一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种波导微腔马赫

【技术实现步骤摘要】
一种波导微腔马赫
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曾德干涉型折射率传感器的制备方法


[0001]本专利技术属于光学传感领域，特别是涉及一种超高灵敏度波导马赫
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曾德传感器的制备方法。

技术介绍

[0002]波导微腔马赫
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曾德型折射率传感器通常是将波导的部分区域刻蚀成微腔，并将波导的基模功率一分为二，分别在微腔和剩余波导中进行传输而形成的传感器。当两部分信号在波导出射端重新汇合后，即可形成干涉。当采用宽谱光源作为入射信号时，一旦微腔中的液体折射率发生变化，出射端的透射光谱即发生峰位的漂移，从而可以实现折射率传感功能。
[0003]目前，微腔型马赫
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曾德传感器已经广泛用于光纤传感，其折射率灵敏度较高，通常高于微纳光纤传感器、光纤F
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P腔传感器等常见干涉型传感器。然而，传统微腔马赫
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曾德传感器仍然存在一些缺点，主要表现为：1. 由于光纤纤芯处于微腔的底部，通常难以保证该位置微腔的侧壁陡直并具有较低表面粗糙度，因此透射谱的消光比及品质因子难以保证；2. 由于两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波导微腔马赫
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曾德干涉型折射率传感器的制备方法，其特征在于：步骤如下：采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写波导和微腔，所述波导由直线型波导与分支直线波导构成；所述微腔横截面覆盖分支直线波导模场；所述直线型波导需保持结构完整，与微腔无空间交叠。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：当透明基底材料替换为单模光纤时，无需额外刻写直线型波导。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马海俐，徐堃，玄成聪，姚一村，王明红，白成林，
申请(专利权)人：聊城大学，
类型：发明
国别省市：