一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供了一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用，涉及半导体材料技术领域。通过选择金属钛尺寸、预处理金属钛改善其对金刚石的附着能力、再将其作为基底材料，利用金属钛良好的弯曲性能和稳定的化学性质，从而制备出可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜。经上述简单、便捷的制备方法得到的钛基掺硼金刚石薄膜，可以兼顾柔性可弯曲功能和优异的电化学性能；以此组装而成的柔性电容器器件在电流密度为0.1mA cm

【技术实现步骤摘要】
一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用


[0001]本专利技术属于半导体材料
，具体涉及一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]柔性纤维超级电容器因其可拉伸性能高、柔韧性强、质量轻等特点被认为是解决可穿戴电子产品能源供应问题的最佳电源。当前，常用的石墨烯、过渡金属氧化物以及导电聚合物等电极材料的制备工艺复杂，与此同时在充放电过程中有可能出现稳定性较差的现象。合适的电极材料和柔性基底的巧妙组合在同时满足纤维超级电容器对电化学性能和柔韧性的要求方面发挥重要作用。在这种情况下，寻找制备工艺简单，且稳定性能高的电极材料成为柔性纤维超级电容器研究领域的热点。BDD以其制备工艺简单，抗酸碱腐蚀性能强，电势窗口宽，背景电流低、安全环保无污染和亲肤等优势在发展前景的柔性纤维超级电容器电极材料。然而，当前BDD基超级电容器的刚性和储电量低的问题限制了其在柔性可穿戴领域的长足发展。因此，利用简单工艺条件构建柔性可弯曲、高循环稳定性的BDD基超级电容器成为当务之急。
[0003]基底的柔性决定了整个电极的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜，其特征在于，所述柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜以表面呈网格状的金属钛为基底，在基底上沉积掺硼金刚石，即可实现金刚石薄膜在常温下按任意角度弯折的功能，所述钛基掺硼金刚石薄膜还可以实现常温下的充电放电功能。2.如权利要求1所述的柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1处理钛丝或平面钛片，使其表面形成网格状结构，得到金属钛基底；S2在基底上沉积掺硼金刚石。3.如权利要求1所述的柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述钛丝截面直径为0.2
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0.5mm，长度为10
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20cm；所述平面钛片长度和宽度均为1
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2cm，厚度为0.2
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0.5mm。4.如权利要求1所述的柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述处理操作具体包括：用不同目数砂纸以交叉方向打磨。5.如权利要求4所述的柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述打磨方式为：先沿钛丝或平面钛片长度方向，按砂纸目数80、100、150、220和400依次打磨，再沿钛丝或平面钛片长度的垂直方向重复用上述目数砂纸依次打磨，单次打磨时间为5
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10min。6.如权利要求1所述的柔性可弯曲钛基掺硼金刚石薄膜的制备方...

【专利技术属性】
技术研发人员：张静，赵志岩，李东玮，李雨果，李勇，高萌，姜晓萍，陶圆，张兴双，
申请(专利权)人：山东省科学院新材料研究所，
类型：发明
国别省市：