混合物靶以及防止带电膜的制造方法技术

技术编号:3716165 阅读:180 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种混合物靶以及防止带电膜的制造方法,在图像显示装置等的内置电子发生装置的电子源的气密容器内设置的防止带电膜中,通过形成将粒径为0.5-10nm的多个导体粒子分散在含有氮化物介质中的结构,从而提高电阻值的控制性、稳定性和再现性、以及电阻温度特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图像显示装置等电子发生装置的、被设置在内置电子 源的气密容器内的防止带电膜,以及使用它的隔板及图像显示装置。
技术介绍
在使用电子发射元件的平面显示器中,如特开平10-284286号公 报所示,为了将其内部保持为高真空,釆用被称为隔板或肋的抗大气 压结构支撑体——隔板。图7是使用了多个电子发射元件的图像形成装置的剖面示意图。 101是背板,102是侧壁,103是前面板,由背板101、侧壁102、前 面板103形成气密容器。作为气密容器的抗大气压结构支撑体的隔板 107b,设有低电阻膜110,通过导电性熔接物108与布线109连接。电子发射元件104形成在背板101上,荧光体105和金属敷层106 形成在前面板上。设置金属敷层106的目的在于将荧光体105发出 的一部分光进行镜面反射而提高光利用率,保护荧光体105避免负离 子的轰击,作为用于施加电子束加速电压的电极而起作用,以及作为 激励荧光体105的电子的导电路径而起作用等。隔板107a呈现隔板的带电状态,通过被从附近的电子源发射的 一部分电子碰撞而呈现出引起带电(图中,带正电)的状况。再有, 隔板107a在没有设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝和铂的混合物靶,其特征在于,所述混合物靶用于以溅射法来形成含有铝和铂的防止带电膜且包含不低于95重量%的铝和铂。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤亨清水康志大栗宣明
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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