行微调整，因此可以精确良好地进行相对于靶的电子枪的位置对准。另外，本专利技术的X射线源具有收容上述X射线管的框体；和向X射线管的靶支承体供给电压的高压电源部；并利用包围部件包围靶支承体与另一端侧开口部的固定部分。在该X射线源中，通过采用上述X射线管可以有效地抑制真空管内的放电发生。另外，由于靶支承体与真空管的另一端侧开口部的固定部分被包围部件包围，因此可以抑制框体和X射线管之间的放电发生。另外，优选框体具有，埋设有高压电源部的绝缘块，和固定在绝缘块上，并在内部充填绝缘性液状材料的金属制的筒部；X射线管的真空管收容在筒部中；包围部件包围固定部分，以使不能从筒部的内部看到固定部分。在该X射线源中，通过在绝缘块上固定筒部，并将X射线管的真空管收容在筒部中，在X射线产生动作时，可以提高X射线管的散热效率，可以抑制X射线管内部的放电发生。另外，还优选包围部件具有沿着X射线管的管轴方向延伸的壁部，壁部包围固定部分，以使不能从筒部的内壁看到固定部分。在此情况下，由于沿着X射线管的管轴方向延伸的壁部包围固定部分，因此固定部分附近的电场不会变紊乱，可以更有效地抑制筒部和X射线管之间的放电。如上所述，根据本专利技术的X射线管和X射线源时，可以利用简单的构造抑制真空管内的放电发生。附图说明图1是是表示根据本专利技术构成的X射线源的一个优选实施方式的剖面图。图2是是表示根据本专利技术构成的X射线管的一个优选实施方式的剖面图。图3是图2所示的X射线管的真空管的另一端部的放大图。图4是变形例的X射线管的真空管的另一端部的放大图。图5是另一变形例的X射线管的真空管的另一端部的放大图。图6是又另一变形例的X射线管的真空管的另一端部的放大图。符号说明1X射线源2框体3高压电源部4X射线管18 靶支承体19 外围器本体20 真空管32 一端侧开口部 34另一端侧开口部37狭窄部(另一端部)40、40A、40B、41、41A筒状部件42、42A遮挡部42a 角部T靶W固定部分具体实施方式下面，将参照图面来详细地说明本专利技术的X射线管和X射线源。另外，“上”、“下”等词语是为了方便说明，根据附图所示的状态而定。图1是表示根据本专利技术构成的X射线源的一个优选实施方式的剖面图。如图1所示，X射线源1具有框体2、高压电源部3、和X射线管4。框体2由底板6、顶板7、筒部8、和绝缘块9构成。底板6和顶板7分别具有大致正方形状，在顶板7的中央设置有圆形的穿通孔7a。在该底板6和顶板7的各个角部间，经由间隔物10连结，底板6和顶板7隔有规定的间隔并相互固定。另外，底板6、顶板7、和间隔物10的侧面，被连接它们的侧板(图中未显示)覆盖。筒部8利用金属形成上端变细的圆筒形状，其内径与顶板7的穿通孔7a直径相同。在筒部8的下端部设置有安装突缘8a，在上端部形成有用于安装X射线管4的圆形的开口部8b。而且，筒部8竖立设置在顶板7的上面中央，且使安装突缘8a与顶板7的穿通孔7a的周缘部不透过液体地固定，使其内部与顶板7的穿通孔7a相通。另外，使筒部8成为接地电位。绝缘块9由例如环氧树脂等绝缘性树脂材料形成大致立方体形状，在表面覆盖用于使其电位成为接地电位的导电性材料，例如进行贴付导电性带或涂布导电性涂料的处理。该绝缘块9构建由底板6和顶板7夹持，且从下侧封住顶板7的穿通孔7a。利用上述构造，在框体2的上部形成被筒部8、顶板7、绝缘块9、和高压电源部3包围的收容空间S。而且，在收容空间S内充填有作为绝缘性液状材料，例如绝缘性的油11。X射线管4在将后面所述的真空管20收容在收容空间S内的状态下，与筒部8的开口部8b不透过液体地固定。另外，在从真空管20的另一端侧的开口部34(参照图2)突出的靶支承体18的前端部分，利用螺栓固定有包围另一端侧开口部34和靶支承体18的固定部分W的高压帽(cap)(包围部件)12。高压帽12由导电性材料(例如铝)构成，包围位于靶支承体18上的高压电源部3侧的前端部分附近的真空管20的密封部分。该高压帽12具有圆形的底板部12b和竖立设置在其边缘部上的壁部12a，其中心轴固定成为与X射线管4的管轴同轴。壁部12a的内径至少大于在固定部分W的附近的真空管20的外径。壁部12a沿着X射线管4的管轴方向延伸。壁部12a遮挡固定部分W，以使从筒部8的内壁不能看到固定部分W。另外，在本实施方式中，高压帽12具有底板部12b，夹持该底板部12b而在同轴方向上螺旋固定在靶支承体18上，但是也可以以与靶支承本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ射线管，通过使从电子枪出射的电子撞击靶而产生Ｘ射线，其特征在于：具有，收容所述电子枪的外围器本体，一端侧开口部固定在所述外围器本体上，另一端部形成为狭窄部的筒状的真空管，和穿通所述真空管，并支承所述靶的靶支承体；在所述靶支承体上固定有所述真空管的另一端侧开口部，同时在所述外围器本体和所述另一端侧开口部之间，形成有从所述真空管的一端侧观看，遮挡所述靶支承体与所述另一端侧开口部的固定部分的遮挡部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻鹤务，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]