用于平板光学装置的封装材料制造方法及图纸

本文所述的多个实施方式涉及平板光学装置和用于平板光学装置的封装材料。一个或多个实施方式包括基板，该基板具有形成于基板上的第一多个柱的第一布置。第一多个柱的第一布置包括具有高度h和横向距离d的柱。第一多个柱的第一布置包括与第一多个柱的相邻柱之间的距离对应的间隙g。间隙g与高度h之间的高宽比在约1:1与约1:20之间。第一粘附促进材料被设置在第一多个柱的第一布置之上。第一封装层被设置在第一粘附促进材料之上。第一封装层填充第一多个柱的相邻柱之间的间隙g。第一封装层包括含氟聚合物。括含氟聚合物。括含氟聚合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于平板光学装置的封装材料
[0001]背景
[0002]领域
[0003]本公开内容的多个实施方式一般涉及光学装置。更特定地，本文所述的多个实施方式涉及平板光学装置和用于平板光学装置的封装材料。
[0004]相关技术描述
[0005]平板光学装置包括平面内尺寸小于光的设计波长的一半，并且平面外尺寸的数量级处于或大于设计波长的柱的布置。平板光学装置可由单层，或多层纳米结构柱组成。平板光学装置的柱需要封装以用作保护层，以及以充当多层布置的连续层之间的间隔层。然而，对于纳米结构的平板光学装置，在高高宽比开口中进行填充常常具有挑战性并且导致非均匀的间隙填充。此外，柱的封装增加了柱高度，并且从而增加平板光学装置的总厚度。平板光学装置的总厚度增加降低了透射效率并且增加了制造复杂性和成本。因此，在本领域中需要改良的平板光学装置和用于平板光学装置的封装材料。

技术实现思路

[0006]在一个或多个实施方式中，提供了一种装置且该装置包括基板，该基板具有形成于基板上的第一多个柱的第一布置。第一多个柱的第一布置包括具有高度h和横向距离d的柱。第一多个柱的第一布置包括与第一多个柱的相邻柱之间的距离对应的间隙g。间隙g与高度h的高宽比(aspect ratio)在约1:1与约1:20之间。第一粘附促进材料被设置在第一多个柱的第一布置之上。第一封装层被设置在第一粘附促进材料之上。第一封装层填充第一多个柱的相邻柱之间的间隙g。第一封装层包括含氟聚合物。
[0007]在其他多个实施方式中，提供一种方法，且该方法包括在基板表面上形成第一多个柱的第一布置。第一多个柱的第一布置包括具有高度h和横向距离d的柱，和与第一多个柱的相邻柱之间的距离对应的间隙g。间隙g与高度h的高宽比在约1:1与约1:20之间。该方法包括在第一多个柱的第一布置之上设置第一粘附促进材料。该方法包括在第一粘附促进材料之上设置第一封装层。第一封装层填充第一多个柱的相邻柱之间的间隙g。第一封装层包括含氟聚合物。
[0008]在其他多个实施方式中，提供了一种装置且该装置包括基板，该基板具有形成于基板上的第一多个柱的第一布置。第一多个柱的第一布置包括柱，柱具有背离(facing away)基板的第一表面、面向相邻柱的一个或多个侧表面，和形成在相邻柱之间的沟槽(trench)。装置包括在柱的第一表面和一个或多个侧表面上设置的第一粘附促进材料。第一粘附促进材料包括氟硅烷。该装置包括在第一粘附促进材料之上设置的第一封装层。第一封装层填充第一多个柱的相邻柱之间的沟槽并且包括非晶含氟聚合物。
附图说明
[0009]为了能够详细理解本公开内容的上述特征结构的方式，可参考多个实施方式获得简要概述于上文的本公开内容的更特定描述，这些实施方式的一些实施方式图示于附图
中。然而，应将注意，附图仅图示多个示例性实施方式并且因此不被视为限制本公开内容的范畴，并且可允许其他多个同等有效的实施方式。
[0010]图1A是根据本文所述的一个或多个实施方式的平板光学装置的示意透视图。
[0011]图1B是根据本文所述的一个或多个实施方式的层堆叠物的示意截面图。
[0012]图1C是根据本文所述的一个或多个实施方式的层堆叠物的柱布置的示意俯视图。
[0013]图1D至图1E是根据本文所述的一个或多个实施方式的含氟聚合物封装材料的示例性结构。
[0014]图2是根据本文所述的一个或多个实施方式的形成平板光学装置的方法的示图。
[0015]图3A至图3D是根据本文所述的一个或多个实施方式的在形成平板光学装置的方法期间的基板的示意截面图。
[0016]图4A至图4D是根据本文所述的一个或多个实施方式的粘附促进材料的示例性结构。
[0017]为了促进理解，在可能的情况下，已使用相同的组件符号来指示各图共有的相同元件。可以预期，一个实施方式的元件和特征结构可有利地并入其他多个实施方式，而无需进一步叙述。
具体实施方式
[0018]本文所述的多个实施方式涉及平板光学装置和用于平板光学装置的封装材料。一个或多个实施方式包括基板，该基板具有形成于基板上的第一多个柱的第一布置。第一多个柱的第一布置包括具有高度h和横向距离d的柱。第一多个柱的第一布置包括与第一多个柱的相邻柱之间的距离对应的间隙g。间隙g与高度h的高宽比在约1:1与约1:20之间。第一粘附促进材料被设置在第一多个柱的第一布置之上。第一封装层被设置在第一粘附促进材料之上。第一封装层填充第一多个柱的相邻柱之间的间隙g。第一封装层包括含氟聚合物。
[0019]图1A是具有至少一个层堆叠物101A、101B的平板光学装置100的示意透视图。图1B是层堆叠物101A的示意截面图。图1C是层堆叠物101A的柱104的布置的示意俯视图。平板光学装置100包括至少一个层堆叠物101A、101B。虽然本文所述的装置和方法可参考层堆叠物101A论述，但应理解，本文所述的装置和方法的多个方面类似地适用于层堆叠物101B。为了清楚起见，在本文中提供的附图中，对于层堆叠物101B的布置可省略附图标记。
[0020]在可与本文所述的其他多个实施方式结合的一个或多个实施方式中，平板光学装置100是包括层堆叠物101A的单层堆叠物平板光学装置。在可与本文所述的其他多个实施方式结合的其他实施方式中，平板光学装置100是包括层堆叠物101A和一个或多个层堆叠物101B的多层堆叠物光学装置。层堆叠物101A包括设置在基板102的表面上的多个柱104A和封装层106A的布置。封装层106A包括间隙填充部分108A和覆盖部分109A。在所示的多层堆叠物光学装置的多个实施方式中，一个或多个层堆叠物101B的第一层堆叠物被设置在层堆叠物101A之上。在一些其他实施方式中，一个或多个层堆叠物101B被设置在基板102的与第一表面相对的第二表面上。换言之，层堆叠物101A和一个或多个层堆叠物101B被设置在基板102的相对侧上。在可与本文所述的其他多个实施方式结合的一个或多个实施方式中，层堆叠物101B的第一层堆叠物包括设置在封装层106A的覆盖部分109A上的多个柱104B的布置。在可与本文所述的其他多个实施方式结合的其他多个实施方式中，层堆叠物101B的
第一层堆叠物的多个柱104B的布置被设置在间隔层(未图示)上，该间隔层设置在封装层106A上。在包括间隔层的多个实施方式中，间隔层可操作来为多个柱104B的布置提供支撑，并且根据平板光学装置100的光学功能性具有特定厚度(例如，高达约50μm)。在可与本文所述的其他多个实施方式结合的一个或多个实施方式中，封装层106A和间隔层由不同的材料形成。在其他多个实施方式中，封装层106A的覆盖部分109A提供与间隔层相同的功能。在其中封装层106A充当间隔层的多个实施方式中，封装层106A根据平板光学装置100的光学功能性具有特定厚度。
[0021]多个柱104A、104B的布置包括具有高度h和横向距离d的柱104A、104B。柱104A的高度h被本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，包含：基板，具有形成于所述基板上的第一多个柱的第一布置，所述第一多个柱的所述第一布置包含：柱，具有高度h和横向距离d；和间隙g，对应于所述第一多个柱的相邻柱之间的距离，其中所述间隙g与所述高度h的高宽比在约1:1与约1:20之间；第一粘附促进材料，设置在所述第一多个柱的所述第一布置之上；和第一封装层，设置在所述第一粘附促进材料之上，所述第一封装层填充所述第一多个柱的相邻柱之间的所述间隙g，所述第一封装层包含含氟聚合物。2.如权利要求1所述的装置，其中所述第一封装层包含非晶含氟聚合物。3.如权利要求1所述的装置，其中所述第一封装层包含聚(4,5
‑
二氟
‑
2,2
‑
双(三氟甲基)
‑
1,3
‑
二氧戊环
‑
共
‑
四氟乙烯)或全氟(3
‑
丁烯基乙烯基醚)(PBVE)环聚合物中的至少一种。4.如权利要求1所述的装置，其中所述第一封装层包含四氟乙烯共聚物。5.如权利要求1所述的装置，其中所述第一粘附促进材料包含氟硅烷。6.如权利要求1所述的装置，其中所述第一粘附促进材料包含三氯(1H,1H,2H,2H
‑
全氟辛基)
‑
硅烷、1H,1H,2H,2H
‑
全氟辛基三乙氧基硅烷、1H,1H,2H,2H
‑
全氟癸基三乙氧基硅烷或三氯(3,3,3
‑
三氟丙基)
‑
硅烷中的至少一种。7.如权利要求1所述的装置，其中所述第一粘附促进材料包含疏水尾基。8.如权利要求1所述的装置，其中所述第一封装层在所述第一粘附促进材料上的接触角是约40
°
或更小。9.如权利要求1所述的装置，进一步包含：形成在所述第一封装层之上的第二多个柱的第二布置，所述第二多个柱的所述第二布置包含：柱，具有所述高度h和所述横向距离d；和间隙g，对应于所述第二多个柱的相邻柱之间的距离，其中所述间隙g与所述高度h的所述高宽比在约1:1与约1:20之间；和第二粘附促进材料，设置在所述第二多个柱的所述第二布置之上；第二封装层，设置在所述第二粘附促进材料之上，所述第二封装层填充所述第二多个柱的相邻柱之间的所述间隙g，所述第二封装层包含含氟聚合物。10.一种方法，包含以下步骤：在基板的表面上形成第一多个柱的第一布置，所述第一多个柱的所述第一布置包含：柱，具有高度h和横向距离d；和间隙g，对应于所述第一多个柱的相邻柱之间的距离，其中所述间隙g与所述高度h的高宽比在约1:1与约1:20之间；将第一粘附促进材料设置在所述第一多个柱的所述第一布置之上；和将第一封装层设置在所述第一粘附促进材料之上，所述第一封装层填充所述第一多个柱的相邻柱之间的所述间隙g，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯罗博纳，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：